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公开(公告)号：CN105742060A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610196562.7
申请日：2016-03-31
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种高储能密度固态薄膜集成电路电容器及其制备方法，该电容器包括衬底基片、下部电极和上部电极，所述的下部电极涂覆在衬底基片上，该电容器还包括活性钛酸锶薄膜，所述的活性钛酸锶薄膜位于上部电极和下部电极之间，所述的上部电极为Ti薄膜，活性钛酸锶薄膜与上部电极之间设有一层具有自修复作用的阳极氧化膜。与现有技术相比，本发明具有储能密度高、能够实现自修复、不存在电解液等优点。
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公开(公告)号：CN104678211A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410855728.2
申请日：2014-12-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置，其中：所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接；所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块，所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上；所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比，本发明具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
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公开(公告)号：CN104678211B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201410855728.2
申请日：2014-12-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置，其中：所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接；所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块，所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上；所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比，本发明具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
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公开(公告)号：CN106710878A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710034941.0
申请日：2017-01-17
Applicant: 同济大学
CPC classification number: H01G4/33 , H01G4/10 , H01G13/00 , H01G13/003 , H01G13/006
Abstract: 本发明涉及一种具有高储能密度固态电介质电容器及其制备方法，电容器包括自下而上依次设置的衬底基片、下部电极、氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜及上部电极，下部电极涂覆在衬底基片上，氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜位于上部电极和下部电极之间，上部电极和下部电极为具有阳极氧化能力的阀金属薄膜。与现有技术相比，本发明具有易于生产、用途范围广、储能密度高、安全可靠等优点。
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公开(公告)号：CN105869888A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610197451.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 同济大学
CPC classification number: H01G4/33 , H01G4/015 , H01G4/1227
Abstract: 本发明涉及一种具有自修复作用的固态薄膜集成电路电容器，该电容器包括衬底基片、下部电极和上部电极，所述的下部电极涂覆在衬底基片上，该电容器还包括活性钛酸锶薄膜，所述的活性钛酸锶薄膜位于上部电极和下部电极之间，所述的上部电极为Al薄膜，活性钛酸锶薄膜与上部电极之间设有一层具有自修复作用的阳极氧化膜。与现有技术相比，本发明具有能够实现自修复、储能密度高、不存在电解液等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106710878B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201710034941.0
申请日：2017-01-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有高储能密度固态电介质电容器及其制备方法，电容器包括自下而上依次设置的衬底基片、下部电极、氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜及上部电极，下部电极涂覆在衬底基片上，氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜位于上部电极和下部电极之间，上部电极和下部电极为具有阳极氧化能力的阀金属薄膜。与现有技术相比，本发明具有易于生产、用途范围广、储能密度高、安全可靠等优点。
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公开(公告)号：CN105513795A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201610033614.9
申请日：2016-01-19
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有固态电解质功能的水合氧化铝电介质薄膜及其制备，所述的水合氧化铝电介质薄膜包括起电介质功能的氧化铝，以及与氧化铝结合并使其具有固态电解质功能的结合水；上述水合氧化铝电介质薄膜通过以下方法制备而成：(1)往铝醇盐溶液中加入乙酰丙酮，搅拌混合后，再加入冰醋酸，再继续搅拌混合，冷却过滤后，得到溶胶前驱体；(2)将溶胶前驱体附着在基体上，干燥热处理后，凝胶固化得到无定型氧化铝薄膜，再将无定型氧化铝薄膜水合热处理，即得到目的产物。与现有技术相比，本发明具有优良的电介质功能和固态电解质功能，能为电容器提供自修复功能，同时具有占用空间小，能极大提高电容器的储能密度等。
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公开(公告)号：CN105742060B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201610196562.7
申请日：2016-03-31
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种高储能密度固态薄膜集成电路电容器及其制备方法，该电容器包括衬底基片、下部电极和上部电极，所述的下部电极涂覆在衬底基片上，该电容器还包括活性钛酸锶薄膜，所述的活性钛酸锶薄膜位于上部电极和下部电极之间，所述的上部电极为Ti薄膜，活性钛酸锶薄膜与上部电极之间设有一层具有自修复作用的阳极氧化膜。与现有技术相比，本发明具有储能密度高、能够实现自修复、不存在电解液等优点。
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公开(公告)号：CN106887331A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710034897.3
申请日：2017-01-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及高储能密度电容器用氧化铝基电介质薄膜及其制备方法，其化学组成成分为Al2Bi2‑xSiyOz，其中：x＝0.005～0.1,y＝0.02，采用溶胶凝胶法制备得到氧化铝基电介质薄膜。与现有技术相比，本发明制备得到的氧化铝基电介质薄膜耐压在80～200V之间可调控，击穿之前漏导低于1μA，同时介电常数高于传统氧化铝薄膜，可用于各种高储能密度及高压电容器。与现有技术相比，本发明制备工艺简单，薄膜致密均匀，介电性能优良。
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公开(公告)号：CN103971933A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410199268.2
申请日：2014-05-12
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种固态薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片(5)，下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上，活性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)之间，活性氧化铝薄膜(2)与上部电极(3)、下部电极(1)的界面处为一层通过电化学方法形成的具有自修复功能的阳极氧化膜(4)。与现有技术相比，本发明的结构和制备工艺简单，适用于大规模批量生产，所用原料成本低廉，而且采用的是固态薄膜作为电介质，内部不存在电解液，使用安全可靠。
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