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公开(公告)号：CN103971933A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410199268.2
申请日：2014-05-12
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种固态薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片(5)，下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上，活性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)之间，活性氧化铝薄膜(2)与上部电极(3)、下部电极(1)的界面处为一层通过电化学方法形成的具有自修复功能的阳极氧化膜(4)。与现有技术相比，本发明的结构和制备工艺简单，适用于大规模批量生产，所用原料成本低廉，而且采用的是固态薄膜作为电介质，内部不存在电解液，使用安全可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104678211A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410855728.2
申请日：2014-12-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置，其中：所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接；所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块，所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上；所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比，本发明具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
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公开(公告)号：CN104678211B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201410855728.2
申请日：2014-12-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置，其中：所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接；所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块，所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上；所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比，本发明具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
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公开(公告)号：CN103971933B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410199268.2
申请日：2014-05-12
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种固态薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)之间，活性氧化铝薄膜(2)与上部电极(3)、下部电极(1)的界面处为一层通过电化学方法形成的具有自修复功能的阳极氧化膜(4)。与现有技术相比，本发明的结构和制备工艺简单，适用于大规模批量生产，所用原料成本低廉，而且采用的是固态薄膜作为电介质，内部不存在电解液，使用安全可靠。(5)，下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上，活
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公开(公告)号：CN204556740U
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201420873372.0
申请日：2014-12-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本实用新型涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和计算机，所述计算机分别连接电学测试装置和显微图像实时采集装置；所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针和数字源表，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述数字源表一端通过电学测试线与测试探针连接，另一端通过数据传输线与计算机连接；所述显微图像实时采集装置包括数据码光学显微模块，该数据码光学显微模块设置在样品装夹座上，并通过数据传输线与计算机连接。与现有技术相比，本实用新型具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
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公开(公告)号：CN204269065U
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201420744609.5
申请日：2014-12-01
Applicant: 同济大学
IPC: G01B7/06
Abstract: 本实用新型涉及一种金属薄膜厚度测试装置，包括紧压在待测的薄膜样品(11)上的电解池(9)，与电解池(9)连接的储液罐(6)，内部储存测试用的电解液(7)，储液罐(6)与电解池(9)的连接处设有节流阀(4)，电解池(9)内设有阴极电极(8)，侧部设置导电铜柱(2)，该导电铜柱(2)上套设有与电解池(9)接触连接的阳极导线接头(3)。与现有技术相比，本实用新型具有测试效率及精度较高、方便使用等优点，另外还节约了测试成本。
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