公开(公告)号：CN1819281A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200510122528.7

申请日：2005-12-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 张德贤 ,  冯凯 ,  齐龙茵 ,  赵飞 ,  蔡宏琨 ,  张晓 ,  李胜林

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法，由褪火、支撑、蹭试、加热超声清洗、真空烘干五个步骤组成的清洗方法，其中，200－230℃褪火1－3小时，水温至50－80℃加热，超声波清洗衬底30－60分钟，120－ 140℃真空条件下烘干。本发明实现对有机柔性衬底的清洗，使之达到半导体器件制造的清洁标准而不对其造成损伤。本发明是清洗用于半导体器件制造的柔性衬底的一种有效方法。

公开(公告)号：CN1819274A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200510122529.1

申请日：2005-12-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 张德贤 ,  蔡宏琨 ,  冯凯 ,  齐龙茵 ,  张晓 ,  赵飞 ,  李胜林

IPC: H01L31/02 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18 ,  C23C14/24

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及柔性衬底薄膜太阳电池阻挡层及其制备方法，它是金属镍层或金属钛层，阻挡层的厚度为30－50nm。柔性衬底薄膜太阳电池阻挡层可以防止背电极金属铝在制备电池的过程中扩散进入电池主体，在背电极与电池硅基薄膜之间制备一层阻挡层，不影响入射光的反射，增加其在电池吸收层中的光程的作用，还可以保证电池性能，显著提高柔性衬底倒结构薄膜太阳电池的输出特性和均匀性。

公开(公告)号：CN1818129A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610013295.1

申请日：2006-03-14

Applicant: 南开大学

Inventor： 蔡宏琨 ,  齐龙茵 ,  赵飞 ,  冯凯 ,  张晓 ,  崔光龙 ,  陶科 ,  席强 ,  张德贤

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明涉及电子束蒸发低温制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜的方法。通过控制蒸发条件，在氧分压5.0×10－2Pa，衬底温度100℃，电子枪电压－8.0kv等条件下，实现采用电子束蒸发低温高效无损伤制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜，薄膜材料的光学透过率为90％，电阻率为2.168×10－4Ω·cm，方块电阻为22Ω，厚度为100nm，霍尔系数为－4.55×10－2m2/v，迁移率为21.4cm2/v·s，其光电性能满足柔性太阳透明电极的需求，减小太阳电池串联电阻，提高输出效率。

公开(公告)号：CN2862331Y

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200520130695.1

申请日：2005-12-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 张德贤 ,  蔡宏琨 ,  张晓 ,  齐龙茵 ,  冯凯 ,  赵飞 ,  李胜林

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/687

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型涉及一种用于柔性衬底薄膜太阳电池制备的衬底支撑装置。它是由框形底座，凹槽，框形压板，螺丝和不锈钢柱组成，框形底座对应的两侧有凹槽，不锈钢柱放置在凹槽内匹配，框形压板放置在框形底座上面，框形底座与框形压板对应，并且分别设置螺孔，螺丝插入螺孔固定框形底座和框形压板，框形内挖空面积处是薄膜衬底工作面。用不锈钢柱将抻紧的有机柔性薄膜边缘挤进底座的凹槽中，用压板将不锈钢柱压住并拧紧螺丝，即实现对有机柔性薄膜的夹持，使其展平固定，以便在其上进行薄膜沉积和器件制造。