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公开(公告)号:CN104635036A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201510020243.6
申请日:2015-01-15
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统及其制备方法,该方法用于在线式测量,在中心信号线传输过程中,通过悬臂梁耦合器耦合出10%的微波功率,传输给负载电阻,通过热电堆得塞贝克效应将微波功率转化成电势差,通过电势差来测量微波功率的幅度。本发明的微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统是由砷化镓为衬底,在衬底上设有中心信号传输线A、悬臂梁耦合器B、校正电极C以及热电式微波功率传感器D。由于制作后的悬臂梁耦合器易弯曲,当悬臂梁处于上翘状态时,在压焊块上加正电压,当悬臂梁处于下拉状态时,在压焊块上加负电压,最终使悬臂梁恢复平整,从而提高系统检测的精确度。
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公开(公告)号:CN108448938B
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN201810409222.7
申请日:2018-05-02
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明揭示一种交联网圆弧型压电式能量收集器,该压电式能量收集器包括第一主悬臂梁极板固定端和第二主悬臂梁极板固定端,第一主悬臂梁极板固定端和第二主悬臂梁极板固定端之间平行设置有至少三组悬臂梁。每组所述悬臂梁的一端均与第一主悬臂梁极板固定端连接,每组所述悬臂梁的另一端均与第二主悬臂梁极板固定端连接。每组所述悬臂梁之间关于中轴线对称,每组所述悬臂梁均由三对悬臂梁对组成。该交联网圆弧型压电能量收集器的悬臂梁对除了在横向上进行对称连接以外,在纵向上也进行级联,该设置进一步降低了可收集能量的一阶谐振频率,更加扩宽了有效工作频带带宽,同时依据仿真结果发现,可收集能量的多阶带宽大幅度缩短。
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公开(公告)号:CN108390590B
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN201810408685.1
申请日:2018-05-02
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明揭示一种多自由度圆弧型压电能量收集器,该压电能量收集器包括第一层悬臂梁、第二层悬臂梁和第三层悬臂梁,第一层悬臂梁与第二层悬臂梁呈中心对称;第二层悬臂梁与第三层悬臂梁呈中心对称构成弹簧状。第一层悬臂梁包括第一圆弧型薄片和第二圆弧型薄片,第一圆弧型薄片的一端连接有第一正方形薄片,第一正方形薄片的另一端连接第二圆弧型薄片,第二圆弧型薄片的另一端连接第二正方形薄片,第一圆弧型薄片和第二圆弧型薄片上分别附着有第一压电层和第二压电层。该多自由度圆弧型压电能量收集器一阶谐振频率较低,频率间距较短,能够三维方向上吸收能量,且具有易于集成化、微型化等优点。
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公开(公告)号:CN108196091B
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN201810293685.1
申请日:2018-03-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器,采用MEMS平面加工,该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板,X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y(X)轴运动时,Y(X)向遮光板产生的条纹位置会产生变化,同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移,即可得到Y(X)轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动,X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化,通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本发明的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度,具有精度高、灵敏度高等优点。(56)对比文件石磊;吴武臣.CMOS图像传感器在光栅传感器中的应用探讨.安阳工学院学报.2007,(01),第28-31页.
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公开(公告)号:CN113556094B
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202110855870.7
申请日:2021-07-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明是一种电容电感嵌套结构小型化谐振器,其共分为9层,并采用低温共烧陶瓷作为基底;谐振器采用电容、电感并联结构,外围是三维多层螺旋电感,螺旋电感内部是垂直叉指电容,三维螺旋电感与所述垂直叉指电容连接;谐振器相对的两个侧面分别设有端口,电感和电感设置在两个端口之间且电容被埋置在电感内部。本发明具有尺寸小、集成度高、可靠性高和耐高温的特点;同时实现了构成谐振器所需的大参数电感和大参数电容,高Q值并具有良好频率选择特性,可以被应用于具有良好频率选择特性的LTCC高性能集总参数滤波器、耦合器等器件的小型化设计中。
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公开(公告)号:CN108594007B
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN201810420335.7
申请日:2018-05-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/10
Abstract: 本发明是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器,包括高阻硅衬底,在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁,共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线,在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩,固支梁的两端分别通过固支梁桥墩固定在CPW信号线的上方,固支梁的两端通过固支梁桥墩与高阻硅衬底相连,在CPW信号线的正上方、固支梁的上表面设置有金属质量块,固支梁的上下表面均设置有扩散电阻,微波功率传感器工作时固支梁形变导致固支梁表面应力变化,扩散电阻的值产生变化,通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成,且测量范围较宽、测量精度较高。
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公开(公告)号:CN106932636B
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN201710312055.X
申请日:2017-05-05
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种三指交错结构的电容式微波功率传感器,以砷化镓为衬底,在衬底上设计有共面波导传输线、在线电容式微波功率传感器,在线电容式微波功率传感器包括在衬底上交错地固定着三个MEMS悬臂梁,其中两个MEMS悬臂梁下表面镀有绝缘层氮化硅,中间的MEMS悬臂梁无绝缘层,作为由两个无绝缘层MEMS悬臂梁形成电容的电介质。当微波信号在共面波导传输时,会在无绝缘层的MEMS悬臂梁上产生一个静电力使梁产生位移,而在两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁上产生的静电力不足以使其下拉;引起两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁间形成的电容的介电常数改变,由电容检测电路检测出电容的变化量,从而推出微波信号的功率幅值。
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公开(公告)号:CN107138380B
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN201710468911.0
申请日:2017-06-20
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法,是一种结构简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底,在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本发明既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压,也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压,共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。
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公开(公告)号:CN113267672B
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202110489491.0
申请日:2021-05-06
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H04B17/327 , H04B17/10 , H04B17/20 , G01R21/133
Abstract: 本发明公开了基于射频二极管的6G通信微波功率检测系统,基片集成波导横向开设贯穿的矩形腔,同轴线馈电的微带贴片天线设置在矩形腔中,微带贴片天线通过相当于带通滤波器的阻抗匹配网络电连接基片集成波导,基片集成波导通过阻抗匹配网络电连接射频二极管和低通滤波器,低通滤波器电连接数据处理模块,射频二极管对接收到的6G通信频段的微波信号进行整流。将射频二极管输出信号送至低通滤波器滤除基频及高次谐波,并输出直流分量,该直流分量送至数据处理模块转化为数字信号通过数据处理模块的通用同步/异步串行接收/发送接口完成串口通信,本发明系统能检测6G通信低频段的微波功率,还有集成度高、成本低和结构简单优点。
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公开(公告)号:CN110518833B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201910832145.0
申请日:2019-09-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种正四棱柱状多方向压电能量收集器,包括悬臂梁、固定端、质量块,所述悬臂梁一端与所述质量块连接,另一端设为固定端,所述悬臂梁的侧面且靠近固定端的一端依次设有第一压电层、第二压电层、第三压电层、第四压电层;所述第一压电层与第三压电层法向方向与Y轴方向相同,所述第二压电层与第四压电层法向方向与Z轴方向相同;本发明提高了压电能量收集器的能量转换效率。结构简单,制造成本低,易于通过MEMS工艺实现产品的微型化与集成化,压电层之间可通过两两并联的方式提高能量收集器的输出电流。
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