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公开(公告)号：CN113341560A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110561169.4
申请日：2021-05-22
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提出了一种曲面异形MEMS二维扫描微镜，包括外框、内框、线圈、曲面镜面、快轴以及慢轴，曲面镜面位于整体结构的中心，通过快轴与内框相连接，内框通过慢轴与外框连接，其中：曲面镜面采用球冠面，为一个球面被平面所截后剩下的曲面；线圈采用内置方式，由外置永磁体提供与微镜成45°的磁场，通过Z方向的洛伦兹力控制快轴及慢轴的扭臂梁的扭转，实现慢轴、快轴即Y轴、X轴的扫描；曲面异形二维扫描微镜在电磁力的控制下，在X、Y轴实现周期性、高频率摆动。本发明采用曲面异形结构，用曲面镜代替平面镜，极大地增加了MEMS二维扫描微镜的扫描视场，增大了激光雷达的扫描角度。
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公开(公告)号：CN112115970A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010804741.0
申请日：2020-08-12
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于层次回归的轻量级图像探测农业驱鸟方法及系统，模型训练模块建立基于卷积神经网络的层级回归目标检测模型ScareDet，利用梯度下降算法在鸟类数据集上进行训练，并将训练好的模型存入树莓派中；图像采集模块利用可变焦相机拍摄指定区域图像，并通过USB接口将图像数据传送到树莓派中；鸟类检测模块利用树莓派存储的ScareDet检测模型和图像数据进行鸟类检测；驱鸟模块根据树莓派检测结果控制扬声器供电，如果检测存在鸟类，则给扬声器供电，由扬声器发出报警噪音驱赶鸟类，否则由图像采集模块和鸟类检测模块继续监测。本发明采用光电检测鸟类的手段，在规定区域内若发现鸟类，才会发出警报声，实现全天候检测和智能化驱鸟。
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公开(公告)号：CN108172502B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711455242.X
申请日：2017-12-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法，步骤如下：将晶圆粘附于托盘上；将托盘吸附在晶圆减薄机载片台上，将载片台固定在减薄机主轴，将磨刀固定在磨刀轴，将晶圆上的硅衬底层减薄至预定厚度；将托盘倒置于晶圆抛光机磨盘，硅衬底层与抛光机磨盘接触，将托盘与抛光机旋转轴相连，进行抛光处理；去除硅衬底层至BOX层的二氧化硅完全露出；去除BOX层至敏感材料薄膜层，完成晶圆减薄；本方法工艺时间更短，对工艺设备的要求较低、成本低，且不会引入额外的工艺热应力。
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公开(公告)号：CN104251739A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201310260041.X
申请日：2013-06-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种单电容相关双采样非制冷红外读出电路，包括M×N像素探测单元阵列、CTIA型积分电路、单电容相关双采样电路、行列逻辑控制信号产生模块和输出缓冲电路：M×N像素探测单元阵列对采集到的信号进行光电转换，并输入至CTIA型积分电路进行电流积分；单电容相关双采样电路对CTIA型积分电路的输出端电压进行采样保持，产生信号电压，信号电压通过输出缓冲电路串行输出。单电容相关双采样电路包括采样电容、电压跟随器电路，且电压跟随器电路的输入端与输出端分别设置一个NMOS管形成采样电容复位开关，因此只用一个采样电容就可以实现两次采样的减法过程，减少了红外读出电路所占用的版图面积从而降低了电路功耗，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN119154435B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202410730103.7
申请日：2024-06-06
Applicant: 南京理工大学
IPC: H02J7/00 , F41B6/00 , G01R19/165 , G01R19/25 , G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种用于电磁发射储能装置的双环分段PID前馈控制充电方法及系统，具体为：首先获取当前的电压设定值，实时获取储能电容的充电电压和充电电流，计算电压误差；然后依据电压误差计算电流误差，根据电流误差计算控制量进行充电；当实际电压到达电压阈值时，减小电压内环的比例控制器系数，进入涓流充电，采用前馈估计，将充电达到目标值时系统对应的稳态控制量作为估计值，约束最终的稳态电压；当系统检测到当电容电压衰减超过2V时，采用涓流充电补充电压；接收到进行电磁发射命令后，系统发出控制脉冲使得可控硅导通，完成电磁发射过程。本发明加快了电磁发射储能装置充电中后期的充电速度，提高了充电效率，减小了超调，提高了充电的安全性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119169985A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411197572.3
申请日：2024-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G10K11/172 , G10K11/162
Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体，由周期性阵列的声子晶体原胞组成，所述原胞采用单一材料硅，以质量单元为中心，单点或多点连接悬臂梁结构的方式构成，悬臂梁以同样的间隙螺旋式环绕质量单元。本发明提供的硅三维声子晶体，可作为声子晶体原胞周期性阵列，形成外框架排布至MEMS微机械陀螺仪、加速度计等器件的四周，通过局域共振原理吸收外界振动频率，进行振动隔离。本发明克服了传统三维声子晶体需要多种材料、结构复杂、尺寸较大等缺点，能够实现10kHz及以下低频带隙，具有结构简单多变、带隙范围易于调控等特点，因此具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN119124289A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411242713.9
申请日：2024-09-05
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法，结构主要包括：包括基板、薄膜、测温元件、面内热电制冷元件和芯片引脚；薄膜关于基板中心对称；测温元件左右对称地分布在薄膜内；面内热电制冷元件上下对称地跨置于薄膜与基板的交界处；面内热电制冷元件和测温元件的电信号通过基板四周的芯片引脚与外界相连；钝化层覆盖在结构上表面；在制造过程中，测温元件和面内热电制冷元件通过MEMS工艺实现。硅基板背面经过深硅刻蚀处理，采用硅基板正面的二氧化硅材料作为刻蚀停止层，形成具有良好机械性能的薄膜结构。本发明的结合了热敏式流量计的高灵敏度与无可动结构的优点，有效避免了因加热被测介质而产生的问题。
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公开(公告)号：CN118463956B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202410919407.8
申请日：2024-07-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5649
Abstract: 本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构，设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块，设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块，中间的多环结构不与任何锚点直接连接，每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动，不能产生周向位移；多环结构的振型是差分的2θ模态或者3θ模态，两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致。本发明提高陀螺仪的动态稳定性和抗振性，抑制共模误差和偏移模态的干扰，提高陀螺仪的机械灵敏度，满足业界对MEMS器件在复杂环境中的鲁棒性需求。
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公开(公告)号：CN118604731A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410695782.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于RANSAC误差补偿的空地协同声源定位系统及方法，该系统包括空中无人平台、地面无人平台和通信设备，其中空中无人平台搭载机载传感器和通信设备，用于获取惯导和GNSS定位数据，将绝对位置信息发送给地面无人平台；地面无人平台搭载惯性传感器、声源拾取装置和通信设备，用于探测目标声源发出的声音，确定空中无人平台和目标的相对位置信息并发送给空中无人平台，并且修正惯导解算误差，约束误差发散，实现空中无人平台与地面无人平台的协同导航；通信设备用于传输协同导航数据。本发明实现了空地协同定位，提高了地面无人平台在密集复杂环境中的探测能力和定位精度。
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公开(公告)号：CN118463956A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410919407.8
申请日：2024-07-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5649
Abstract: 本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构，设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块，设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块，中间的多环结构不与任何锚点直接连接，每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动，不能产生周向位移；多环结构的振型是差分的2θ模态或者3θ模态，两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致。本发明提高陀螺仪的动态稳定性和抗振性，抑制共模误差和偏移模态的干扰，提高陀螺仪的机械灵敏度，满足业界对MEMS器件在复杂环境中的鲁棒性需求。
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