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公开(公告)号：CN111487475A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010220940.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种无源低功耗的微波检测方法，检测用反铁磁拓扑绝缘体层包括反铁磁拓扑绝缘体层、设置在本征的反铁磁拓扑绝缘体层上的一对分离的电极层；所述反铁磁拓扑绝缘体层为反铁磁材料的薄膜、纳米片或纳米线；所述反铁磁拓扑绝缘体层为拓扑绝缘体材料的薄膜、纳米片或纳米线；结合其反铁磁原子层+拓扑表面态两者特性，在微波能量下，反铁磁拓扑绝缘体层中自旋发生进动产生自旋流，拓扑表面态具有将自旋流在表面上自发产生定向的电荷流；通过电极检测表面态中的这一定向的电荷流，实现微波作用条件的无源低功耗探测。由于多层反铁磁拓扑绝缘体层，微波检测灵敏度可成倍地增加。拓扑表面态表现出强鲁棒性和低耗散的电流传输特性，降低了微波检测功耗。
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公开(公告)号：CN110726736A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910992390.8
申请日：2019-10-18
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种无源低功耗的微波检测方法及其装置和制备方法，制备反铁磁拓扑绝缘体层，在微波能量下，反铁磁拓扑绝缘体层中自旋发生进动产生自旋流，由于拓扑表面态自旋动量锁定的特征，自旋流会在表面上自发产生定向的电荷流。通过电极检测该电荷流，实现微波的无源低功耗探测。由于多层的反铁磁拓扑绝缘体层可视为由反铁磁层和拓扑绝缘体层的双层结构的周期性堆垛而成，因此微波检测灵敏度成倍地增加。拓扑表面态表现出强鲁棒性和低耗散的电流传输特性，降低了微波检测的功耗。本发明既充分利用了拓扑表面态表现出强鲁棒性以及独一无二的电学传输特性，又利用了反铁磁层的微波共振，使得这种结构能实现无源的更低功耗的微波检测。
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公开(公告)号：CN102001621A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010286912.1
申请日：2010-09-16
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种等离激元共振频率可宽范围调控的银纳米粒子点阵的制备方法，其步骤为(a)将有机膜覆盖于衬底上，把衬底固定在带有透光孔的可旋转衬底座上；(b)将衬底座安装到高真空沉积室中，使得衬底座上的衬底处于束流的中心；(c)通过气相聚集法团簇束流源产生银纳米粒子，通过喷嘴形成高度定向、等效沉积率可精确控制的银纳米粒子束流；(d)银纳米粒子束流对衬底沉积，通过精确控制纳米粒子沉积量而定量控制衬底上银纳米粒子的覆盖度在5％-78％范围，从而控制银纳米粒子堆积的面间距，实现其等离激元共振频率的连续演变，等离激元共振频率的变化通过原位消光光谱监测。本发明方法具有工艺简单、成本低、等离激元共振频率调控精度高、易于实现宽范围连续调控等特点。
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公开(公告)号：CN100411745C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200610088447.4
申请日：2006-08-24
Applicant: 南京大学
Abstract: 加热氧化层包裹金属纳米核壳结构形成纳米液体的喷射方法，在洁净非晶碳或硅衬底用真空离子刻蚀的方法去除其表面附着物加强结合力，在衬底上采用气相凝聚沉积来制备直径在40-100nm之间的低熔点金属纳米颗粒，低熔点金属是铅、锑、锡中的一种或二元合金；通入氧气，在颗粒表面形成厚度小于10nm的不均匀的氧化层；在1Pa的Ar气氛下，加热衬底使得内部纳米核心熔化并且体积扩张，从外氧化层薄弱处撑裂氧化层从而形成10-40纳米的表面破裂孔，加热温度为略低于核心金属的块体熔点10-60摄氏度，最终内部液体从喷口射出。
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公开(公告)号：CN101060047A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710021318.8
申请日：2007-04-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 类金刚石材料场电子发射阴极制备方法，利用团簇束流在基底上沉积高密度纳米针尖发射体从而实现高场发射电流和低发射阈值，在高真空室中，利用Ar、He等气体碰撞射频磁控溅射产生的类金刚石材料蒸气产生纳米颗粒，并产生定向束流将其引到衬底，改变束流强度和沉积时间来实现高空间密度发射体制备；束流的调节方法是：调节靶室中的Ar、He气体流量101－102sccm和分压1∶1～5∶1，调节最终工作体束流的尺寸组分；调节溅射靶材到小孔的距离＞10cm调节纳米颗粒以及最终发射体的大小。本发明获得高发射体空间密度和高性能(低启动电压、高发射电流)的场发射阴极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1810629A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610037968.7
申请日：2006-01-24
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明是采用气相聚集法团簇束流源(1)产生纳米粒子，通过绝热膨胀获得纳米粒子束流(5)，再经过准直器(4)进入高真空沉积室(6)而形成高度定向的纳米粒子束流；旋转衬底座，使衬底(7)与纳米粒子束流(5)成10°的入射角、并保持衬底(7)与阻挡掩模(11)位于纳米粒子束(5)的曝射区内，控制纳米粒子束流(5)对衬底(7)沉积30秒后，即可在衬底(7)的表面上获得具有直径和数密度一维梯度的纳米粒子阵列。该方法具有高效、低成本、工艺简单等特点，在常见的纳米粒子源的工艺参数下，通过数十秒钟就可以完成纳米粒子梯度阵列的沉积。
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公开(公告)号：CN118384930A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410312353.9
申请日：2024-03-19
Applicant: 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 , 南京大学
Abstract: 本发明属于原子团簇催化领域，特别涉及一种质量选择磁控溅射团簇源合成原子级催化剂的制备方法。具体包括以下步骤：制备一定浓度的石墨相氮化碳/甲醇悬浊液；将氮化碳均匀旋涂分散在硅片上；通过磁控溅射源合成原子团簇，并且设置质量选择参数与沉积电压将目标原子团簇沉积到衬底上。本发明通过质量选择磁控溅射团簇源，制备出精确原子级催化剂；原子被成功锚定在氮化碳上；设计调整沉积电压和质量选择系统，进一步提升催化剂的纯度与稳定性。
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公开(公告)号：CN116817804A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202311070225.X
申请日：2023-08-24
Applicant: 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 , 南京大学
Abstract: 本发明属于离子注入领域，具体涉及一种多层石墨烯中离子注入深度精确标定方法，具体为将某厚度的石墨烯纳米片均匀分散在电镜载网上；使用特定参数的团簇注入方法，对电镜载网上的石墨烯纳米片进行团簇注入；对电镜载网上注入团簇的石墨烯纳米片进行厚度标定，并统计石墨烯纳米片中注入的团簇密度；选取不同厚度的石墨烯纳米片，重复上述步骤；根据石墨烯纳米片中注入团簇密度的统计结果，得到注入的团簇密度发生锐减的石墨烯纳米片的厚度区间；根据得到的厚度区间，得到该特定参数的团簇注入方法在石墨烯材料上的注入深度。本发明可直观且精确地判断团簇注入深度。
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公开(公告)号：CN114000116A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111219894.X
申请日：2021-10-20
Applicant: 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 , 南京大学 , 东南大学
Abstract: 本发明公开了矩形用于团簇束流源的高功率脉冲磁控溅射装置及测试方法，包括基板、外腔室、内腔室、电源模组；所述外腔室的顶部设有被溅射出的团簇束流的出口；所述基板安装在出口上；所述外腔室底部设有真空泵的抽气口；所述电源模组设置在外腔室的底部上；所述内腔室设置在电源模组上；所述内腔室的侧壁上设有气体的入口；所述内腔室顶部开口，内部包括靶材和磁控装置，所述靶材设置在磁控装置上；所述电源模组由高功率脉冲磁控溅射模块与一个直流脉冲电源串联后再与一个直流电源或者射频电源进行耦合组成；所述磁控装置是形状为矩形整块自适应磁铁。本发明提高了溅射过程中靶材原子的离化率，提高了团簇的生产效率。
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公开(公告)号：CN110702743B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201910983310.2
申请日：2019-10-16
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米机电氢气传感器及其制备方法，其中传感器包括自下至上依次设置的衬底层和至少一层铁电层，位于最上层的铁电层上设置有至少一根金属纳米线，每根金属纳米线上设置有至少一个裂结，所述金属纳米线的两端分别连接设置于最上层的铁电层上第一电极层，位于最下层的铁电层与衬底层之间设置有第二电极层，或者第二电极层设置并连接于非最上层的铁电层的外围；本发明采用铁电层/金属纳米线及其裂结的复合结构作为纳米机电氢气传感器的敏感模块，既充分利用了金属纳米线及其裂结的氢敏特性，又利用了铁电层在循环电场作用下对裂结的开闭状态的控制，使得这种结构纳米机电氢气传感器能获得寿命长更高灵敏的氢敏特性。
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