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公开(公告)号：CN111320208B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010104855.4
申请日：2020-02-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于多金属氧酸盐制备技术领域，公开了一种光诱导原位聚集制备POMs的方法。将金属氧酸盐单体或过渡族金属氧化物溶解在氨水中，调节pH使多金属氧酸盐解聚合，保持单体形态，搅拌溶液至澄清；然后加入极性带羟基有机溶剂调节沸点，将所得溶液加工成未完全干燥的粉体、块体或薄膜状形态；然后在一定湿度的环境下，采用紫外线照射诱发金属氧酸盐单体发生聚集形成多金属氧酸盐。本发明方法为先加工后聚合，采用常规的溶液工艺路线先将金属氧酸盐单体根据应用需求加工成特定形态(粉体、块体或薄膜等)，然后在紫外线照射下原位诱导金属氧酸盐聚集成为POMs，解决了传统POMs加工特性差的问题。
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公开(公告)号：CN109722653B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910001788.0
申请日：2019-01-02
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于透明导电薄膜技术领域，公开了一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法。将钨粉和过氧化氢溶液在冰水浴中充分反应，过滤除杂后用蒸馏水稀释，得到钨酸溶液；将SnCl2·2H2O溶解于无水乙醇溶剂中，搅拌均匀，得到氯化亚锡溶液；向氯化亚锡溶液中滴加钨酸溶液和H2O2溶液，超声振荡处理至溶液为无色澄清透明，静置老化，得到混合液；在清洗干净的玻璃衬底上旋涂所得混合液，退火处理，得到钨掺杂氧化锡透明导电薄膜。本发明采用钨酸掺杂并加入H2O2提高了溶液的稳定性与通透性，使最终固化的薄膜中，W以+6价的WO3形式存在，提升了薄膜的透射性。
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公开(公告)号：CN111545768A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010303098.3
申请日：2020-04-17
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于银纳米材料制备技术领域，公开了一种大环径银纳米环及其制备方法。将聚乙烯吡咯烷酮溶解于丙三醇中，然后加入四甲基氯化铵和NaBr的丙三醇溶液搅拌混合均匀，得到成核控制剂溶液；将AgNO3溶解于去离子水或乙二醇与丙三醇的混合溶液中，得到AgNO3溶液；将AgNO3溶液滴加入成核控制剂溶液中155～165℃反应，产物经分离洗涤后分散于乙醇中，得到大环径银纳米环分散液。本发明通过提升反应液的粘度与溶剂混合比例控制微环境差异，使所制备的银纳米环的环直径达到了25～41μm，工艺简单，成本低廉。该材料能够应用于透明电极及光学纳米天线、等离激元器件或光学操纵等器件中。
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公开(公告)号：CN111320208A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN202010104855.4
申请日：2020-02-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于多金属氧酸盐制备技术领域，公开了一种光诱导原位聚集制备POMs的方法。将金属氧酸盐单体或过渡族金属氧化物溶解在氨水中，调节pH使多金属氧酸盐解聚合，保持单体形态，搅拌溶液至澄清；然后加入极性带羟基有机溶剂调节沸点，将所得溶液加工成未完全干燥的粉体、块体或薄膜状形态；然后在一定湿度的环境下，采用紫外线照射诱发金属氧酸盐单体发生聚集形成多金属氧酸盐。本发明方法为先加工后聚合，采用常规的溶液工艺路线先将金属氧酸盐单体根据应用需求加工成特定形态(粉体、块体或薄膜等)，然后在紫外线照射下原位诱导金属氧酸盐聚集成为POMs，解决了传统POMs加工特性差的问题。
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公开(公告)号：CN111039572A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911396014.9
申请日：2019-12-30
Applicant: 华南理工大学
IPC: C03C17/25
Abstract: 本发明公开了一种纳米颗粒薄膜及其制备方法与应用。本发明通过将纳米颗粒分散于溶剂中，超声处理，边加入尿素溶液边搅拌，得到纳米颗粒悬浮液体系，将其旋涂于玻璃衬底上，进行热退火，得到纳米颗粒薄膜。本发明的制备方法将尿素作为分散剂降低悬浮液粒度，提高纳米颗粒分散性和悬浮液体系的稳定性；将尿素作为氧化剂，使纳米颗粒更好地与氧结合，提高薄膜致密性；同时，将尿素作为燃烧剂，在较低温度下即分解放热，使纳米颗粒充分烧结，降低纳米颗粒薄膜形成时所需要的热量，从而降低退火温度至100～300℃，提高薄膜致密性。本发明实现了低温制备粗糙程度低、密度高的纳米颗粒薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110783412A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910999810.5
申请日：2019-10-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/24 , H01L29/49 , H01L29/51 , H01L21/34 , H01L21/443
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，涉及一种基于等离子体增强原子层沉积栅极绝缘层的氧化锡基薄膜晶体管，包括依次设置的：衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极，其中：栅极绝缘层是由等离子体增强原子层沉积制备的氧化铝薄膜，有源层是通过磁控溅射沉积制备的硅掺杂氧化锡薄膜。本发明的氧化锡基薄膜晶体管采用等离子体增强原子层沉积法制备高介电常数的氧化铝作为栅极绝缘层，并且使用非晶硅掺杂氧化锡半导体材料作为有源层材料，降低了有源层/栅极绝缘层界面缺陷态和器件的开启电压，显著地提高了器件迁移率和稳定性。本发明还提供一种基于等离子体增强原子层沉积栅极绝缘层的氧化锡基薄膜晶体管制备方法。
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公开(公告)号：CN110670023A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910878948.X
申请日：2019-09-18
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于半导体材料制备技术领域，公开了一种热蒸发法制备高质量少层氧化亚锡晶体的方法。以锡粉作为源材料，放置于管式炉中心加热区，将洗净的表面掺二氧化硅的硅片作为衬体，放置在距源材料14～18cm处；将管式炉内抽真空，然后通入Ar气；加热管式炉中心加热区温度为500～800℃进行热蒸发沉积，在衬体上得到氧化亚锡晶体。本发明利用锡粉在高温时发生热氧化反应制得氧化亚锡(2Sn+O2＝2SnO)。这种方法操作简单，所需的药品以及仪器都是普通常见的，不需要作特殊处理。并且所制得的树枝形氧化亚锡晶体形状规则。
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公开(公告)号：CN110614863A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201910841335.9
申请日：2019-09-06
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41M5/00
Abstract: 本发明属于喷墨打印技术领域，公开了一种实现喷墨打印均匀图案阵列的方法。将玻璃基板经预处理后旋涂一层聚合物溶液，紫外光固化得到聚合物薄膜；所述聚合物薄膜与后续喷墨打印墨水的溶剂相溶；将喷墨打印墨水在上述聚合物薄膜上喷墨打印均匀墨滴阵列，退火处理后自然冷却，得到均匀图案阵列。本发明通过在喷墨打印前预先制备一层聚合物薄膜，利用喷墨打印过程中的“咖啡环”效应，可以得到高精细均匀图案阵列，突破了传统制备方法的极限，且获得的图案阵列具有良好的可重复性、均匀性。
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公开(公告)号：CN110564212A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910902487.5
申请日：2019-09-24
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于喷墨打印的纳米纤维素墨水；步骤(1)，纳米纤维素筛选：预选纳米纤维素，要求纳米纤维素的粒径以及长度同时满足小于0.1d，d为喷墨打印孔的直径；步骤(2)，墨水配置：将步骤(1)预选的纳米纤维素溶于水中，通过加入聚合物调节墨水的表面张力与粘度等物理特性，通过加入混合溶剂抑制纳米纤维素的团聚；然后将配置的墨水溶液放于超声清洗仪中，室温下超声振荡1-2小时，进行超声溶解，得到适用于喷墨打印的纳米纤维素墨水。本发明通过引入可降解的聚合物调解墨水的表面张力等物理特性，并加入带活泼羟基的混合溶剂来抑制纳米纤维素的团聚，获得了喷墨均匀稳定、不易团聚的纳米纤维素墨水。
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公开(公告)号：CN110534418A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910623038.7
申请日：2019-07-11
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/20 , H01L21/336 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种无铟氧化物半导体薄膜晶体管的室温制备方法，包括步骤：(1)将玻璃基板清洗、烘干；(2)在玻璃基板上采用直流磁控溅射沉积Al:Nd合金薄膜，通过湿法刻蚀图形化，形成栅极；(3)在Al:Nd栅极上通过阳极氧化法生长一层Al2O3:Nd栅极绝缘层；(4)采用脉冲激光沉积系统，通过掩模在Al2O3:Nd栅极绝缘层上沉积一层GZO半导体层；(5)采用真空蒸镀设备，通过掩模在GZO半导体层上蒸镀一层Al源漏电极。本发明采用了GZO半导体材料制备薄膜晶体管的有源层，不含In元素且Ga、Zn、O三种元素均无毒，符合绿色环保的发展趋势。有源层采用了脉冲激光沉积法制备，操作简单，可重复性高，整个器件制备均在室温下完成，无需退火，有效降低器件成本。
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