公开(公告)号：CN110299430A

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201910490246.4

申请日：2019-06-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘欢 ,  唐江 ,  高亮 ,  胡志响 ,  陈壮 ,  杨剑弦 ,  严棋 ,  易飞

IPC: H01L31/18

Abstract: 本发明属于半导体光电子器件领域，公开了一种半导体薄膜光电探测器及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤：(1)配制用于生长硫属化合物光敏半导体薄膜的前体溶液，将洁净的衬底浸入前体溶液中进行一次化学浴沉积，对应得到20-500nm厚的薄膜，利用仅一次化学浴沉积或重复多次化学浴沉积生长得到厚度达到目标要求的硫属化合物光敏半导体薄膜；(2)将衬底进行整体退火敏化处理；制作电极即可得到半导体薄膜光电探测器。本发明通过对制备方法整体流程工艺设计、以及关键化学浴沉积的参数条件等进行改进，能够解决现有半导体薄膜光电探测器制备条件复杂、大规模生产成本高昂、工艺可靠性低和难以实现柔性化的问题。

公开(公告)号：CN109781947A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201910143612.9

申请日：2019-02-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘欢 ,  李华曜 ,  唐江 ,  胡志响 ,  张雨竹 ,  李龙 ,  刘竞尧 ,  田枝来 ,  杨剑弦

IPC: G01N33/00

Abstract: 本发明属于半导体器件与集成系统技术领域，具体公开了一种基于量子点的电子鼻芯片及其设计方法，其中设计方法包括以下步骤：(1)电子鼻芯片上气体传感器阵列的设计：(1-1)以量子点材料作为嗅觉受体材料，设计量子点气体传感器单元，设计得到在衬底上的电阻型或场效应晶体管型传感器单元；(1-2)基于量子点气体传感器单元设计采用MEMS或TFT器件结构的量子点传感器阵列；(2)设计信号处理单元与微控制单元。本发明使用量子点材料作为嗅觉受体材料，设计并制备微纳气体传感器，结合MEMS和TFT器件结构得到传感器阵列，并在芯片上集成包含模式识别算法的MCU和信号处理单元，可得到高灵敏、小体积、低功耗的量子点电子鼻芯片。

公开(公告)号：CN108007810A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201711103503.1

申请日：2017-11-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘欢 ,  张光祖 ,  姜胜林 ,  高乃波 ,  胡志响 ,  黄王满 ,  易飞 ,  成晟民

IPC: G01N5/02

Abstract: 本发明公开了一种基于石英晶体微天平(QCM)的化学传感器及其制备方法，包括：石英晶体振荡片和涂覆在所述石英晶体振荡片上的敏感层，所述敏感层的材料为量子点或量子线。将胶体量子点或量子线涂覆在石英晶振表面均匀成膜，再利用适当的盐溶液进行配体处理，以去除量子点或量子线表面的长链配体。利用胶体量子点或量子线作为敏感层的QCM化学传感器与现有QCM化学传感器相比，敏感层能够在室温成膜并且结晶性好，工艺简便，能够在器件中保持纳米材料的高比表面积和活性，响应及恢复时间较快，并且响应高。