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公开(公告)号：CN1295567C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410061274.8
申请日：2004-12-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅底减薄至60-80μm，形成硅岛结构，最后再涂覆聚酰亚胺，并固化，即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度，且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力，在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。
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公开(公告)号：CN1271765C
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200410012961.0
申请日：2004-04-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种集成模斑变换器的脊型波导偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层、无源波导层、有源区、脊型波导，其顶层和底层设有电极，其特征在于：在无源波导层与有源区之间设有第二级宽脊波导，所述脊型波导为侧向锥形结构，与第二级宽脊波导共同使光束远场与光纤远场匹配。上述脊型波导分为三部分，脊宽分两级侧向减小。本发明不仅具有工艺简单可靠，器件成品率高的特点，而且其偏振灵敏度底，远场特性好，可得到近似圆形的远场光斑，与波导或光纤具有极高的耦合效率和耦合对准容差。本发明可以广泛应用于光网络、光子集成和光电子集成。
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公开(公告)号：CN1209619C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN03128346.2
申请日：2003-07-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种塑料生物芯片的键合和封装装置。该装置包括激光器光源系统、激光光束变换系统、工件对准平台、位移台、伺服控制器和微机主控系统。其优点在于：被键合材料吸收后局部升温快，热影响区小，对周围部件无损害；对键合材料无污染；易于计算机自动控制，键合速度高。装置结构简单、易于自动控制、键合效率高和可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN1195240C
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN02138792.3
申请日：2002-07-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种制作多位相衍射光学元件的工艺，在初始的光学元件基片上首先溅射一层铬膜，当从背面对负性光刻胶曝光时形成掩蔽；各位相台阶的位置由第一块掩模版决定，后面的各制作步骤不再涉及确定台阶的位置，且后续的掩模版使用只要求与第一块掩模版确定的位相台阶位置粗略对准；在负性光刻胶掩蔽下刻蚀透紫外基底材料(如SiO2)时采用具有选择刻蚀比很大的反应离子刻蚀，使部分基底材料被刻蚀掉，而负性光刻胶被保留。对掩模版的制作精度除了第一块要求较高外，其余均要求较低，可降低掩模版的制作成本；只需考虑纵向刻蚀的误差对衍射效率的影响，而横向对准误差的影响无需考虑，通过反应离子刻蚀工艺的终点监控手段，可以高精度地控制纵向制作误差，因而可以得到比现有制作工艺更高的衍射效率。
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公开(公告)号：CN105527026A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410512630.7
申请日：2014-09-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J5/20 , H01L27/146
Abstract: 本发明公开一种具有纳结构光敏单元并采用背照明方式的非致冷红外探测像素单元以及由此像素单元构成的面阵红外成像探测器芯片。该探测器芯片由含有光敏单元阵列的硅基有源片和起支撑作用的无源衬底片键合而成。有源片上含有大量的由像素单元组成的二维阵列，每个像素单元由硅衬底正面的中心红外光透射通道、透射通道外围的ROIC读出电路、像素中心的纳结构光敏单元、表面介质层和硅衬底背面的聚焦微光学单元组成。红外光从硅衬底背面的微透镜一侧入射，被微透镜会聚后通过光透射通道并被聚焦到硅衬底正面的纳结构光敏单元而被吸收探测。本发明的背照明纳结构红外探测器具有高填充因子和快速响应特点，器件结构和制备工艺均比较简单，可用于制造低成本红外热像仪。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103293660B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310215186.8
申请日：2013-05-31
Applicant: 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
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公开(公告)号：CN103224218A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310127162.7
申请日：2013-04-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种MEMS器件的封装方法，包括S1在框架基板与封盖的内表面上对称附着图形化的过渡金属化层和钎料层；S2在框架基板的钎料层上附着图形化的自蔓延多层膜；S3将芯片键合固定在框架基板上并实现信号互连；S4将固定有芯片的框架基板与封盖进行除气除湿处理后对准堆叠形成封装结构；S5对封装结构施加压力、预热后引燃自蔓延多层膜，自蔓延多层膜燃烧并熔化钎料层实现冶金互连。本发明将封盖直接与框架基板键合，简化了生产工艺和结构，降低成本；在焊接过程中，自蔓延燃烧反应不会对封装内部真空度造成影响；反应升降温速度快，热影响区小，在钎料层熔化完成键合的同时，芯片及封盖不会受到热影响，提高了器件的可靠性，延长了工作寿命。
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公开(公告)号：CN101949836A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010262500.4
申请日：2010-08-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热辐射红外发射和探测集成器件，其结构为：带衬底绝缘层的硅衬底上开有至少一个热隔离空腔，热隔离空腔上悬浮有相邻并排设置的至少一个发射单元和至少一个探测单元，发射单元通过至少二条支撑臂与硅衬底相连，探测单元通过至少二条支撑臂与硅衬底相连。发射单元包括由下至上叠置的第一绝缘层、非金属导电层、第一介质层和第一表面导电层；探测单元包括由下至上叠置的第二绝缘层、金属导电层、隔离层、红外敏感层和光子晶体微结构层。该集成器件具有结构简单、高温稳定和波长可调的优点，并且可以获得比发射单元波长谱宽更窄的窄带吸收探测。本发明的集成器件可以用于红外气体传感器和红外光谱仪。
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公开(公告)号：CN103345057B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310215152.9
申请日：2013-05-31
Applicant: 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
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公开(公告)号：CN103543526B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310456195.6
申请日：2013-09-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B26/12
CPC classification number: G02B26/12 , G01S7/4817 , G01S7/4972 , G01S17/42 , G02B26/105
Abstract: 本发明公开了一种阵列式激光扫描器，它包括成底座、控制驱动系统和阵列布置的若干个子镜；所述若干个子镜按照相同的朝向排列，均固定在底座上；各相邻子镜之间留有间距，使相邻子镜在倾斜时不相互碰到；所述控制驱动系统与所述N个子镜中的压电驱动器连接，用于实现对反射镜偏转角度的开环控制。本发明能够通过多光束扫描的方式将多个小扫描场拼接为大扫描场同时保证扫描角度和扫描频率，每个子镜也能独立扫描，实现多目标探测。本发明大幅度提高了空间利用率，提升扫描角度。具有驱动速度快，控制精度高，没有机械磨损，机构紧凑，空间利用率高，稳定性好的特点，并且体积小，重量轻，刚度高，特别适合卫星和无人机成像激光雷达应用。
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