一种对真空设备尾气处理的装置

    公开(公告)号:CN2936401Y

    公开(公告)日:2007-08-22

    申请号:CN200620119117.2

    申请日:2006-08-15

    Abstract: 本实用新型公开了一种对真空设备尾气处理的装置,它包括:在泵抽系统的排气口管路上接一三通阀,三通阀的一路直接通向大气的排气口;另一路接尾气处理槽的进气口,尾气处理槽的出气口再接通向大气的排气口;两路之间靠三通阀转换;所述的有害气体尾气处理槽内置有气体处理液,上设有气体处理液加液口,下设排液口。所述的尾气处理槽还设有观液窗。

    连续镀膜装置用加热器
    32.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2846440Y

    公开(公告)日:2006-12-13

    申请号:CN200520106338.1

    申请日:2005-08-25

    Abstract: 本实用新型公开了一种连续镀膜装置用加热器,它包括:一由外围板围合的腔体,侧面开轴向通口,内置一组加热灯管。长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的挡板。在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板。在加热器的固接一用于与外界固定的支架。本实用新型可适用于连续镀膜装置的连续镀膜加热。

    一种多元素溅射靶材结构
    33.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2813638Y

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200520114360.0

    申请日:2005-07-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种多元素溅射靶材结构,是在金属锆的板材上,均匀地拼接多条条形的金属钇,其中,金属锆的板材可以为圆形,条形金属钇可以为扇条形,且多条扇条形的金属钇的大端位于金属锆的板材的边缘,小端朝向金属锆的板材的中心,多条扇条形的金属钇的中心线通过金属锆的板材的中心,并且围绕着该中心多条扇条形的金属钇均匀分布着。本实用新型的优点是,钇的加入量在靶面上于均匀分布;钇的加入量及分布不随溅射环的大小而改变;靶材使用范围大,不受磁控靶形状和位置的影响。

    一种用于金属薄带切割的装置

    公开(公告)号:CN2808484Y

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200520114361.5

    申请日:2005-07-26

    Abstract: 一种用于金属薄带切割的装置,其特征在于:是在工作台上固定有导套,导套中配合有刀片座,刀片座上安装有刀刃向下的刀片,并在刀片座上固定有刀把手,在工作台与导套之间设有工件放置的空间。本实用新型的装置体积小,重量轻,无需固定,可随处移动,可控切割长度1mm-100mm(或200mm),厚20μm-200μm,宽3mm-30mm的金属带材,保证表面不受损伤,切割尺寸重复性好,带材无变形,且操作简单易控,适合对长的金属薄带进行小样切割。

    多层双轴取向隔离层结构
    35.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2681295Y

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200320127737.7

    申请日:2003-12-15

    Abstract: 本实用新型公开了一种多层双轴取向隔离层结构,是在立方织构金属镍衬底表面上,从下到上依次设有立方织构氧化镍种子层、二氧化锆阻挡层、和二氧化铈帽子层。并在二氧化铈帽子层上设有YBCO涂层。本实用新型的优点是:1.立方织构氧化镍种子层是立方织构金属镍衬底材料自身氧化,无需其它材料,降低成本。2.立方织构氧化镍种子层与立方织构金属镍衬底兼容性较好。3.由于是通过立方织构金属镍衬底表面氧化处理,适宜大规模长带生产,制备手段易连续化。4.二氧化锆阻挡层、和二氧化铈帽子层进一步加强隔离层作用,提高表面质量,改善与YBCO的化学稳定性和结构匹配性。提高YBCO的电性能。

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