公开(公告)号：CN102214596B

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201110139453.9

申请日：2011-05-26

Applicant: 北京大学

Inventor： 黄如 ,  诸葛菁 ,  樊捷闻 ,  艾玉杰 ,  王润声 ,  黄欣

IPC: H01L21/762 ,  H01L21/8238 ,  B82B3/00

CPC classification number: H01L29/66439 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/775

Abstract: 本发明公布了一种以空气为侧墙的围栅硅纳米线晶体管的制备方法。方法包括：隔离并淀积与Si有高刻蚀选择比的材料A；光刻定义Fin条硬掩膜；刻蚀材料A，形成Fin条的硬掩膜；源漏注入；光刻定义沟道区和大源漏区；形成Si Fin条和大源漏；去除材料A硬掩膜；形成纳米线；腐蚀SiO2，形成悬空纳米线；形成栅氧化层；淀积多晶硅；多晶硅注入；杂质激活退火；刻蚀多晶硅；淀积SiN；光刻定义栅线条；刻蚀SiN和多晶硅形成栅线条；将源漏与栅分离，之间区域为空气填充；淀积SiO2，形成空气侧墙；退火致密SiO2层；后续流程完成器件制备。本方法与CMOS工艺流程相兼容，空气侧墙的引入能有效减小器件的寄生电容，提高器件瞬态响应特性，适用于高性能逻辑电路应用。

公开(公告)号：CN221740230U

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202323337973.8

申请日：2023-12-07

Applicant: 北京大学第三医院(北京大学第三临床医学院)

Inventor： 赵振民 ,  丁芃冰 ,  黄欣

IPC: C12M1/00 ,  C12M1/12 ,  C12M1/34 ,  C12M1/24

Abstract: 本实用新型提供一种细胞外囊泡分离纯化装置及医疗设备，涉及医用设备技术领域。细胞外囊泡分离纯化装置包括至少两组分离纯化组件，分离纯化组件包括切向流过滤膜，切向流过滤膜适于过滤生物溶液；相邻的分离纯化组件之间设置有适于生物溶液流动的连通管路；其中，沿生物溶液的流动方向，第N+1个切向流过滤膜的截留孔径小于第N个切向流过滤膜的截留孔径。本实用新型提供的细胞外囊泡分离纯化装置，可以实现生物溶液中的细胞外囊泡的切向流过滤，避免滤膜堵塞，保证细胞外囊泡的分离纯度。