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公开(公告)号：CN118426258A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202310100102.X
申请日：2023-02-02
Abstract: 本发明公开了一种高精度激光直写金属掺杂氧化锌微纳结构的制造方法及用于该方法的锌基光刻胶。所述锌基光刻胶由锌基光刻胶单体、双光子引发剂、自由基捕捉剂、金属配合物和溶剂制成。本发明提供了一种激光直写金属掺杂氧化锌微纳结构的制造方法，包括：S1：将所述的锌基光刻胶旋涂在基板上形成光刻胶薄膜；S2：依据设计的图案，通过振镜系统控制激光焦点的位置，用飞秒激光诱导光刻胶薄膜在选定的位置发生聚合，经过显影后获得所设计的图案；S3：将获得的光刻图案在空气气氛中，经热解得到金属掺杂氧化锌微纳图案。本发明通过飞秒激光直写的方式实现金属掺杂氧化锌的高精度图案化，刻写精度最高达到亚百纳米，掺杂均匀。
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公开(公告)号：CN115755527B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202211447300.5
申请日：2022-11-18
Abstract: 本发明公开了一种无光引发剂的光刻胶及其制备方法、图案化方法，该光刻胶按质量百分比计，由4‑84wt％的含硅氢键化合物A、1‑86wt％含羟基化合物B和0‑91wt％溶剂C组成。本发明的光刻胶无需额外添加光引发剂，通过激光诱导硅氢键和羟基进行反应，形成交联网络，从而显影后得到图案，操作简单，环境友好；同时，含硅氧烷结构的光刻胶体系具有耐腐蚀、耐氧化稳定性、电绝缘和耐高温等特性。
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公开(公告)号：CN115793395B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202211599240.9
申请日：2022-12-12
Abstract: 本发明公开了一种基于双抑制效应的高精度飞秒激光直写光刻胶组合物及其应用。所述飞秒激光直写光刻胶组合物包括单体、双光子引发剂和阻聚剂；所述单体选自丙烯酸酯类化合物和甲基丙烯酸酯类化合物中的一种或多种按任意配比的组合；以单体质量为100％计，双光子引发剂和阻聚剂的质量百分比为0.5‑5wt％和0.1‑5wt％。本发明公开的光刻胶组合物中加入了阻聚剂，利用化学抑制效应可以提高飞秒激光直写的刻写精度。本发明提供了所述光刻胶组合物在飞秒激光直写制备微结构中的应用，其结合了PPI的物理抑制和阻聚剂的化学抑制两种抑制效应，可以显著提高飞秒激光直写的刻写精度，获得极高精度的高质量刻写线条。
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公开(公告)号：CN115869465B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202211589198.2
申请日：2022-12-12
Abstract: 本发明公开了一种天然蛋白光刻胶和活性氧清除细胞支架的制备方法，属于医疗的技术领域，天然蛋白光刻胶是利用天然蛋白的活性基团进行不饱和修饰，并用其做促溶剂助溶功能蛋白，将改性后蛋白溶液与丙烯酸酯化的天然生物大分子共混，最后加入水溶性光敏剂并搅拌均匀而得到天然蛋白基光刻胶。该光刻胶及细胞支架具有以下优势：优秀的生物相容性；长期保持生物活性；活性氧清除细胞支架可以治疗植入部位的炎症反应；模拟细胞外基质环境以促进细胞粘附；可以快速制备并控制支架结构的精细度，以此调控细胞的粘附、生长和迁移。
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公开(公告)号：CN115826354B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202211447277.X
申请日：2022-11-18
Abstract: 本发明公开了一种基于硅氢加成反应的飞秒激光光刻胶及制备、图案化方法，该光刻胶包括含硅氢键化合物和含不饱和双键化合物，通过非线性双光子吸收，发生硅氢加成反应交联形成三维网状结构，显影后得到图案。本发明的光刻胶体系中无光引发剂，通过飞秒激光诱导共价键生成，无需催化剂即可进行硅氢加成反应，操作简单；同时，光刻胶体系中含硅氧烷结构，具有耐候性、耐氧化稳定性、耐腐蚀等特性，有助于增加与基材的附着力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115755527A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211447300.5
申请日：2022-11-18
Abstract: 本发明公开了一种无光引发剂的光刻胶及其制备方法、图案化方法，该光刻胶按质量百分比计，由4‑84wt％的含硅氢键化合物A、1‑86wt％含羟基化合物B和0‑91wt％溶剂C组成。本发明的光刻胶无需额外添加光引发剂，通过激光诱导硅氢键和羟基进行反应，形成交联网络，从而显影后得到图案，操作简单，环境友好；同时，含硅氧烷结构的光刻胶体系具有耐腐蚀、耐氧化稳定性、电绝缘和耐高温等特性。
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公开(公告)号：CN115755525A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211589197.8
申请日：2022-12-12
IPC: G03F7/027 , G03F7/20 , C08F222/14 , C08F220/18 , C08F222/20 , C08F122/14
Abstract: 本发明属于光刻胶、飞秒激光直写、光子集成和光波导技术领域，并公开了一种高折射率激光直写液态光刻胶及高曲率光子引线的制备方法，包括光刻胶组合物、激光直写系统和高曲率光子引线的设计和制作方法，本发明所述的高折射率光刻胶组合物由芴系丙烯酸酯、多官能度丙烯酸酯单体和光引发剂组成，所述的光刻胶组合物在可以进行高速飞秒激光直写，并且在显影后得到的结构具有很低的体积收缩率、高折射率和高力学性能，能轻松大批量地实现高曲率光子引线的制备。由本发明光刻胶通过飞秒激光直写技术得到的高曲率、高折射率光子引线在光通信波段具有高透光率和优秀的光传导效率，极大地利于光子集成和光波导，有望在工业生产中大批使用。
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公开(公告)号：CN115201953A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211009602.4
申请日：2022-08-22
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种双工作波段高衍射效率复合反射光栅，包括透明基底、设置于透明基底上的周期性高折射率栅条和设置于高折射率栅条上表面的金属薄膜；高折射率栅条的折射率大于透明基底的折射率；高折射率栅条的周期、高折射率栅条的斜面与光栅平面的夹角、高折射率栅条的折射率、光栅工作短波段的中心波长和光栅工作长波段的中心波长满足由反射定律、折射定律和光栅衍射方程得出的定量关系式，金属薄膜的厚度满足由趋肤效应得出的定量关系式。本发明的复合反射光栅可以在间隔超过400nm的两个中心波长处同时实现高于90％的衍射效率。
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公开(公告)号：CN115185160A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202211099107.7
申请日：2022-09-09
Abstract: 本发明公开了一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法，其特征在于，按质量百分比计，由4‑8wt%纤维素衍生物，4‑8wt%活性单体，0.1‑0.5wt%光敏剂及85‑90wt%溶剂构成。由纤维素衍生物作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，并通过空气物镜的方式进行飞秒激光直写加工，而无需使用折射率匹配油，以方便进行大面积激光直写，并节省光刻胶的用量。同时，纤维素衍生物来源广泛，价格便宜，具有优异的生物可降解性，采用的活性单体和光敏剂也均具有生物相容性，最终光刻胶组合物几乎无毒，使用完毕后可快速的生物降解，不会对环境造成污染。
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公开(公告)号：CN114755884A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210663716.4
申请日：2022-06-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种有机‑无机杂化飞秒激光直写光刻胶，按质量百分比计，由4‑6wt%的酸A、2‑3wt%的单体B、2‑3wt%硫醇化合物C、0.2‑1.0wt%光引发剂D及87‑91.8wt%溶剂E组成。酸A为锆基丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯或两者的混合物，作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，由此降低加工过程中活性种的扩散以提高精度和分辨率，同时提升光刻胶的力学强度，降低体积收缩率等。所述硫醇化合物C与酸A、单体B可以通过巯基烯点击反应高效快速的交联形成网络结构。同时硫醇化合物C具有抗氧阻聚的作用，可高效地的提升飞秒激光直写的速度。
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