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公开(公告)号：CN1945252A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610114363.3
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种同时确定高反射腔镜和测试镜反射率的方法，其特征在于：强度调制的连续激光入射到两块平凹高反射腔镜组成的稳定谐振腔，以锁相方式测量光腔输出信号一次谐波的振幅和相位，保持腔长不变，加入高反射测试镜构成折叠腔，重复上述过程，测量对应频率的折叠腔振幅和相位，进而得到两种腔型对应频率的振幅比值和相位差值。由两者随调制频率的变化曲线拟合或由两者在两个频率点的值计算，同时得到腔镜反射率和测试镜反射率，本发明具有测量效率和测量精度高的优点。
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公开(公告)号：CN1804572A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610011254.9
申请日：2006-01-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种高反镜反射率的测量方法，其特征在于：采用方波或正弦波调制的宽谱连续激光作光源，入射到两块高反镜组成的稳定谐振腔，由方波调制时单个周期波形的上升阶段和下降阶段拟合得到衰荡时间和腔镜反射率，或以锁相方式探测光腔输出信号的一次或奇次谐波，由其振幅和相位正切值随调制角频率的变化曲线拟合得到衰荡时间和腔镜反射率。保持腔长不变，加入测试镜组成稳定折叠腔，重复上述过程可得测试镜反射率。本发明测量精度高，成本低。
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公开(公告)号：CN105911020B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610237126.X
申请日：2016-04-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明公开了一种基于光腔衰荡光谱技术同时测量多组分气体的方法，宽调谐光源输出光束进入到两端装有平凹高反射率腔镜的气体池，气体池内充入在激光器调谐范围内有吸收光谱的多组分混合气体。对激光器输出波长进行调谐，探测不同波长下的衰荡信号，通过单指数拟合获得不同波长下的衰荡时间，进而得到吸收系数与波长的关系曲线。对测得的混合气体谱线与数据库中各单个气体的标准吸收谱线做拟合处理，可以同时计算获得混合气体中不同气体的浓度。本发明利用宽调谐的激光光源可以获得内容更丰富的气体吸收谱，可以同时对多种气体进行实时测量，可以对具有宽谱吸收的大分子进行浓度检测，检测结果不受光源波动的影响。
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公开(公告)号：CN104792501B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510198761.7
申请日：2015-04-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：在基于光腔衰荡法测量大口径光学元件高反射率时，分析大口径光学元件反射率均匀性测试过程中待测光学元件不同位置反射率值与相应衰荡信号幅值间的关系，通过二次多项式拟合等处理方法，利用拟合参数及衰荡信号幅值计算得到待测光学元件反射率，通过与光腔衰荡方法得到反射率结果对比，印证了该方法的有效性。同时，利用拟合参数还可计算得到激光在衰荡腔内往返一次后两透射波相位延迟δ的余弦值cosδ，该值表征了所建立的光腔衰荡高反射率测试系统光路调节状况，cosδ越接近于1说明光腔调节越好。
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公开(公告)号：CN104233212B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410479889.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具；在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，并通过控制背景噪声、光强度以及信号测量位置，获得随薄膜厚度变化的光学信号，并据此计算实际沉积的膜层厚度。本发明可以实现镀膜机行星转动夹具上平面或者球面镜片上薄膜厚度的直接光学控制，提高行星转动镀膜机薄膜厚度控制的准确度以及复杂膜系的镀膜效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104882494A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510202701.8
申请日：2015-04-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01L31/0216
CPC classification number: H01L31/02168
Abstract: 本发明公开了一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺，其包含使用去离子水和无水酒精清洁薄膜表面、试剂1去银、试剂2去铬和试剂3缓冲研磨、水洗干燥及无水酒精清洁步骤。试剂1由36％～38％浓度的盐酸、五水合硫酸铜及去离子水组成，试剂2由70％浓度的硝酸、硝酸铈氨及去离子水组成，试剂3由碳酸氢钠和去离子水组成。用量为：1L试剂1中盐酸和去离子水的体积比例为1:1～4，所需五水合硫酸铜10～40g/L；1L试剂2所需硝酸50～100ml、硝酸铈氨100～200g；试剂3需要过量碳酸氢钠与去离子水形成悬浊液。退膜工艺中不含氢氟酸HF和诸如氢氧化钠NaOH、氢氧化钾KOH之类强碱等物质。
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公开(公告)号：CN102944378B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210484372.7
申请日：2012-11-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法，该方法利用紫外光学元件在紫外光照射下由于缺陷等的存在而产生荧光的特性，通过测量荧光强度分布及荧光强度与入射激光强度的关系计算得到紫外激光器输出光束分布特性。由于紫外光学元件损伤阈值高，并且在紫外光照射下产生的荧光相对较弱，本方法可对高功率紫外激光器输出光束特性直接测量，不需要使用光束取样器件和能量衰减装置对激光束进行衰减，不存在由于光束取样器件和衰减器件引起的测量误差。
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公开(公告)号：CN104233212A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410479889.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具；在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，并通过控制背景噪声、光强度以及信号测量位置，获得随薄膜厚度变化的光学信号，并据此计算实际沉积的膜层厚度。本发明可以实现镀膜机行星转动夹具上平面或者球面镜片上薄膜厚度的直接光学控制，提高行星转动镀膜机薄膜厚度控制的准确度以及复杂膜系的镀膜效率。
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公开(公告)号：CN102512002B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110416916.1
申请日：2011-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜，包括紫外臭氧发生模块、空调模块、气体管理模块和智能单元，紫外臭氧发生模块对真空紫外光学元件的清洁处理；空调模块实现真空紫外光学元件清洁/存放过程中干燥柜内温度和湿度的控制；气体管理模块完成真空紫外光学元件清洁和存放过程中干燥柜内气体管理；智能单元控制真空紫外光学元件清洁/存放的全部过程。本发明能快速除去真空紫外光学元件上的碳氢根污染物，并阻止水汽对真空紫外光学元件光学性能的不利影响，有效地避免由于存储方式不当造成的真空紫外光学元件性能退化，尤其适用于真空紫外光学元件的清洁和存放。
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公开(公告)号：CN102732844A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210241071.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法，通过建立真空环境中的镀膜模型，研究行星转动夹具上平面或球面光学元件镀膜后薄膜厚度分布。通过将行星转动夹具中光学元件的镀膜过程等效成简单转动夹具中的镀膜过程，设计行星转动夹具中镀膜均匀性修正挡板的初始形状。利用计算机优化修正挡板弧长放大倍数直至薄膜厚度均匀性达到最优结果，获得球面光学元件薄膜厚度均匀性修正挡板的实际形状。本发明可以实现大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件薄膜厚度均匀性的控制，从而获得大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件多层膜光谱特征的均匀性。
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