公开(公告)号：CN102817007A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210321488.9

申请日：2012-09-03

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 李斌成 ,  柳存定 ,  孔明东 ,  郭春

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/58 ,  G02B1/12

Abstract: 一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法，通过实验或理论方法，获得高真空镀膜机中大口径球面光学元件单层膜厚度均匀性修正挡板形状；利用修正挡板修正增透膜中每一层薄膜厚度均匀性，在球面光学元件上按照膜系设计要求沉积厚度均匀分布的高、低折射率介质层制备增透膜；通过在干燥大气环境中利用紫外光辐照大口径球面光学元件，获得透射率均匀分布的增透膜。本发明可以提高大口径球面光学元件，特别是大口径/曲率半径比球面光学元件表面增透膜及其他膜系透射光谱特征的均匀性。

公开(公告)号：CN102787301A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201210255436.6

申请日：2012-07-23

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 李斌成 ,  郭春 ,  孔明东 ,  柳存定

IPC: C23C14/54

Abstract: 一种用于镀膜行星系统中控制圆锥形光学元件膜厚分布的挡板设计方法，真空镀膜过程中，膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输，在圆锥形光学元件表面上形成厚度非均匀分布的薄膜，分别建立了能真实反映未使用挡板和使用挡板修正时真空镀膜机行星系统中沉积到圆锥形光学元件上的薄膜厚度分布模型；根据未使用挡板时的薄膜厚度分布模型确定真空镀膜过程中薄膜材料的蒸发或溅射特性，再运用存在挡板修正时的薄膜厚度分布模型理论模拟圆锥形光学元件上的薄膜厚度分布，通过计算机优化挡板设计直至真空镀膜机行星系统中挡板修正后圆锥形光学元件上薄膜厚度分布达到设计需求，获得最优的挡板设计。本发明能实现圆锥形光学元件上薄膜厚度分布的精确控制。