公开(公告)号：CN201812821U

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200920269051.9

申请日：2009-11-18

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 包西昌 ,  朱龙源 ,  李向阳 ,  兰添翼 ,  赵水平 ,  王妮丽 ,  刘诗嘉

IPC: H01L27/144 ,  H01L23/482

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本专利公开了一种从背面引电极的碲镉汞长波红外光电导探测器，器件结构包括：采用激光打孔机打的直径为60微米面阵的微孔中含有电镀金(8)的蓝宝石衬底(7)；双面精抛处理且长阳极氧化膜的碲镉汞材料(12)晶片，其中与环氧树脂胶(9)接触的一面增加了一层ZnS抗反膜(10)；把有ZnS的碲镉汞材料面粘结在衬底上的环氧树脂胶(9)；在刻穿碲镉汞晶片后溶解掉环氧树脂胶，形成的与电镀金相对应的面阵及周围部分碲镉汞上的电极。电极通过井伸工艺连接碲镉汞与电镀金；电路板蓝宝石基板(1)与芯片背面的电镀金(8)通过蒸镀的铟柱互联，使信号读出。本专利的优点在于，器件的占空比高，电极从衬底面引出，避免了传统正照射工艺中电极对入射光的阻碍，也避免采用背照射工艺中衬底对入射光信号的影响。