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公开(公告)号：CN112162466A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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公开(公告)号：CN111736433A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010660667.X
申请日：2020-07-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于椭球面镜-球面镜组合光收集的LPP-EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、椭球面镜和球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生EUV光辐射，所产生的EUV光辐射经球面镜和椭球面镜反射而聚焦。本发明采用椭球面镜-球面镜组合的方式提高EUV光收集效率，从而进一步提升LPP-EUV光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN106130532B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610471352.4
申请日：2016-06-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H03K17/94
Abstract: 一种高压放电激光触发开关，构成包括：绝缘底座、高压电极法兰、高压电极头、低压电极头、低压电极法兰、透镜支撑法兰、透镜压圈和透镜。本发明触发开关可以连续地调节触发开关的自触发电压，使之与工作电压更加接近，更易触发放电；聚焦位置可以精确调节，产生的等离子体能量稳定。本发明可将触发与放电起始的延时缩短在130纳秒以内、延时抖动在5纳秒以内，实现了高精度、高稳定性的高压放电触发，可用于高精度控制的高压放电系统。
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公开(公告)号：CN107508126A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201610421082.6
申请日：2016-06-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 本发明公开了一种含离轴抛面镜的激光光路调节方法。离轴抛面镜可以避免激光在穿透介质时所产生的非线性效应，本发明通过使用离轴抛面镜，为保证激光聚焦后的光束质量，在光路调节中，利用公式计算，根据相似三角形的性质将激光光路调节至目标位置，不改变离轴抛面镜对激光的聚集特性，不破坏光束质量，具有操作简单、方便高效、应用范围广的优点。本发明可用于激光等离子体相互作用领域，特别是激光等离子体尾波场加速电子机制中，可提供好的激光光束质量用于聚焦打靶。
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公开(公告)号：CN106873022A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710167300.2
申请日：2017-03-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种适用于激光尾场电子加速的高分辨率电子能谱仪，构成包括：电子传输管道，二极铁，钽膜，锡箔纸，荧光板，暗室，ccd构成，本发明能有效测量激光尾场电子加速过程中所产生的电子束的能量，电量等信息。具有操作简单，方便高效的优点。本发明可用于激光等离子体相互作用领域，尤其是尾场加速电子机制中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104914680B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510270184.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射-循环装置、LPP-EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射-循环装置而在LPP-EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP-EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP-EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。
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公开(公告)号：CN106130532A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610471352.4
申请日：2016-06-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H03K17/94
CPC classification number: H03K17/941 , H03K2217/94102
Abstract: 一种高压放电激光触发开关，构成包括：绝缘底座、高压电极法兰、高压电极头、低压电极头、低压电极法兰、透镜支撑法兰、透镜压圈和透镜。本发明触发开关可以连续地调节触发开关的自触发电压，使之与工作电压更加接近，更易触发放电；聚焦位置可以精确调节，产生的等离子体能量稳定。本发明可将触发与放电起始的延时缩短在130纳秒以内、延时抖动在5纳秒以内，实现了高精度、高稳定性的高压放电触发，可用于高精度控制的高压放电系统。
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公开(公告)号：CN102661908B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201210129579.2
申请日：2012-04-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N9/24
Abstract: 一种用于超短超强激光与团簇相互作用的诊断激光等离子体参数的单光束飞秒探针，其构成是以置于真空靶室内、离轴抛物镜焦点上方的靶点为中心，沿光路分为探针光的形成、缩束、延时调节部分和探针光的扩束、相干测量部分，包括激光分束器、激光缩束系统、光学延时系统、激光扩束系统和激光干涉测量系统。本发明具有简捷性、易操作性、延时的准确性、高灵敏度和低成本等优点。
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公开(公告)号：CN102445705B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110254576.7
申请日：2011-08-31
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 一种用于可同时测量飞秒电子束长度、能谱和电量参数的多功能飞秒电子束诊断仪，由电子束偏转单元、电子束能谱单元、电子束初始方向定标单元、电子束偏转和电量测量单元组成。本发明主要利用了后向相干衍射辐射导致的电子束偏转效应，并结合了传统电子能谱仪和前向相干衍射辐射定标法，克服了传统电子束诊断仪无法实现对10fs甚至飞秒量级的电子束长度、能谱、电量等参数同步测量的缺点。实现了对飞秒电子束的电子束长度、能谱、电量的同步测量，具有操作简单、方便高效、测量精度高、应用范围广的优点。
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公开(公告)号：CN210427304U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921362107.5
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
IPC: G01N15/10
Abstract: 本实用新型提供一种冰晶接收和自动计量装置，其中所述的端部支撑块底部为凸块A，顶部固定有盖板A，且盖板A与端部支撑块间穿有环形钢丝，环形钢丝底部通过传感器连接防雨绸；环形钢丝另一端穿过滑动支撑块与盖板B间，滑动支撑块底部为凸块B，凸块B穿在丝杆上，且丝杆上设有外螺纹；丝杆一端焊接在固定块A一侧，丝杆另一端穿过固定块B及转轮与电气传动装置连接，固定块B底部通过螺栓固定在槽钢内；优点为：本实用新型能够整体计量整个实验装置内的冰晶数量，对冰晶的形成过程进行实时追踪，并能通过狭小的操作窗口将冰晶整体取出，方便后续实验设备观察。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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