定频模式下的LC谐振传感器读取系统及方法

    公开(公告)号:CN103438911A

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201310317227.4

    申请日:2013-07-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种定频模式下的LC谐振传感器读取系统及其方法,解决了现在LC谐振传感器读取装置存在精度低、稳定性差、响应速度慢、误差大等缺点。该系统包括输出端、输入端依次连接的信号源模块、天线测试端、峰值检波模块、信号采集模块、数据存储模块、中央处理模块以及显示模块,同时中央处理模块的输出端又分别与信号采集模块和数据存储模块的输入端连接。本发明读取系统原理简单,结构合理科学,该系统中设计有完善的峰值检测系统,实现了对LC谐振传感器信号的高精度、高频响、稳定地实时测量,提高了整个测量系统的频率响应速度和精确度,有利于以后更进一步对传感器的高精度、快响应频率测量技术方面的研究。

    高温压力传感器
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102288355B

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201110198949.3

    申请日:2011-07-16

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明具体为一种高温压力传感器,解决了现有压力传感器由于结构不合理导致其在高温环境隔离失效无法正常工作的问题。包括上端开口的柱状壳体,壳体上端设有带中心孔的上端盖,上端盖下底面设有上部穿入其中心孔的阶梯状上绝热环,上绝热环下表面设有与壳体内侧壁留有间隙且中心开有通孔的热沉体,热沉体上端固定有与其通孔相通且穿过上绝热环的引压管,热沉体与壳体下端内壁之间设有与两者相接触的下绝热环,壳体下端内壁开有凹槽,凹槽内放置有与热沉体通孔相通的压力传感器主体。本发明具有结构合理可靠的优点,满足压力传感器在高温环境下能够进行压力测量的同时也能够长时间工作。

    基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件

    公开(公告)号:CN102830086A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210317953.1

    申请日:2012-08-31

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及红外气体探测器的敏感元件,具体是一种基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件。进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。由上至下包括红外敏感吸收层、上电极、热释电薄膜组合层、下电极、热隔离层、高热阻抗基底;红外敏感吸收层为具有锥状森林形貌结构的黑硅吸收层,热释电薄膜组合层为若干层PT薄膜和PZT薄膜交替设置构成的PT/PZT/PT~PT/PZT/PT多层薄膜结构;结构及加工工艺合理,具备良好的热吸收性能和热响应性能,能用于构建高性能红外气体探测器,满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。

    基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室

    公开(公告)号:CN102324371A

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201110252650.1

    申请日:2011-08-30

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室,基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室由两片完全相同的电极板重叠放置组成,基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室的厚度为两片电极板厚度之和,电极板包括三个焊盘,三个焊盘上分别设有第一过孔、第二过孔、第三过孔,两片电极板的反面相接触,两片电极板通过分别在第一过孔、第二过孔、第三过孔内放置一个插针进行机械固定和电气连接,一个插针接偏置电极,一个插针接收集电极,另外一个插针接地。本发明保证了体积的足够小,又确保了足够的光路长度,使进入电离室内的气体被充分电离。

    高温压力传感器
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102288355A

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN201110198949.3

    申请日:2011-07-16

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明具体为一种高温压力传感器,解决了现有压力传感器由于结构不合理导致其在高温环境隔离失效无法正常工作的问题。包括上端开口的柱状壳体,壳体上端设有带中心孔的上端盖,上端盖下底面设有上部穿入其中心孔的阶梯状上绝热环,上绝热环下表面设有与壳体内侧壁留有间隙且中心开有通孔的热沉体,热沉体上端固定有与其通孔相通且穿过上绝热环的引压管,热沉体与壳体下端内壁之间设有与两者相接触的下绝热环,壳体下端内壁开有凹槽,凹槽内放置有与热沉体通孔相通的压力传感器主体。本发明具有结构合理可靠的优点,满足压力传感器在高温环境下能够进行压力测量的同时也能够长时间工作。

    便携式红外瓦斯报警仪
    36.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101567120B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200910074252.8

    申请日:2009-04-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及瓦斯检测领域,具体是一种便携式红外瓦斯报警仪。解决了现有瓦斯红外检测装置的灵敏度和精度未能达到理想的要求等问题,该报警仪包括置于盒体内的检测单元、信号处理电路,盒体上设有功能按钮、显示屏、报警器、报警指示灯,盒体上开有与检测单元正对的通气孔;检测单元为内置有红外光源、红外探测器的集气罐,集气罐包含侧壁上开有通孔的筒体、分别固定于筒体两端的端盖,端盖的内表面为凹镜镜面,红外光源、红外探测器分别通过支撑体与两端盖的内表面固定,并处于端盖内表面凹镜镜面的焦点位置。检测单元结构简单、合理、紧凑,便于加工,便于随身携带,整个报警仪的灵敏度高、响应速度快、稳定性好、测量精度高,应用范围广。

    便携式光离子化气体检测仪

    公开(公告)号:CN101603945A

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200910074907.1

    申请日:2009-07-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及气体检测装置,具体是一种便携式光离子化气体检测仪。解决了现有光离子化气体检测器存在的检测准确度、灵敏度不高等问题,该检测仪包括无极紫外灯、内置有偏置电极板和收集电极板的离子化室,离子化室固定有进气端盖,离子化室上开有出气口,离子化室内的电极板平行、正对设置,与无极紫外灯的光线出射方向平行,离子化室内偏置电极板的数量为两块,两偏置电极板的间距与无极紫外灯光学窗口等高,收集电极板置于两偏置电极板间的中间位置;进气端盖上开设有进气窗口,进气窗口处设有金属微尘滤网和双层微孔滤膜。本发明结构简单、合理,体积小巧,便于携带,检测数据准确,灵敏度高,满足作业现场的实时、连续检测要求,应用范围广泛。

    一种MEMS超薄悬浮膜释放方法

    公开(公告)号:CN114852952B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202210373580.3

    申请日:2022-04-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放方法,属于MEMS传感器技术领域,本发明在干法刻蚀过程中通过引入贴片环,贴片环光刻胶形成台阶,使得正面保护的陪片与膜结构不直接接触,避免了之后膜分离时的外力损伤。贴片环位于晶圆一圈,属于密闭环,避免刻蚀气体进入空隙造成损伤。适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放。

    一种压阻式压力传感器无源电阻网络温度补偿方法

    公开(公告)号:CN119756670A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411674146.4

    申请日:2024-11-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及压阻式压力传感器信号调理领域,高温测试环境中,压力传感器敏感芯片的电桥输出零位和灵敏度电压都会随测试温度变化而产生漂移,影响测量精度,本发明提供一种压阻式压力传感器无源电阻网络温度补偿方法,采用低温度系数电阻网络补偿模型,根据压阻式压力传感器的常温初始零位电压的正负选取对应的补偿模型,利用补偿模型实现电桥零位温度漂移补偿和电桥灵敏度温度漂移补偿,使得压阻式压力传感器在初始压力加载下输出电压不随温度变化,压阻式压力传感器在变化压力加载下输出电压不随温度变化,本发明基于压阻式压力传感器封装后的实际测量数据,克服压阻式压力传感器封装的残余应力、电桥自身参数偏移等影响,实现高精度温度补偿。

    一种应用于高温环境下的温压原位同测方法

    公开(公告)号:CN118310671B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410741952.2

    申请日:2024-06-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种应用于高温环境下的温压原位同测方法,属于半导体技术领域,首先确定待测压敏电阻R0所在传感器的掺杂浓度。然后用高低温冲击试验箱测量与待测压敏电阻R0掺杂浓度相同的压敏电阻R1的电阻‑温度拟合曲线A。再测量待测压敏电阻R0在常温下的电阻值。接着将待测压敏电阻R0常温下的电阻值与电阻‑温度拟合曲线A进行匹配,得到已封装好的传感器的待测压敏电阻R0的电阻值与电阻‑温度拟合曲线B。最后当待测压敏电阻R0所对应的传感器在工作测压时,将测得的阻值带入传感器电阻‑温度拟合曲线B,可得此时传感器对应的工作温度。通过该方法,可以提高高温环境下压力传感器的工作性能,使温压同位检测更加精准。

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