公开(公告)号：CN111039255A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201911242893.X

申请日：2019-12-06

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 赵万良 ,  段杰 ,  成宇翔 ,  李绍良 ,  应俊 ,  白沐炎

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件，所述的MEMS惯性器件包含：封装管壳、位于封装管壳内的芯片；所述的方法包含以下步骤：步骤1，将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀，得到混合物；步骤2，利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上，以形成贴片胶层；步骤3，将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上；步骤4，使所述的贴片胶层固化。本发明通过在贴片胶内添加直径一致的硅珠，并对贴片胶层各个参数量化控制，有效的降低封装应力，提高了工艺过程的稳定性。

公开(公告)号：CN109062048A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201810948760.3

申请日：2018-08-20

Applicant: 西北工业大学 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 许斌 ,  张睿 ,  赵万良 ,  成宇翔 ,  李绍良

IPC: G05B13/04

CPC classification number: G05B13/042

Abstract: 本发明涉及一种基于复合学习的MEMS陀螺仪预设性能非奇异滑模控制方法，该方法考虑存在参数摄动的MEMS陀螺动力学模型，结合平行估计模型构建神经网络预测误差，设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计；引入性能函数使跟踪误差受限，并通过误差转换将受限的跟踪误差转换为不受限的转换误差，设计基于转换误差的滑模控制器和复合学习律，实现MEMS陀螺的预设性能控制；设计非奇异终端滑模控制器实现未知动力学的前馈补偿，并避免系统奇异问题。本发明解决MEMS陀螺系统奇异、超调及跟踪误差无法预先设计的问题，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度，改善陀螺性能。