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公开(公告)号：CN107608216A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201711073625.0
申请日：2017-11-05
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于平行估计模型的MEMS陀螺仪复合学习控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先根据平行估计模型和动力学模型构建神经网络预测误差，结合跟踪误差，设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计；同时由于系统处于滑动模态时，对参数不确定和外界干扰不敏感，设计滑模控制器，实现未知动力学的前馈补偿。本发明通过设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度，实用性好。
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公开(公告)号：CN111039255B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201911242893.X
申请日：2019-12-06
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件，所述的MEMS惯性器件包含：封装管壳、位于封装管壳内的芯片；所述的方法包含以下步骤：步骤1，将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀，得到混合物；步骤2，利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上，以形成贴片胶层；步骤3，将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上；步骤4，使所述的贴片胶层固化。本发明通过在贴片胶内添加直径一致的硅珠，并对贴片胶层各个参数量化控制，有效的降低封装应力，提高了工艺过程的稳定性。
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公开(公告)号：CN111006690B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201911127945.9
申请日：2019-11-18
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种基于振动陀螺零位自校准的控制电路系统，该系统包括：固体波动陀螺；信号解调模块；FPGA处理模块，其包含并联的五个回路，所述五个回路是x回路、y回路、正交回路、相位跟踪回路、调频回路；信号调制模块；所述固体波动陀螺、信号解调模块、FPGA处理模块、信号调制模块依次连接形成信号闭合回路。本发明通过谐振式固体波动陀螺的模态输出并进行解调，将解调后的信号送入各个回路进行目标控制，在自校准模式下通过X回路和Y回路的控制力做差来反映系统的角速度输出，在没有外界角速度输入的情况下，通过X回路和Y回路二者相减使固体波动陀螺此时输出为零，实现零位自校准；利用本发明可以大幅降低系统的零位误差，提高系统的标度因数。
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公开(公告)号：CN108871304B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201810651366.3
申请日：2018-06-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供了一种镍电极机构内驱圆形梁谐振微陀螺，包括基底(100)、谐振器(102)以及电极机构(104)；所述基底(100)设置有凸出部108；所述谐振器(102)设置在凸出部108内；所述电极机构(104)沿周向均匀分布在基底(100)上。所述电极机构(104)呈扇形；所述电极机构(104)材料为镍。镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用圆形梁谐振结构，具有高度对称性；镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用S型柔性固定梁，结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能。分布在圆形梁谐振器内侧边缘的镍电极相对于分布在圆形梁谐振器外侧圆的电极而言，可以提高镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺的Q值，因而响应更加灵敏。
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公开(公告)号：CN111039255A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911242893.X
申请日：2019-12-06
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件，所述的MEMS惯性器件包含：封装管壳、位于封装管壳内的芯片；所述的方法包含以下步骤：步骤1，将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀，得到混合物；步骤2，利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上，以形成贴片胶层；步骤3，将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上；步骤4，使所述的贴片胶层固化。本发明通过在贴片胶内添加直径一致的硅珠，并对贴片胶层各个参数量化控制，有效的降低封装应力，提高了工艺过程的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111006690A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911127945.9
申请日：2019-11-18
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种基于振动陀螺零位自校准的控制电路系统，该系统包括：固体波动陀螺；信号解调模块；FPGA处理模块，其包含并联的五个回路，所述五个回路是x回路、y回路、正交回路、相位跟踪回路、调频回路；信号调制模块；所述固体波动陀螺、信号解调模块、FPGA处理模块、信号调制模块依次连接形成信号闭合回路。本发明通过谐振式固体波动陀螺的模态输出并进行解调，将解调后的信号送入各个回路进行目标控制，在自校准模式下通过X回路和Y回路的控制力做差来反映系统的角速度输出，在没有外界角速度输入的情况下，通过X回路和Y回路二者相减使固体波动陀螺此时输出为零，实现零位自校准；利用本发明可以大幅降低系统的零位误差，提高系统的标度因数。
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公开(公告)号：CN109062048A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810948760.3
申请日：2018-08-20
Applicant: 西北工业大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G05B13/04
CPC classification number: G05B13/042
Abstract: 本发明涉及一种基于复合学习的MEMS陀螺仪预设性能非奇异滑模控制方法，该方法考虑存在参数摄动的MEMS陀螺动力学模型，结合平行估计模型构建神经网络预测误差，设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计；引入性能函数使跟踪误差受限，并通过误差转换将受限的跟踪误差转换为不受限的转换误差，设计基于转换误差的滑模控制器和复合学习律，实现MEMS陀螺的预设性能控制；设计非奇异终端滑模控制器实现未知动力学的前馈补偿，并避免系统奇异问题。本发明解决MEMS陀螺系统奇异、超调及跟踪误差无法预先设计的问题，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度，改善陀螺性能。
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公开(公告)号：CN108871304A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810651366.3
申请日：2018-06-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供了一种镍电极机构内驱圆形梁谐振微陀螺，包括基底(100)、谐振器(102)以及电极机构(104)；所述基底(100)设置有凸出部108；所述谐振器(102)设置在凸出部108内；所述电极机构(104)沿周向均匀分布在基底(100)上。所述电极机构(104)呈扇形；所述电极机构(104)材料为镍。镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用圆形梁谐振结构，具有高度对称性；镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用S型柔性固定梁，结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能。分布在圆形梁谐振器内侧边缘的镍电极相对于分布在圆形梁谐振器外侧圆的电极而言，可以提高镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺的Q值，因而响应更加灵敏。
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公开(公告)号：CN108871303A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810652716.8
申请日：2018-06-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种电极微陀螺的制备方法，包括第一器件凹槽形成步骤、第二器件凹槽形成步骤、支撑柱通孔形成步骤；所述第二器件凹槽形成步骤包括掩膜层形成步骤、谐振器凹槽形成步骤。所述第一器件凹槽形成步骤包括电极凹槽形成步骤、金属层组形成步骤、去除多余金属步骤。本发明提供的方法步骤简洁，采用成熟的微机械加工工艺和刻蚀方法，利于批量生产。本发明提供了镍电极侧驱半球微陀螺具有高度对称性，且结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能。本发明提供了所述镍电极侧驱半球微陀螺采用侧驱方式驱动，工艺上易于实现，成本相对较低，便于批量生产。本发明具有体积小、结构稳定、响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
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公开(公告)号：CN108871302A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810651368.2
申请日：2018-06-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种电极谐振微陀螺，包括基体(1)、谐振体(2)；所述谐振体(2)设置在基体(1)上；所述基体(1)具有容纳腔(4)；所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3)；所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽；所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配；所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺，加工方便，利于批量生产；通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱，可以精准的控制支撑柱的大小，并实现结构的自对称。
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