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公开(公告)号：CN209483000U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201822247110.4
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种小型真空腔体的上盖支撑结构，包括铰链装置、支座、支撑杆、固定板、上盖、把手、腔体、支撑螺栓、固定轴，在所述的腔体上通过铰链装置连接所述的上盖；在上盖的两侧各设置一固定板；在固定板上活动连接支撑杆的一端；支撑杆的另一端活动连接设置在腔体上的支座上，所述的支座设置在腔体圆弧状边缘上；在所述的上盖的前方设置一把手；在腔体的任意一侧连接固定轴；在固定轴上活动连接一支撑螺栓；本实用新型的技术效果在于，在腔体两个设置了防止上盖快速下落的缓冲装置，同时，还在腔体上面设置了支撑螺栓，用于支撑上盖，这样使得上盖能够缓缓下降，防止上盖或者腔体损坏同时，在取件时候，不容易造成人员伤害。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN220665437U
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202322365063.4
申请日：2023-09-01
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜生产线工件车转运结构，包括：主体框架，所述主体框架的内部设置有真空镀膜立式生产线，所述真空镀膜立式生产线的两端分别设置有结构相同的上料架组件和下料架组件，所述上料架组件的内部设置有工件车组件，所述工件车组件的内部安装有镀膜靶件，且所述真空镀膜立式生产线的顶部设置有转运组件。该空镀膜生产线工件车转运结构，通过真空镀膜立式生产线对镀膜靶件进行镀膜，整体结构较小，占地面积较少，且采用转运组件将工件车组件进行循环转运，避免工件车组件再占据额外空间，相较于一般放置于地面的工件车转运方式，其占用的空间小，结构简单，且操作简单，对于连续生产时效率更高。
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公开(公告)号：CN218755989U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239783.8
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/00
Abstract: 本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。
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公开(公告)号：CN216078360U
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202121041758.1
申请日：2021-05-14
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种真空阀门，在真空阀门的两侧分别设置导向限位块，在两侧导向限位块之间活动连接活动法兰机构，活动法兰机构在导向限位块上上下动作，活动法兰机构的背部设置固定密封法兰，的活动法兰机构带动密封法兰在导向限位块上移动到最下端位置为真空阀门打开状态，的活动法兰机构带动密封法兰在导向限位块上移动到最上端位置为真空阀门关闭状态，本实用新型的实施方式通过气缸连接阀板做升降运动，连接板带动密封法兰上下移动，并通过连接板在到达关闭限位时压紧密封法兰形成密封，相对现有技术中的推拉阀门，其开启关闭阀门的占用空间小，适用于在有限空间内安装使用，解决了因空间问题造成的工作不便。
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公开(公告)号：CN207176073U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135325.6
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C16/505
Abstract: 本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备的射频信号引入结构，包括双层水冷腔体、同轴电缆接头、屏蔽罩，屏蔽罩设置在双层水冷腔体的上方；同轴电缆接头设置在屏蔽罩上，在屏蔽罩与双层水冷腔体之间设置一焊接法兰；焊接法兰的上方设置第一绝缘法兰；第一绝缘法兰上方设置一接线法兰，接线法兰上中心设置一中心圆孔，在其的上方开设一凹槽，设置一进气管；在其两侧各设置一电刷；设置在凹槽内；电刷的一端抵住进气管的外侧；电刷的另一端抵住凹槽的两侧；进气管向下依次穿过第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体；在进气管与第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体之间设置一绝缘套；解决了射频信号引入失效的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207176064U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135272.8
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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