公开(公告)号：CN220398407U

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202321259010.8

申请日：2023-05-23

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  上海计测信息科技有限公司

Inventor： 吴俊杰 ,  蔡潇雨 ,  魏佳斯 ,  李源 ,  周勇 ,  孙恺欣

IPC: G01B5/02

Abstract: 本实用新型涉及一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置，通过采用两台共聚焦显微镜直接定位量块的两个测量面，实现量块长度的测量，无需借助辅助面，避免了采用其他原理单方向测量时存在的量块与辅助面研合间隙造成的测量误差，结果更为准确可靠。本实用新型涉及的一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置采用两台共聚焦显微镜对顶测量的方式，通过定位量块两个测量面实现测量，无需进行全范围扫描，仅需在量块的测量面附近进行慢速扫描，其余位置均可快速移动，在测量长度较长的量块时，可有效提升测量效率。

公开(公告)号：CN210922540U

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201921943497.5

申请日：2019-11-12

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 吴俊杰 ,  李源 ,  王阳 ,  傅云霞 ,  蔡潇雨 ,  魏佳斯 ,  周勇 ,  孙恺欣

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00

Abstract: 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利