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公开(公告)号：CN1694275A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510026608.2
申请日：2005-06-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件，属于传感器技术领域。本发明由带SiO2层的硅衬底、引脚、曲折状三明治结构软磁多层膜和偏置永磁体组成，引脚从多层膜两端的铜层引出，并设置在衬底上，整个曲折状三明治结构软磁多层膜位于带SiO2层的硅衬底上。偏置永磁体用微细加工技术制备，并用环氧胶水粘贴于磁敏器件的背面。本发明采用曲折状三明治结构多层膜可大大提高多层膜的巨磁阻抗效应；采用薄膜技术和MEMS技术可以实现其制备工艺与IC工艺兼容，可与配套的检测电路制作在一起，实现整个传感器的薄膜化、小型化，并具有高灵敏度、响应速度快，性能重复性好、温度稳定性好及易于大批量生产。
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