包括铁电薄膜结构的电子器件
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115939195A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202210916857.2

    申请日:2022-08-01

    Abstract: 本发明公开了一种电子器件,该电子器件包括:衬底,包括源极、漏极以及在源极和漏极之间的沟道;栅电极,布置在衬底上方并面向沟道,栅电极在第一方向上与沟道隔开;以及在沟道和栅电极之间的铁电薄膜结构,该铁电薄膜结构包括在第一方向上从沟道起顺序布置的第一铁电层、包括电介质材料的结晶阻挡层、和第二铁电层。第一铁电层的晶粒的尺寸的平均值可以小于或等于第二铁电层的晶粒的尺寸的平均值,并且由于小的晶粒,可以改善性能的离散。

    铁电材料和包括该铁电材料的电子器件

    公开(公告)号:CN115832028A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211129909.8

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 提供了一种铁电材料和包括该铁电材料的电子器件,该铁电材料包括:第一畴,包括在第一方向上极化的第一极化层和与第一极化层相邻设置的第一间隔物层;第二畴,包括在不同于第一方向的第二方向上极化的第二极化层和与第二极化层相邻设置的第二间隔物层;以及结构层,设置在第一畴与第二畴之间的畴壁上,并属于/具有根据Pbcn空间群排列的原子。

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