公开(公告)号：CN110579626A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201911008464.6

申请日：2019-10-22

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 张明 ,  阮晓明 ,  徐鑫

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供了一种微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；伺服电路全部元器件采用厚膜混合集成工艺集成在陶瓷基片上，伺服电路采用金属全密封封装。本发明采用金属平行缝焊封装形式的石英挠性加速度计伺服电路，实现了伺服电路全密封化，解决了伺服电路在极端环境下可靠性问题和散热问题。

公开(公告)号：CN110579625A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201911008457.6

申请日：2019-10-22

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 张明 ,  阮晓明 ,  徐鑫 ,  赵国良

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供了一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，所述电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；反馈网络与跨导/补偿放大器连接；所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃高温元器件，全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。通过与耐高温加速度传感器匹配，可提升加速度系统模块器件的耐高温能力，完成极端环境下对加速度的测量。