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公开(公告)号：CN108761603B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810495948.7
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。
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公开(公告)号：CN109738066A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910123359.0
申请日：2019-02-18
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法，包括以下步骤：取用立体分光镜，所述立体分光镜包括依次相邻设置的第一平面、第二平面、第三平面和第四平面，所述第一平面为进光面，所述第二平面、第三平面和第四平面为出光面，所述第一平面垂直于第二平面设置，所述第三平面垂直于第四平面设置；使用光学冷加工工艺对所述第二平面加工并获得倾斜面，得到斜面分光镜；通过离子束刻蚀法在所述倾斜面上刻蚀出阶梯表面；在所述阶梯表面和所述第三平面上镀反射膜。其结构简单紧凑，而且具有更好的稳定性，精度高。
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公开(公告)号：CN108761602A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810494570.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN105552713B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610101004.8
申请日：2016-02-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种用于无荧光拉曼光谱仪的多波长外腔激光器，其通过电源切换电路驱动阵列中二个以上的等中心波长激光二极管独立通断，输出光束经准直激光校准光学元件校准为平行的准直激光束，而光栅采用特殊设计，其对应各准直激光束的入射点区域设不同光栅周期，使准直激光束经光栅衍射后形成同向输出且具有波长差异的零级反射光束和沿原路返回相应激光二极管内部参与谐振腔内部模式竞争的一级衍射光束；所述零级反射光最后经光纤耦合透镜汇聚至光纤合路器进行波长输出。本发明采用电路切换波长输出，消除了常规机械调节的不可靠性和可能误差，使调谐结构更简单稳固，保证了输出波长的高稳定性，实际操作时波长输出的重复性强，调谐精度更高。
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公开(公告)号：CN108318954A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810312061.X
申请日：2018-04-09
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种宽光束扫描曝光系统与方法，为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题，采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅；在扫描曝光过程中，运用多维条纹锁定技术，始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹，直至扫描曝光结束；在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差，条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角，从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅；光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率，同时保证光束的波面质量，大大缩短了米量级光栅的制备时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106707499A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611049668.0
申请日：2016-11-21
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。本发明通过在两个平面腔镜上镀金属膜构成多个平行平板电容器对，利用这些电容器的电容值，可以实时地测量平行平板之间的微小夹角以及各部分的间隙数值，以便对平行度和法布里珀罗腔长(输出波长)进行控制。
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公开(公告)号：CN105552713A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610101004.8
申请日：2016-02-24
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: H01S5/0427 , H01S5/147 , H01S5/4025
Abstract: 本发明公开了一种用于无荧光拉曼光谱仪的多波长外腔激光器，其通过电源切换电路驱动阵列中二个以上的等中心波长激光二极管独立通断，输出光束经准直激光校准光学元件校准为平行的准直激光束，而光栅采用特殊设计，其对应各准直激光束的入射点区域设不同光栅周期，使准直激光束经光栅衍射后形成同向输出且具有波长差异的零级反射光束和沿原路返回相应激光二极管内部参与谐振腔内部模式竞争的一级衍射光束；所述零级反射光最后经光纤耦合透镜汇聚至光纤合路器进行波长输出。本发明采用电路切换波长输出，消除了常规机械调节的不可靠性和可能误差，使调谐结构更简单稳固，保证了输出波长的高稳定性，实际操作时波长输出的重复性强，调谐精度更高。
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公开(公告)号：CN105067114A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510424163.7
申请日：2015-07-17
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种用于拉曼光谱仪荧光抑制的多波长外腔激光发射装置，其特征在于通过电源切换电路连接并驱动二个以上的激光二极管独立通断，各激光二极管均通过相应的准直透镜输出准直光束，相邻的准直光束之间预设有夹角δ。这些准直光束最终均通过同一光栅衍射后以不同衍射角形成直接出射的输出光束和沿原路返回相应激光二极管内部参与谐振腔内部模式竞争的衍射光束；所述输出光束最后经光纤耦合透镜汇聚至光纤合路器进行波长输出。本发明采用电路切换波长输出，消除了常规机械调节的不可靠性和可能引入的误差，使得调谐结构更加简单稳固，保证了输出波长的高稳定性，实际操作时波长输出的重复性强，能够大大提高调谐精度。
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公开(公告)号：CN210293456U
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201920761555.6
申请日：2019-05-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于反射式随机衍射片的光谱测量装置，包括反射式随机衍射片，反射式随机衍射片包括基板和镀反射膜的衍射光栅单元；准直聚焦元件，其位于反射式随机衍射片的一侧，入射光经准直聚焦元件变为平行光照射在反射式随机衍射片上，经反射式随机衍射片反射获得零级衍射光和一级衍射光，零级光经准直聚焦元件后会聚，一级衍射光经准直聚焦元件后形成散斑图案；光探测器，其位于准直聚焦元件远离反射式随机衍射片的一侧，光探测器用于接收散斑图案。该装置光谱分辨率高、光能利用率高，结构紧凑，体积小。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208780341U
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201820589258.3
申请日：2018-04-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型涉及光谱检测设备领域，公开了一种衍射元件及高分辨率光谱仪。待测光源通过准直透镜平行入射到所述光谱仪的衍射元件上，所述衍射元件由多个衍射光栅单元构成，所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或刻痕倾斜方向不同，待测光经过所述衍射元件后发生无规则散射，通过图像传感器记录待测光在零级衍射处和一级衍射处的散斑图案，再由光谱分析系统将所述散斑图案与波长-散斑图案标准库进行比对，反推出待测光的光谱数据。本实用新型的光谱仪结构简单、具有高分辨率，并且人为可控、可进行批量生产，同时使用该光谱仪进行光谱检测误差小、操作简单，具有广泛的应用价值。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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