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公开(公告)号：CN109813932A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811379525.5
申请日：2018-11-20
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
Abstract: 本公开涉及具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法。描述微机电系统(MEMS)设备。MEMS设备可包括惯性传感器和能量采集器，其配置为将机械振动能转换成电能。所收集的能量可用于为电子电路供电，例如用于感测来自惯性传感器的加速度的电路。惯性传感器和能量采集器可以设置在同一基板上，并且可以共享相同的检测质量块。能量采集器可包括设置在柔性结构上的压电材料层。当柔性结构响应于振动而弯曲时，压电材料层中产生应力，这导致电的产生。惯性传感器的例子包括加速度计和陀螺仪。
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公开(公告)号：CN111103436B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN201911020121.1
申请日：2019-10-25
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开涉及低噪声多轴加速度计及相关方法。本公开描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括共同形成一个检验质量块的多个检验质量块部分。整个检验质量块可有助于检测平面内加速度和平面外加速度。MEMS加速度计可以以差分方式检测平面内和平面外加速度。响应于平面外加速度，一些MEMS加速度计可以经历蝴蝶模式，其中一个检验质量块部分相对于轴逆时针旋转，而同时另一个检验质量块部分相对于同一轴顺时针旋转。响应于平面内加速度，检验质量块部分可以经历共同的移动模式，其中检验质量块部分沿着相同方向在平面中移动。
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公开(公告)号：CN109477856B
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN201780044705.5
申请日：2017-07-31
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括检查质量块，其被配置为感测平行于检查质量块的平面的方向上的加速度，以及多个补偿结构。检验质量块可以通过弹簧连接到一个或多个锚。补偿结构可以通过与各个锚的刚性地连接耦合到MEMS加速度计的基板。补偿结构可包括形成一个或多个横向补偿电容器的至少一个补偿电极。补偿电容器可以被配置为感测补偿结构连接的锚的位移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109813932B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201811379525.5
申请日：2018-11-20
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
Abstract: 本公开涉及具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法。描述微机电系统(MEMS)设备。MEMS设备可包括惯性传感器和能量采集器，其配置为将机械振动能转换成电能。所收集的能量可用于为电子电路供电，例如用于感测来自惯性传感器的加速度的电路。惯性传感器和能量采集器可以设置在同一基板上，并且可以共享相同的检测质量块。能量采集器可包括设置在柔性结构上的压电材料层。当柔性结构响应于振动而弯曲时，压电材料层中产生应力，这导致电的产生。惯性传感器的例子包括加速度计和陀螺仪。
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公开(公告)号：CN109387668B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201810899768.5
申请日：2018-08-09
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本公开涉及集成线性和角度MEMS加速度计。描述机电系统(MEMS)加速度计。TMEMS加速度计可以被配置成沿一个、两个或三个轴感测线性加速度，并且围绕一个、两个或三个轴感测角度加速度。因此，MEMS加速度计可以用作2轴、3轴、4轴、5轴或6轴惯性加速度计。在一些实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的单个质量块。在其他实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的检验质量块和通过第二多个系链连接到检验质量块的一个或多个穿梭质量块。可以使用电容传感器来感测MEMS加速度计的旋转和线性运动。
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公开(公告)号：CN111103436A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911020121.1
申请日：2019-10-25
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开涉及低噪声多轴加速度计及相关方法。本公开描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括共同形成一个检验质量块的多个检验质量块部分。整个检验质量块可有助于检测平面内加速度和平面外加速度。MEMS加速度计可以以差分方式检测平面内和平面外加速度。响应于平面外加速度，一些MEMS加速度计可以经历蝴蝶模式，其中一个检验质量块部分相对于轴逆时针旋转，而同时另一个检验质量块部分相对于同一轴顺时针旋转。响应于平面内加速度，检验质量块部分可以经历共同的移动模式，其中检验质量块部分沿着相同方向在平面中移动。
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公开(公告)号：CN109477856A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780044705.5
申请日：2017-07-31
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括检查质量块，其被配置为感测平行于检查质量块的平面的方向上的加速度，以及多个补偿结构。检验质量块可以通过弹簧连接到一个或多个锚。补偿结构可以通过与各个锚的刚性地连接耦合到MEMS加速度计的基板。补偿结构可包括形成一个或多个横向补偿电容器的至少一个补偿电极。补偿电容器可以被配置为感测补偿结构连接的锚的位移。
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公开(公告)号：CN101584226B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200880001956.6
申请日：2008-01-17
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: H04R19/00
CPC classification number: H04R19/005 , B81B3/0027 , B81B2201/0257 , H04R7/20 , H04R2307/207
Abstract: 一种麦克风，该麦克风包括：具有静止位置的可移动的膜片、固定部分、和可移动地联接膜片与固定部分的弹簧组。当膜片处于静止位置时，膜片与固定部分间隔第一距离。然而，当膜片不处在静止位置时，膜片与固定部分能够间隔第二距离，第二距离大于第一距离。不管距离如何变化，当膜片返回到静止位置时，膜片仍能够将间隔从第二距离恢复到第一距离。
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