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公开(公告)号：CN1510833A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN200310121464.X
申请日：2003-12-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
CPC classification number: H03H9/059 , H01L2224/14 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/10158 , H03H3/10 , H03H9/02622 , H03H9/0547 , H03H9/0585 , H03H9/1071 , H03H9/25 , Y10T29/42 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 本发明实现一种表面声波装置，能高精度调整频率而且使调整后的中心频率的随时间变化很小，并可以长期稳定动作。把形成于石英基板1上的IDT电极2的厚度h设定为只比目标厚度稍厚一些，使中心频率只比目标值稍低一些(S1)。其次，在IDT电极2上施加电压，开始中心频率的测定(S2)。此时，所测定的中心频率稍低于目标值。因此，一边确认测定频率，一边进行石英基板1的背面1b的蚀刻(S3)。于是，通过该蚀刻所测定的中心频率缓慢上升并接近目标值。进而，继续该蚀刻，直到中心频率变为目标值为止(S3、S4)，在其变为目标值时，停止蚀刻(S5)。
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公开(公告)号：CN112448690A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010875381.3
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN101806812B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201010117435.6
申请日：2010-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
CPC classification number: G01P1/023 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00293 , G01C19/56 , G01P2015/0814
Abstract: 本发明提供一种能够发挥各传感器元件的特性且抑制长期的特性变动的小型的复合传感器及电子设备。所述复合传感器在封装件(30)形成有压力高的空间(90)与压力低的空间(80)，在压力高的空间(90)配置有加速度传感元件(40)，因此，获得低的Q值，在压力低的空间(80)配置有振动型角速度传感器元件(50)、(60)，因此，获得高的Q值，从而能够充分发挥加速度传感元件(40)及振动型角速度传感器元件(50)、(60)的特性。
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公开(公告)号：CN1981434B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200580023044.5
申请日：2005-07-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0042 , H03H9/02551 , H03H9/02842 , H03H9/14588
Abstract: 本发明提供谐振器型SAW滤波器，由在压电体平板上由激励表面声波的输入侧梳状电极、接收表面声波的输出侧梳状电极、用于在输入侧梳状电极和输出侧梳状电极之间控制表面声波的状态的控制用梳状电极和设在所述输入侧梳状电极和输出侧梳状电极的两侧的1对反射器构成。输入侧、输出侧和控制用梳状电极交替配置在2种不同的区间C和区间E中，在将作为电极指宽度尺寸L和电极指之间的尺寸S之和的电极周期长度P设为P＝L+S时，区间C的电极周期长度P为PC且梳状电极的对数MC为1对，区间E的电极周期长度P为PE且梳状电极的对数ME为1对，区间C和区间E的电极指均与给电导体连接。这样，实现较宽带宽、稳定的纵多模态型谐振器型SAW滤波器。
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公开(公告)号：CN1981434A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200580023044.5
申请日：2005-07-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0042 , H03H9/02551 , H03H9/02842 , H03H9/14588
Abstract: 本发明提供一种谐振器型SAW滤波器，在纵多模态型的谐振器型SAW滤波器中，使用1/4波长电极，抵消而减低电极指具有的反射系数，从而加宽了通带宽度。谐振器型SAW滤波器由在压电体平板上由激励表面声波的输入侧梳状电极；接收由输入侧梳状电极激励的表面声波的输出侧梳状电极；用于在输入侧梳状电极和输出侧梳状电极之间控制表面声波的状态的控制用梳状电极；以及设在所述输入侧梳状电极和输出侧梳状电极的两侧的1对反射器构成。并且，输入侧、输出侧以及控制用梳状电极交替配置在2种不同的区间C和区间E中，在将作为电极指宽度尺寸L和电极指之间的尺寸S之和的电极周期长度P设为P＝L+S时，区间C的电极周期长度P为PC且梳状电极的对数MC为1对，区间E的电极周期长度P为PE且梳状电极的对数ME为1对，且区间C和区间E的电极指均与给电导体连接。这样，来自区间C和区间E的各电极指的反射波的总和相互抵消而减少，1根电极指具有的实效反射系数减低，实现低插入损失且比带宽为2000至4000ppm的较宽带宽、稳定的纵多模态型谐振器型SAW滤波器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1707944A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510076936.3
申请日：2005-06-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
IPC: H03H3/10
CPC classification number: H03H9/1071 , H03H3/10 , H03H9/02559 , H03H9/02614 , H03H9/02818 , H03H9/02984 , H03H9/14538
Abstract: 本发明的课题是提供一种使用准纵波型泄漏表面声波的表面声波器件，其中通过有效地抑制寄生频率，改善了CI值和Q值，容易实现高频化。作为解决手段，在使用钽酸锂基板作为压电基板的情况下，使由IDT波长λ对钽酸锂基板的厚度t进行标准化得到的标准化基板厚度t／λ处于1≤t／λ≤22的范围内，基板的切角和所述准纵波型泄漏表面声波的传播方向处于欧拉表示的(90°、90°、0°～180°)的范围内。
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公开(公告)号：CN109217824B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201810694946.0
申请日：2018-06-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏，使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。
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公开(公告)号：CN110323328B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910243170.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN112448690B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202010875381.3
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN110071701A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910052463.5
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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