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    压电致动器及液体喷头
    21.
    发明授权
    压电致动器及液体喷头 失效

    公开(公告)号：CN100421275C

    公开(公告)日：2008-09-24

    申请号：CN03801388.6

    申请日：2003-05-15

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 樋口天光 ,  岩下节也 ,  角浩二 ,  村井正己

    IPC: H01L41/083 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055

    Abstract: 本发明公开了一种压电致动器，具有在将(100)取向的钌酸锶用作下部电极时最合适的层结构。该压电致动器包括：振动板(30)，所述振动板(30)由在(100)-Si衬底(20)上外延生长的具有(100)取向的氧化钇稳定的氧化锆、CeO2或ZrO2构成；具有(001)取向的REBa2Cu3Ox的缓冲层(41)，所述缓冲层(41)形成在所述振动板(30)上；下部电极(42)，所述下部(42)电极形成在所述缓冲层上，且包括(100)取向的钌酸锶；压电层(43)，所述压电层(43)形成在所述下部电极(42)上，且由(100)取向的PZT构成；以及形成在所述压电层上的上部电极(44)。

    制造致动器装置的方法以及液体喷射设备
    22.
    发明授权
    制造致动器装置的方法以及液体喷射设备 失效

    公开(公告)号：CN100418772C

    公开(公告)日：2008-09-17

    申请号：CN200480035810.5

    申请日：2004-12-09

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 伊藤牧 ,  村井正己 ,  李欣山 ,  新保俊尚

    IPC: B41J2/16 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055

    Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。

    致动器装置的制造方法及液体喷射装置
    24.
    发明授权
    致动器装置的制造方法及液体喷射装置 失效

    公开(公告)号：CN1323842C

    公开(公告)日：2007-07-04

    申请号：CN200510053843.9

    申请日：2005-03-11

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 李欣山 ,  村井正己 ,  新保俊尚 ,  伊藤牧

    IPC: B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

    Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。

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