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公开(公告)号：CN1592069A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410068721.2
申请日：2004-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/006 , G02B26/0841 , G02B26/085
Abstract: 一种采用二自由度振动系统型的致动器，包括：第一块部分；第二块部分；支撑部分对；至少一对弹性连接部分，其将第一块部分连接到所述支撑部分，从而使第一块部分能够相对于支撑部分旋转；以及至少一对第二弹性连接部分，其将第二块部分连接到第一块部分，从而使第二块部分能够相对于第一块部分旋转。通过施加交流电压驱动第一块部分，使第二块部分旋转，并且设置交流电压的频率，从而使其实质上与第一块部分和第二块部分谐振的二自由度振荡系统的谐振频率的较低谐振频率一致。这能够提供能够以高速、低电压进行操作并获得大旋转角度的致动器。
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公开(公告)号：CN101950080B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201010223168.0
申请日：2008-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/105 , H02N2/00
Abstract: 本发明提供一种执行机构、光扫描仪以及图像形成装置，在制造之后可简单且准确地调整可动板的共振频率、可发挥期望的振动特性。执行机构(1)包括可动板(21)、可转动地支承可动板(21)的一对轴部件(221、222)、沿着可动板的板面设置的永久磁铁(51)、对永久磁铁作用磁的线圈(52)、用于向线圈施加电流的电流施加单元(53)、用于改变与一对轴部件(221、222)的轴线方向有关的张力的张力调整单元(6)、以及共振频率检测单元，共振频率检测单元设置于轴部件的一方，在改变与一对轴部件的轴方向有关的张力时，检测可动板的共振频率。
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公开(公告)号：CN102749091A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210116661.1
申请日：2012-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/12
CPC classification number: G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , H05K1/118
Abstract: 本发明提供功能元件、传感器元件、电子设备和功能元件的制造方法，可抑制制造效率降低。所述功能元件的特征是具备：具有主面(16)的基板(12)；在上述主面(12)上配置的槽部(第1槽部(24)、第2槽部(26))；和跨越上述基板(12)上的上述槽部进行配置的固定电极部(第1固定电极指(78)、第2固定电极指(80))，在上述槽部的内部中，在俯视时与上述固定电极部重叠的位置上设置有采用上述基板以及上述固定电极部的至少一方形成的凸部(54、56)，上述凸部(54、56)具有接合面(端面(82))，在该接合面侧配置有布线(第1布线(30)、第2布线(36))，并经由上述布线连接上述基板(12)与上述固定电极部。
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公开(公告)号：CN100401131C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200410085991.4
申请日：2004-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
Abstract: 一种采用两个自由度振动系统的驱动装置100，所述驱动装置包括：一对第一质量部分(1、11)；第二质量部分(2)，其设置在所述一对第一质量部分(1、11)之间；一对支撑部分(3、3)，用于支撑所述一对第一质量部分(1、11)和第二质量部分(2)；至少一对第一弹性连接部分(4、4)，其分别将第一质量部分(1、11)连接到支撑部分(3、3)，以便每一第一质量部分(1、11)可相对支撑部分(3、3)转动；以及至少一对第二弹性连接部分(5、5)，其分别将第二质量部分2连接到第一质量部分(1、11)，以便第二质量部分(2)可相对第一质量部分(1、11)转动。每一第一质量部分(1、11)通过施加交变电压被驱动，引起第二质量部分(2)转动。
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公开(公告)号：CN100395581C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200510136973.9
申请日：2005-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
Abstract: 一种致动器，所述致动器包括：框架，具有绝缘性能，并且所述框架内限定矩形空间；一对彼此隔开的可移动梳状电极；可移动部；一对支撑部；至少一对固定梳状电极；至少一对第一弹性连接部；以及至少一对第二弹性连接部。其中该对可移动梳状电极、可移动部以及其中一对第二弹性连接部设置在所述矩形空间内；每个第一电极齿和第二电极齿在其宽度方向上具有上边和下边，当从致动器的转动中心轴线观察时，在没有交流电压施加在他们之间的情况下，每个第一电极齿的上边或下边和每个第二电极齿的相对应的边基本上对齐；而且在将每个第一电极齿的第一宽度定义为A(μm)、将每个第二电极齿的第二宽度定义为B(μm)时，A和B满足下列关系式：1.2≤A/B≤3.0。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100395580C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200610093203.5
申请日：2006-06-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B6/3578 , G02B6/3512 , G02B6/3594 , G02B26/0858 , Y10T74/10
Abstract: 执行机构具有可移动质量部分和一对用于驱动可移动质量部分的驱动机构。一对驱动机构的每一个包括：驱动质量部分；用于支撑驱动质量部分的支撑部分；第一弹性连接部分，第一弹性连接部分将驱动质量部分和支撑部分相互连接从而允许驱动质量部分相对于支撑部分围绕枢转轴被枢转；和第二弹性连接部分，第二弹性连接部分将驱动质量部分和可移动质量部分相互连接从而允许可移动质量部分相对于驱动质量部分围绕枢转轴被枢转。第一弹性连接部分包括一对压电元件，一对压电元件分别被连接到一对弯曲条上从而在相反方向上弯曲一对弯曲条以引起驱动质量部分的枢转运动。驱动质量部分的枢转运动引起第二弹性连接部分的扭转变形从而枢转可移动质量部分。
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公开(公告)号：CN101140356A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710149037.0
申请日：2007-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/10 , G02B26/0858 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种即使在经过长时间连续使用的情况下也能维持稳定的驱动的执行器件、光扫描仪以及图像形成装置。本发明的执行器件(1)包括：质量部(21)；支撑部(22)；连接部(24)，其相对于支撑部(22)可转动地连接质量部(21)；和一对驱动源(4、5)，其具有用于使质量部(21)转动的压电元件(41、51)，一对驱动源(4、5)被设置成隔着转动中心轴(X)相互分离，各驱动源(4、5)被设置成相对于连接部(24)或者支撑部(22)可以滑动，通过使一对压电元件(41、51)以相反相位伸缩，从而在使连接部(24)的至少一部分扭曲变形的同时使质量部(21)转动。
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公开(公告)号：CN1885091A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610093203.5
申请日：2006-06-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B6/3578 , G02B6/3512 , G02B6/3594 , G02B26/0858 , Y10T74/10
Abstract: 执行机构具有可移动质量部分和一对用于驱动可移动质量部分的驱动机构。一对驱动机构的每一个包括：驱动质量部分；用于支撑驱动质量部分的支撑部分；第一弹性连接部分，第一弹性连接部分将驱动质量部分和支撑部分相互连接从而允许驱动质量部分相对于支撑部分围绕枢转轴被枢转；和第二弹性连接部分，第二弹性连接部分将驱动质量部分和可移动质量部分相互连接从而允许可移动质量部分相对于驱动质量部分围绕枢转轴被枢转。第一弹性连接部分包括一对压电元件，一对压电元件分别被连接到一对弯曲条上从而在相反方向上弯曲一对弯曲条以引起驱动质量部分的枢转运动。驱动质量部分的枢转运动引起第二弹性连接部分的扭转变形从而枢转可移动质量部分。
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公开(公告)号：CN1800906A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510136973.9
申请日：2005-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
CPC classification number: H02N1/002 , G02B26/0841
Abstract: 一种致动器，包括框架；一对彼此隔开的可移动梳状电极；设置在这对可移动梳状电极之间的可移动部；一对支撑部；至少一对固定梳状电极，设置在框架上分别相应于这对可移动梳状电极的位置处；至少一对第一弹性连接部，分别将这对可移动梳状电极连接至这对支撑部；至少一对第二弹性连接部，分别将可移动部连接至这对可移动梳状电极，这对可移动梳状电极的每个都由通过在每个固定梳状电极和相应的可移动梳状电极之间施加交流电压产生的库仑力驱动，由此可移动部旋转，这对可移动梳状电极的每个的第一电极齿和相应的至少一对固定梳状电极的每个的第二电极齿配置为使得在固定梳状电极和相应的可移动梳状电极之间没有施加交流电压的情形下可移动梳状电极的每个的第一电极齿的至少一部分与相应的固定梳状电极的第二电极齿的一部分重叠。
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公开(公告)号：CN1624500A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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