公开(公告)号：CN101604719A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200910100826.4

申请日：2009-07-13

Applicant: 浙江大学 ,  杭州兰源光电材料有限公司

Inventor： 叶志镇 ,  张利强 ,  黄靖云 ,  张银珠 ,  朱丽萍 ,  汪雷 ,  蒋杰 ,  薛雅 ,  张俊

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种Mg－Na共掺的ZnO基发光二极管及其制备方法。该Mg－Na共掺的ZnO基发光二极管包括p型层、n型层和电极，其中，所述p型层为Mg－Na共掺的ZnO薄膜，所述n型层为n型ZnO单晶衬底。该发光二极管的制备方法是采用脉冲激光沉积法在n－ZnO单晶衬底上沉积Mg－Na共掺p型ZnO层，其中靶材中Mg的摩尔百分含量是5－20％，Na的含量是0.1－1％，生长气氛为氧气，然后通过控制生长温度、气压、激光频率等参数来生长具有良好p型性能的ZnO薄膜；再用磁控溅射分别在n型ZnO层和p型ZnO层沉积电极。本发明的优点是制备方法简单，制得的Mg－Na共掺的ZnO基发光二极管亮度高。

公开(公告)号：CN107916422B

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201711050198.4

申请日：2017-10-31

Applicant: 浙江大学

Inventor： 何福明 ,  周川 ,  王小祥 ,  徐建刚 ,  蒋杰

IPC: C23F1/26 ,  C22C14/00

Abstract: 本发明公开了一种在钛锆合金表面制备多孔仿生结构的方法。该方法在含锆12％～17％的钛锆合金表面通过金刚砂喷砂、HF/HNO3和HCl/H2SO4双重酸蚀处理，在钛锆合金表面可以形成多孔仿生形貌表面，该表面具有良好的亲水性及生物活性，可作为骨及牙科植入的新型生物材料。

公开(公告)号：CN107916422A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201711050198.4

申请日：2017-10-31

Applicant: 浙江大学

Inventor： 何福明 ,  周川 ,  王小祥 ,  徐建刚 ,  蒋杰

IPC: C23F1/26 ,  C22C14/00

Abstract: 本发明公开了一种在钛锆合金表面制备多孔仿生结构的方法。该方法在含锆12％～17％的钛锆合金表面通过金刚砂喷砂、HF/HNO3和HCl/H2SO4双重酸蚀处理，在钛锆合金表面可以形成多孔仿生形貌表面，该表面具有良好的亲水性及生物活性，可作为骨及牙科植入的新型生物材料。

公开(公告)号：CN102373425A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110342906.8

申请日：2011-11-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 叶志镇 ,  刘慧斌 ,  黄靖云 ,  何海平 ,  张银珠 ,  卢洋藩 ,  蒋杰 ,  李洋 ,  潘新花

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种Na掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，采用脉冲激光沉积法。该方法采用高纯ZnO和高纯NaF陶瓷靶材作为溅射靶材，交替溅射生长ZnO层和Na层，制备p型Na掺杂ZnO薄膜。靶材与衬底的之间的距离为4.5～5.5cm，生长室背地真空度抽至1×10-4～1×10-3Pa，然后加热衬底，使衬底温度为400～700℃，激光频率为3～10Hz，激光能量为250～350mJ。长后的薄膜以3～5℃/min冷却至室温。本发明提出的Na掺杂ZnO薄膜的制备方式简单，所用的设备与现行工艺兼容。

公开(公告)号：CN102226264A

公开(公告)日：2011-10-26

申请号：CN201110163514.5

申请日：2011-06-17

Applicant: 浙江大学

Inventor： 朱丽萍 ,  蒋杰 ,  周惟舜 ,  曹铃 ,  李洋 ,  叶志镇

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/28

Abstract: 本发明公开的S掺杂生长带隙可调的ZnSO合金薄膜的方法，采用的是脉冲激光沉积法。靶材是由纯氧化锌和纯硫化锌粉末混合后液压成型的陶瓷靶,其中硫化锌的摩尔含量为10~40%；然后在脉冲激光沉积装置的生长室中，真空度为1×10-4～1×10-3Pa下，激光频率为3~10Hz,生长温度为300~500℃,在衬底上生长带隙可调的ZnSO合金薄膜。本发明方法可以实现实时掺杂,掺杂浓度通过调节生长温度和靶材中S的摩尔含量来控制。采用本发明方法制备的ZnSO合金薄膜带隙可调，具有良好的光学性能，重复性和稳定性。