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公开(公告)号：CN113253386B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202110543354.0
申请日：2021-05-19
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明提出了一种高效宽带光栅耦合器设计，该设计将光从硅波导中耦合进入顶层介质层，在光栅耦合区域刻蚀顶层介质层波导形成光栅结构，中间多层介质膜及刻蚀区形成的布拉格反射镜共同降低泄露损耗。与此同时，由于光在顶层介质层的光栅图形中出射，使得该设计具有氮化硅光栅的宽带特性。实现了高效宽带的光纤与光芯片耦合，同时实现方法能够与CMOS工艺兼容，无需较小的线宽即可完成制造。
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公开(公告)号：CN111130645B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911336358.0
申请日：2019-12-23
Applicant: 浙江大学
IPC: H04B10/516 , H04B10/54 , H04B10/548 , H04B10/564
Abstract: 本发明公开了一种双平行马赫曾德尔调制器偏置电压自动控制系统及方法，该系统包括：光发射模块；射频驱动模块；接收带偏振的光信号和射频信号以及偏置电压自动控制装置输出偏置电压控制信号并调制的双平行马赫曾德尔调制器；接收调制光信号的偏置电压自动控制装置。本发明利用不同频率的正弦波微扰，实现低两路子强度调制器同时调控和锁定。主调制器直流调相电极偏置点采用搜寻微扰一次谐波极值点锁定在正交点，子强度调制器偏置点采用分析微扰一次谐波与平均光功率比值函数锁定在任意偏置点。通过数值计算偏置电压修正值快速锁定预设偏置点，通过锁定后提取特定信号值与参考值比较，验证锁定效果。通过切换不同直流调相电极偏置电压控制，实现偏置电压自动实时闭环控制。
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公开(公告)号：CN111457912A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010435388.3
申请日：2020-05-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明公开了一种基于传感环调谐的微型谐振式光学陀螺信号检测装置及方法。固定激光器输出光通过分束器后分为逆时针和顺时针两路，逆时针一路通过第一相位调制器、第一环形器后经过交叉耦合进入光波导环形谐振腔调制器，顺时针一路通过第二相位调制器、第二环形器后经过交叉耦合进入光波导环形谐振腔调制器；经环形谐振腔调制器后，通过光电探测器、锁相放大器、低通滤波器对顺时针一路信号进行解调输出和对逆时针一路信号进行解调输出。本发明能够避免高性能可调激光器的使用，降低激光器的设计要求，更利于谐振式光学陀螺的一体化集成；同时可以使折射率波动不再成为传感环的噪声。
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公开(公告)号：CN111130645A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911336358.0
申请日：2019-12-23
Applicant: 浙江大学
IPC: H04B10/516 , H04B10/54 , H04B10/548 , H04B10/564
Abstract: 本发明公开了一种双平行马赫曾德尔调制器偏置电压自动控制系统及方法，该系统包括：光发射模块；射频驱动模块；接收带偏振的光信号和射频信号以及偏置电压自动控制装置输出偏置电压控制信号并调制的双平行马赫曾德尔调制器；接收调制光信号的偏置电压自动控制装置。本发明利用不同频率的正弦波微扰，实现低两路子强度调制器同时调控和锁定。主调制器直流调相电极偏置点采用搜寻微扰一次谐波极值点锁定在正交点，子强度调制器偏置点采用分析微扰一次谐波与平均光功率比值函数锁定在任意偏置点。通过数值计算偏置电压修正值快速锁定预设偏置点，通过锁定后提取特定信号值与参考值比较，验证锁定效果。通过切换不同直流调相电极偏置电压控制，实现偏置电压自动实时闭环控制。
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公开(公告)号：CN115146444B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202210619009.5
申请日：2022-05-30
Abstract: 本发明公开了一种工艺误差的补偿方法及装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。基于预设仿真模型确定待处理器件包层折射率的目标改变量，所述待处理器件为存在工艺误差的器件，根据所述包层折射率的目标改变量确定飞秒激光二次加工所采用的目标参量，根据所述目标参量对所述飞秒激光进行设置，并基于设置后的飞秒激光对所述待处理器件进行二次加工，以对所述工艺误差进行补偿。根据待处理器件的尺寸误差或性能误差确定包层折射率的目标改变量后，基于包层折射率的目标改变量所对应的飞秒激光的目标参量，执行基于飞秒激光对待处理器件进行二次加工，通过改变包层折射率，补偿工艺误差，可有效改善器件的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119596614A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411878590.8
申请日：2024-12-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂平台的带通带阻可切换集成微波光子滤波器，包括：在薄膜铌酸锂芯片上集成制作的马赫曾德尔调制器、用于调节光载波和光边带相位关系的复合结构和用于滤除边带的微环谐振器。本发明结构简单，通过两个微环谐振器和一个相移器就能够实现带阻滤波和带通滤波切换，减少了系统复杂性，具有灵活性和经济性。本发明操作简单，只需调节相移器的电压即可实现滤波功能的切换，可根据实际需求动态调整，能够满足多变的应用场景。
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公开(公告)号：CN119374572A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411521446.9
申请日：2024-10-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/72
Abstract: 本申请涉及一种基于硅基薄膜铌酸锂的光纤陀螺引擎。该引擎包括依次经由薄膜铌酸锂波导进行集成设置的光源、起偏器、耦合器、分束器、调制器和光探测器，该波导包括由上至下依次层叠分布的铌酸锂层、二氧化硅层和硅层，起偏器包括输入弧形波导、半圆波导和输出弧形波导，输入弧形波导和输出弧形波导均呈一定半径的4/1圆弧状，半圆波导呈一定半径的半圆圆弧状，输入弧形波导的圆弧中心、半圆波导的圆弧中心和输出弧形波导的圆弧中心沿起偏器的延伸方向共线地分布，一定半径大于50um。相比于传统的起偏器结构如S型结构，该设计显著降低了光信号传输损耗，提高了波导工艺容差，有助于提升光纤陀螺引擎的整体性能，特别是在高精度应用中。
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公开(公告)号：CN119134014A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411256029.6
申请日：2024-09-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种不等臂马赫‑曾德尔干涉仪和微环级联的多通道输出波长可调激光器，包括：芯片；设置在芯片上的模斑转换器；与模斑转换器连接的复合谐振腔；复合谐振腔包括：与模斑转换器连接的相位调制臂；与相位调制臂连接的第一不等臂马赫曾德尔干涉仪；第二不等臂马赫‑曾德尔干涉仪和第三不等臂马赫‑曾德尔干涉仪；通过波导与第二不等臂马赫‑曾德尔干涉仪和第三不等臂马赫‑曾德尔干涉仪的输出端连接的环形谐振腔。本发明用于提供可选择输出通道数的、输出波长可调谐的激光器，其调谐范围可达30nm，可用于密集波分复用系统，以及作为调频连续波激光雷达光源。
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公开(公告)号：CN118837996A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202411084057.4
申请日：2024-08-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种修正阵列波导光栅中心波长偏移优化波分复用器件的方法，包括：将阵列波导光栅沿光的传输路径依次划分为输入平板波导、阵列波导以及输出平板波导；若偏移方向为实际输出中心波长相对目标输出中心波长红移，则根据波长偏移量刻蚀阵列波导上的包层的深度；若实际输出中心波长相对目标输出中心波长蓝移，则在阵列波导的包层上生长较高折射率包层；完成阵列波导光栅中心波长偏移优化。本发明利用波导有效折射率随包层变化的特性，可以通过调控阵列波导部分包层的方式来调控有效折射率从而达到调控中心波长的目的，能够解决波分复用器件复用与解复用两端中心波长不匹配的问题。
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公开(公告)号：CN117406524A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311470629.8
申请日：2023-11-07
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供了一种基于行波马赫曾德尔调制器的光隔离器及光隔离方法，包括：串联的第一行波马赫曾德尔调制器和第二行波马赫曾德尔调制器；以及设置在所述第一行波马赫曾德尔调制器和第二行波马赫曾德尔调制器的光延迟结构。本发明为一种基于串联TWMZM调制器的光隔离结构，用于实现能够有效提高反向光隔离度，性能稳定，操作简单并对调制器性能要求不高的集成光隔离器。本发明结构简单，仅需在串联TWMZM之间增加一段被动光波导。本发明操作简单，可利用仅一路驱动信号实现光隔离。
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