基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置

    公开(公告)号:CN118848679A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411075203.7

    申请日:2024-08-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置。包括:真空腔;转动机构,设置在真空腔的底部,可控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动;Ar离子束发射单元,用于抛光被抛光物体;检测组件,包括粗糙度检测单元、损伤检测单元和振动检测单元,用于检测被抛光物体的粗糙度,检测被抛光物体的表面损伤,检测被抛光物体的振动性;数字孪生平台,用于获取检测组件检测到的粗糙度、表面损伤和振动性,并根据粗糙度、表面损伤和振动性对抛光过程进行分析模拟,以生成调控指令,调控指令用于调控Ar离子束发射单元的Ar离子束能量、Ar离子束的角度和转动机构的转速。

    一种高压输电线路模块可重构移动作业机器人重构方法

    公开(公告)号:CN102593752B

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201210058630.5

    申请日:2012-03-08

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及一种高压输电线路模块可重构移动作业机器人重构方法,本发明以移动机器人本体模块为作业平台,通过将机械臂模块以及除冰作业模块、导线修补作业模块、防振锤安装拆卸作业模块以适当的方式重构,分别成为具有除冰功能、导线修补功能以及防振锤安装拆卸功能的移动作业机器人。因此,本发明具有如下优点:通过对输电线路作业机器人进行模块的划分与重构,可以装配出适应于不作业任务的移动作业机器人,提高了机器人的柔性、适应能力与工作范围,降低作业成本。

    一种高压输电线路模块可重构移动作业机器人重构方法

    公开(公告)号:CN102593752A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210058630.5

    申请日:2012-03-08

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及一种高压输电线路模块可重构移动作业机器人重构方法,本发明以移动机器人本体模块为作业平台,通过将机械臂模块以及除冰作业模块、导线修补作业模块、防振锤安装拆卸作业模块以适当的方式重构,分别成为具有除冰功能、导线修补功能以及防振锤安装拆卸功能的移动作业机器人。因此,本发明具有如下优点:通过对输电线路作业机器人进行模块的划分与重构,可以装配出适应于不作业任务的移动作业机器人,提高了机器人的柔性、适应能力与工作范围,降低作业成本。

    一种基于聚脲增强抗冲击性的纳米压印模具及其制造方法

    公开(公告)号:CN119259395A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411352051.0

    申请日:2024-09-26

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供一种基于聚脲增强抗冲击性的纳米压印模具的制造方法,通过分子层沉积方式在纳米压印模具结构层沉积聚脲薄膜,使聚脲薄膜均匀共型包覆在纳米压印模具的结构层表面,以此通过聚脲薄膜抵抗纳米压印过程中产生冲击,降低压印模具所受到的冲击力,防止压印过程中模具产生裂纹或断裂等缺陷,增强纳米压印模具抗冲击性,延长纳米压印模具的使用寿命、降低成本。本发明制得的基于聚脲增强抗冲击性的纳米压印模具,结构层包覆的聚脲厚度均匀,相比于Si、SiO2或Ni等模具材料具有更强的疏水性,有助于减少模具脱模时与压印胶的粘连,能够确保压印得到的结构或器件的质量和精度。

    基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置

    公开(公告)号:CN118848789A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411075204.1

    申请日:2024-08-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置。包括:抛光腔,其内设置有置物台;转动机构,设置在置物台上,用于控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动;抛光机构,包括磨石,磨石用于抛光被抛光物体,抛光机构上设置有进液口,进液口用于输送抛光液至磨石与被抛光物体的接触面处;监测组件,包括振动检测单元和粗糙度检测单元,振动检测单元用于检测被抛光物体的振动性,粗糙度检测单元用于检测被抛光物体的粗糙度;数字孪生平台,用于获取监测组件检测到的振动性和粗糙度,并基于振动性和粗糙度对抛光过程进行模拟,基于模拟结果生成控制指令,以调控进液口处抛光液的流速、转动机构的转速及磨石的位置。

    基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置

    公开(公告)号:CN118848254A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411075200.3

    申请日:2024-08-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置。该装置包括:置物台;转动机构,设置在置物台上,用于固定并控制被抛光物体进行转动;飞秒激光发射单元,用于抛光所述被抛光物体;监测组件,包括粗糙度检测单元、振动性检测单元、损伤检测单元和温度检测单元,用于获取被抛光物体表面的粗糙度、振动性、表面损伤、温度;数字孪生平台,用于获取监测组件获取到的粗糙度、振动性、表面损伤和温度,并进行模拟分析,以生成控制指令,所述控制指令用于调控所述飞秒激光发射单元的激光能量、激光频率、激光的光斑大小、激光位置和转动机构的转速。

    一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统

    公开(公告)号:CN118668293A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410712478.0

    申请日:2024-06-04

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统,属于半导体薄膜测量技术领域,所述生长系统包括,真空反应腔室,设置有安装口且底端部分或全部由透光材料构成,用于提供反应环境,安装口用于安装炉源;样品台,设置于真空反应腔室内;第一驱动组件,设置于真空反应腔室外且通过连杆与样品台连接,用于驱动样品台和调节样品台的位置;宽光谱监测装置,设置于真空反应腔室的底部,包括第二驱动组件和监测组件;第二驱动组件带动的监测组件与第一驱动组件驱动的样品台上的样品保持同步运动,获取薄膜生长的信息。本发明可实现半导体薄膜厚度非接触式、原位在线监测,在不影响薄膜生长的情况下得到精确的薄膜厚度数据。

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