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公开(公告)号:CN112505808A
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN202011448569.6
申请日:2020-12-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种长波红外宽带消色差超表面透镜,属于红外成像领域和微纳光子学领域,该超表面透镜中的超表面透镜单元按照四方晶格的形式周期性排列;超表面透镜单元由电介质衬底和位于电介质衬底中心的微结构组成,且微结构在电介质衬底上的投影图案是关于90°角旋转对称的图形;不同位置的微结构所引入的相位和相位色散满足和各位置处的微结构选取方式为:根据上述两个公式得到理论参数组合,通过带加权的一阶线性拟合得到各微结构所在单元的相位及对应的相位色散,记为实际参数组合,将各参数组合绘制在同一散点图中,选取与理论参数组合最接近的实际参数组合对应的微结构。本发明能够在长波红外波段内实现宽带消色差。
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公开(公告)号:CN110299430A
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201910490246.4
申请日:2019-06-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明属于半导体光电子器件领域,公开了一种半导体薄膜光电探测器及其制备方法,其中制备方法包括以下步骤:(1)配制用于生长硫属化合物光敏半导体薄膜的前体溶液,将洁净的衬底浸入前体溶液中进行一次化学浴沉积,对应得到20-500nm厚的薄膜,利用仅一次化学浴沉积或重复多次化学浴沉积生长得到厚度达到目标要求的硫属化合物光敏半导体薄膜;(2)将衬底进行整体退火敏化处理;制作电极即可得到半导体薄膜光电探测器。本发明通过对制备方法整体流程工艺设计、以及关键化学浴沉积的参数条件等进行改进,能够解决现有半导体薄膜光电探测器制备条件复杂、大规模生产成本高昂、工艺可靠性低和难以实现柔性化的问题。
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公开(公告)号:CN108007810A
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201711103503.1
申请日:2017-11-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开了一种基于石英晶体微天平(QCM)的化学传感器及其制备方法,包括:石英晶体振荡片和涂覆在所述石英晶体振荡片上的敏感层,所述敏感层的材料为量子点或量子线。将胶体量子点或量子线涂覆在石英晶振表面均匀成膜,再利用适当的盐溶液进行配体处理,以去除量子点或量子线表面的长链配体。利用胶体量子点或量子线作为敏感层的QCM化学传感器与现有QCM化学传感器相比,敏感层能够在室温成膜并且结晶性好,工艺简便,能够在器件中保持纳米材料的高比表面积和活性,响应及恢复时间较快,并且响应高。
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公开(公告)号:CN119882227A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202510170561.4
申请日:2025-02-17
Abstract: 本发明属于光学仪器相关技术领域,其公开了一种校正多孔径系统场非对称色差的超透镜相位设计方法及基于超透镜的多孔径系统,超透镜相位设计方法包括:根据关系式#imgabs0#和#imgabs1##imgabs2#计算超透镜衍射相位展开表达式中的展开系数#imgabs3#和#imgabs4#得到超透镜的衍射相位;式中,λ为波长,W020、W111、#imgabs5#和#imgabs6#为未安装超透镜的原始多孔径系统的参数,#imgabs7##imgabs8#和#imgabs9#为超透镜的参数;对超透镜的衍射相位进行色散相位补偿,得到超透镜的最终相位。该方法基于超透镜实现多孔径系统场非对称色差的校正,使用超透镜,其装配简单、系统结构简单紧凑且超透镜的加工精度高,且通过对超透镜的相位进行设计,能够实现多孔径系统中场非对称色差的有效校正。
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公开(公告)号:CN119757264A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202411838515.9
申请日:2024-12-13
IPC: G01N21/3504 , G16C20/20 , G16C20/70 , G06F18/241 , G06N3/084 , G06N3/0985
Abstract: 本发明公开了一种NDIR混合气体检测方法及装置,属于气体检测技术领域;考虑到不同气体的吸收峰值波长均不相同,且气体的浓度会直接影响对应的吸收强度,本发明直接获取携带有不同波长下的光谱值信息的混合气体红外光谱,并通过训练了一种NDIR混合气体检测模型,来构建待检测混合气体的红外光谱与待检测混合气体中各组分气体的分类结果及浓度值的映射关系,从而实现NDIR混合气体的检测;本发明无需采用多路滤光片将混合气体分离为不同峰值吸收波长的气体,灵敏度较高,能够准确区分峰值吸收波长较为接近的不同组分的气体,能够准确地实现多组分气体检测。
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公开(公告)号:CN111381339B
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202010040988.X
申请日:2020-01-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于超表面透镜与传统透镜组安装的减震镜头,包括超表面透镜固定环、镜筒主体和镜筒外壁,超表面透镜固定环用于固定超表面透镜并进行第一级减震,镜筒主体提供传统透镜组安装空间并进行第二级减震,镜筒外壁用于限定超表面透镜固定环位置,保证构成镜筒主体的两个镜筒内壁接合的稳定性。本发明提供的减震镜头使用超表面透镜固定环及缓冲部对超表面透镜进行二级减震,避免了单一减震方式减震能力不足、难以同时保护超表面透镜衬底与微观结构的问题。并实现了对超表面透镜和传统透镜组的联合安装。
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公开(公告)号:CN117741839A
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202311456490.1
申请日:2023-11-03
Abstract: 本发明属于超透镜仿真设计领域,涉及一种多台阶结构与纳米结构混合集成的超透镜及其设计方法、加工方法。所述混合集成超透镜包括:多台阶结构和纳米结构;其中多台阶结构包括:多个对入射光线的相位进行改变的相位设计阶梯,多个相位设计阶梯中相邻的相位设计阶梯之间的高度不同;相位设计阶梯的高度与混合集成超透镜实现的功能相关;纳米结构设置在与多台阶结构同一基底的另一面上。本发明中混合集成超透镜的多台阶结构和纳米结构设置在同一基底的两个不同的面上,两个面的加工工艺可以分开进行互不影响。本发明设置在平面上的纳米结构刻蚀深度更均匀,精度更高,同时有更高的排布自由度,相位调控能力更强。
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公开(公告)号:CN117629926A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311518224.7
申请日:2023-11-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种适用于多组分气体传感的高灵敏光子鼻系统,包括红外光源、窄带红外探测器阵列和信号处理与运算模块,根据不同气体的红外吸收谱特征,采用集成超材料红外吸收体的高灵敏光子型探测器芯片形成窄带红外探测器阵列,利用光子鼻系统响应生成探测目标气体的特征吸收谱;结合信号处理与算法技术,构建气体种类与浓度分析数学模型,实现对多组分气体的智能识别与浓度预测。本发明提供的高灵敏光子鼻系统可搭载运算、成像、存储、无线通信和数字显示模块,形成感存算显传一体化的智能气体传感器,并可适配多种红外光源,结合光路设计满足不同场景的气体传感需求。
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公开(公告)号:CN111115565B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN201911354191.0
申请日:2019-12-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01J5/20 , G01N21/3504
Abstract: 本发明属于红外光源领域,具体公开了一种MEMS红外光源的制备方法及其应用,制备方法包括:在单晶硅片的一面上制备能透红外光的支撑层;在单晶硅片的另一面上采用MEMS工艺刻蚀并将该单晶硅片的中间区域刻穿,形成掏空结构;在支撑层上进行图案溅射,得到红外热辐射体,并在红外热辐射体表面沉积能透红外光且绝热的隔离层,以及在隔离层上沉积反射层,得到背发射式结构的硅基MEMS红外光源。本发明在单晶硅片的一面设置支撑层后,在另一面进行MEMS工艺刻蚀,形成边缘为硅基且中间区域刻穿的掏空结构,同时在支撑层依次设置红外热辐射体、隔离层和反射层。本发明制备得到背发射式的红外光源,红外发射效率高,在应用是能够有效降低集成难度、集成成本。
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公开(公告)号:CN113155286B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202110386548.4
申请日:2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统,适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理,将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成,缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构,减少温度变化导致的热变形对干涉的影响,并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪,取消了定镜的使用,对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉,放大光束之间的光程差,从而提高光谱分辨率,降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。
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