半导体器件及其制造方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106104810A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201580013007.X

    申请日:2015-03-10

    Abstract: 半导体器件具备薄膜晶体管(100),薄膜晶体管(100)包括衬底(1)、设置在衬底(1)上的栅极电极(3)、形成在栅极电极(3)上的栅极绝缘层(5)、形成在栅极绝缘层(5)上的岛状的氧化物半导体层(7)、以覆盖氧化物半导体层(7)的上表面(7u)和整个侧面(7e)的方式设置并且具有仅使氧化物半导体层(7)的上表面(7u)的一部分露出的单个开口部(9p)的保护层(9)、在单个开口部(9p)内与氧化物半导体层(7)分别接触的源极电极(11)和漏极电极(13)。

    晶体管阵列和有源矩阵基板

    公开(公告)号:CN100446236C

    公开(公告)日:2008-12-24

    申请号:CN200610006650.2

    申请日:2003-03-25

    CPC classification number: H01L27/28 G02F1/1368 H01L27/3244

    Abstract: 一种晶体管阵列,包括:导体线、功能线和晶体管。每个导体线包括芯线和包覆在芯线上的导体层。每条功能线包括至少表面导电的芯线、包覆芯线的绝缘层和包覆绝缘层的半导体层。每条功能线和导体线交叉接触。每个晶体管包括第一欧姆接触区,第一欧姆接触区被定义为导体线之一和功能线之一交叉的区域,它和半导体层欧姆接触。每个晶体管还包括与半导体层欧姆接触的第二欧姆接触区,以及定义第一和第二欧姆接触区之间的半导体层上的沟道区。

    有源矩阵基板的制造方法
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108780621B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201780018517.5

    申请日:2017-03-24

    Abstract: 本发明提供一种有源矩阵基板、其制造方法和显示装置,在显示面板的制造工序中能够抑制静电放电的发生,并且能够抑制制造成本。在IGZO膜被构成栅极绝缘膜的氧化硅膜和蚀刻阻挡层夹着的状态下,在用于保护TFT的钝化膜形成之后,在200~350℃下进行退火,并且是IGZO膜从导体变化为半导体。其结果是,不仅能够抑制ESD的发生,而且能够不需要从显示面板分离静电放电防止电路,所以能够降低显示装置的制造成本。

    具备氧化物半导体TFT的半导体装置

    公开(公告)号:CN110121785A

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201780080983.6

    申请日:2017-12-15

    Abstract: 半导体装置具备基板(21)和支撑于基板的氧化物半导体TFT(20),氧化物半导体TFT(20)包括:含有In、Ga以及Zn的氧化物半导体层(27)、栅极电极(23)、形成于栅极电极(23)与氧化物半导体层(27)之间的栅极绝缘层(25)、以及与氧化物半导体层(27)接触的源极电极(28)及漏极电极(29),氧化物半导体层(27)具有包括第1层(31)、第2层(32)以及配置于第1层与第2层之间的中间过渡层(33)的层叠结构,第1层(31)比第2层(32)靠栅极绝缘层侧配置,第1层(31)和第2层(32)具有不同的组成,中间过渡层(33)具有从第1层侧向第2层侧连续地变化的组成。

    有机EL显示装置和有源矩阵基板

    公开(公告)号:CN109698218A

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201811224781.7

    申请日:2018-10-19

    Abstract: 提供能使要求特性不同的多个氧化物半导体TFT适当地混合存在于有机EL显示装置和有源矩阵基板的构成。有机EL显示装置具备基板和设置于各像素的像素电路。像素电路包括包含第1氧化物半导体层的第1氧化物半导体TFT和包含第2氧化物半导体层的第2氧化物半导体TFT。第1氧化物半导体TFT具有顶栅结构。第2氧化物半导体TFT具有底栅结构。第2氧化物半导体TFT具有屏蔽电极,上述屏蔽电极设置于在第2氧化物半导体层上形成的绝缘层上,与第2氧化物半导体层相对。

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