一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    霍尔推力器通道壁面侵蚀产物的光学监测方法

    公开(公告)号:CN118090517B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410471348.2

    申请日:2024-04-19

    Abstract: 霍尔推力器通道壁面侵蚀产物的光学监测方法,涉及等离子体光谱测试技术领域。解决了如何在传统发射光谱法的基础上发展新的监测方法,实现光谱仪的长时间有效工作的问题。方法包括:根据发射光谱法采集工质原子谱线信号;采集图像形式的痕量侵蚀产物信号;利用碰撞辐射模式和先进介标测定法处理侵蚀产物光谱信号,获得不同位置的侵蚀产物密度信息,计算不同位置的侵蚀产物密度;根据不同位置的侵蚀产物密度,计算不同位置处的侵蚀速率;根据不同位置处的侵蚀速率对霍尔推力器寿命进行评估,获得监测结果。应用于光学监测领域。

    空间高价值平台推进器侵蚀状态在轨监测方法

    公开(公告)号:CN118275329A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410489165.3

    申请日:2024-04-23

    Abstract: 本发明属于等离子体光谱测试技术领域,提供一种空间高价值平台推进器侵蚀状态在轨监测方法。搭建在轨监测平台;使用搭建的平台上运行的ICCD相机对侵蚀产物和污染物的信号进行监测;使用ICCD相机对在轨监测平台的关键部件,得到推力器侵蚀产物以及碳原子污染物在关键部件处的含量信息;根据地面构建的光谱信息‑原子数密度数据库,将采集到的光谱信号转换为侵蚀产物以及污染物的密度,实现空间平台推力器和在轨空间平台健康信息的判断。用以解决当霍尔推力器在空间平台上进行使用时,由于轨空间环境和地面实验室环境的不一致的原因,会出现地面试验无法观测到的特殊现象,导致推力器寿命骤降。

    一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法

    公开(公告)号:CN117423600A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743393.0

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法,涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域,装置包括:包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机;所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置,所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域;两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧,第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置,所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置,第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置;该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度,具有原位、同时性、无侵扰的特点。

    一种针对固支边界条件的分步模型修正方法

    公开(公告)号:CN110956001A

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201911235514.4

    申请日:2019-12-05

    Abstract: 一种针对固支边界条件的分步模型修正方法,涉及模型修正技术领域。本发明是为了解决目前基于模态的参数型模型修正方法在修正过程中会遇到欠定问题,进而导致修正结果差的问题。本发明添加了对自由边界条件下试验件的模型修正,增加了可用于模型修正的试验响应数量。由于自由边界条件对于试验件没有附加的影响,引入自由边界这一步并不会引入新的待修正参数。因此,在自由边界条件下进行模型修正之后,在固支边界条件下的待修正参数就减少了,从而使欠定问题变成适定或者超定问题,令模型修正的结果更加精确。

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