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公开(公告)号：CN1815705A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块上开有加热棒和温度传感器安装圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1779936A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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公开(公告)号：CN119589446A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411789561.4
申请日：2024-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P23/06
Abstract: 一种具有阶梯状末端的微针制备系统，属于微纳制造技术领域。本发明针对现有具有阶梯状末端微针制备方法效率低的问题。包括：通过金属丝预处理单元得到准直后金属丝；通过金属丝夹持单元实现准直后金属丝沿其轴向的进给，使其装配至金属管内，形成具有阶梯状末端的初始微针结构；通过金属管夹持单元调整金属管位姿与准直后金属丝相对应，使准直后金属丝沿其轴向进给后插入到金属管内；通过视觉反馈单元获取准直后金属丝与金属管的相对姿态信息，反馈至金属丝夹持单元；通过末端处理单元对初始微针结构阶梯状末端的金属丝段进行电化学刻蚀，实现微针针尖的成型，完成微针的制备。本发明用于制备具有阶梯状末端的微针。
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公开(公告)号：CN116728392A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310958856.9
申请日：2023-08-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/14
Abstract: 一种基于液态金属的可变刚度柔性软连续体机器人，属于软体机器人技术领域。本发明针对现有软连续体机器人控制精度差、难以小型化，在经自然腔道进入人体的过程中，容易造成血管破裂、组织损伤的问题。包括两根相同并且并行排布的硅胶管或者两根同轴套接的硅胶管；其中一根硅胶管作为主动硅胶管，另一根硅胶管作为随动硅胶管；两根硅胶管内均填充液态金属，并设置加热丝；主动硅胶管内部液态金属填充腔的前端头部设置永磁体；通过控制加热丝为液态金属加热，并配合外磁场与永磁体的作用，使主动硅胶管向前运动，并使随动硅胶管跟随主动硅胶管的运动。本发明可实现机器人形状的主动管控。
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公开(公告)号：CN110907663B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201911313094.7
申请日：2019-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于T状悬臂梁探针的开尔文探针力显微镜测量方法，属于原子力显微镜测量技术领域。本发明针对现有AM‑KPFM测量中存在严重的悬臂均化效应，影响表面电势测量结果准确性的问题。包括对T状悬臂梁探针进行一阶弯曲共振频率下的机械激励，使其在预设法向振幅下振动；接近待测样品，使T状悬臂梁探针的法向振幅衰减到法向振幅设定值；在T状悬臂梁探针与待测样品之间施加频率为T状悬臂梁探针一阶扭转共振频率的交流电压和直流补偿电压；获得直流补偿电压与T状悬臂梁探针扭转振幅的关系曲线；进而确定扭转振幅设定值；基于此，按照设置的扫描步距和扫描测试点数对待测样品进行测量。本发明用于实现样品表面形貌和局部表面电势的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106645808B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201710093420.2
申请日：2017-02-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01Q60/30
Abstract: 一种多参数同步测量的开尔文探针力显微镜，涉及开尔文探针力显微镜，目的是为了解决传统的开尔文探针力显微镜无法实现样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的同步表征的问题。本发明的直流电源用于产生直流信号，并将该直流信号加载到导电探针与样品之间，信号发生器产生三路相同的信号，频率与导电探针二阶共振频率相同，第一路与任意波发生器产生的信号通加法器叠加后用于控制三号压电控制器，使三号压电控制器驱动探针手上的压电陶瓷；第二路作为参考信号发送至锁相放大器；第三路通过移相器移相90度后加载到导电探针与样品之间；锁相放大器输出的信号发送至上位机。本发明适用于样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量。
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公开(公告)号：CN104502634B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201410783238.6
申请日：2014-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。
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公开(公告)号：CN104049111A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410309191.X
申请日：2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双探针原子力显微镜的纳米卡尺及采用该纳米卡尺测量微纳米结构关键尺寸的方法，涉及AFM的纳米卡尺测量技术。它为了解决传统AFM很难实现两个相邻或相对的待测侧壁相关关键尺寸测量的问题。本发明基于双探针AFM原理，设计了两个可旋转探针架，使两探针能够与底面在-90°-90°范围内成任意角度，当两探针旋转角度相同且方向相反时，即构成纳米卡尺，能够实现对两个相邻或相对侧壁表面的扫描，根据扫描数据即可得到微纳米结构的关键尺寸。本发明实现了在不破坏样品的前提下对两侧壁表面相邻和相对区域扫描成像，根据扫描数据得到样品的关键尺寸。本发明适用于对微纳器件关键尺寸的测量，可应用于微纳制造、测试、及微纳操作领域。
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公开(公告)号：CN103412150A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310389447.8
申请日：2013-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 双探针原子力显微镜及采用该显微镜实现纳米结构操作的方法，涉及纳米操作和组装的光机电一体化技术，尤其涉及实现纳米结构或纳米器件三维操作和组装的光机电一体化技术。它为了解决传统的原子力显微镜不能实现纳米结构的三维摄取和释放的问题。本发明通过上位机和双路探针控制器对两个纳米定位台和三个微米定位台移动，进而带动两个探针手臂和样品台移动。本发明能够实现纳米结构的夹持、三维摄取和释放操作，双路探针控制器能够实现两个探针手臂在Z方向位置的精确控制，确保了夹持、摄取和释放过程的稳定性。本发明适用于纳米制造、测试、特性表征以及生物领域。
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公开(公告)号：CN100342517C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮Ⅰ(7)、同步电机和同步轮Ⅱ(8)、同步带结构Ⅰ(9)、摇臂Ⅰ(10)，轴Ⅰ(12)、摇臂Ⅱ(13)、同步带结构Ⅱ(14)、轴Ⅱ(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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