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公开(公告)号：CN103869833A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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公开(公告)号：CN103389947A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310339761.5
申请日：2013-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法，属于光刻机工作台控制系统的内存管理技术领域。本发明为了解决现有基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理方法由于会产生大量的碎片，而影响系统正常运行的问题。它包括：用于初始化光刻机双工件台控制系统内存的初始化装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行分配的内存分配装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行管理的内存释放装置。本发明用于管理光刻机双工件台控制系统的内存。
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公开(公告)号：CN103309355A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310187795.7
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/00
Abstract: 多轴支撑气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它首先设定质心偏移量阈值，然后将质心偏移量G(x0，y0)与质心偏移量阈值进行比较，当质心偏移量G(x0，y0)小于质心偏移量阈值时，对支撑腿的伸缩长度进行补偿；当质心偏移量G(x0，y0)大于质心偏移量阈值时，通过控制气足的喷嘴喷气使承载平台在水平混凝土基座上平动，跟随承载平台上负载的运动以调整相对位移量(x2，y2)，直到将质心偏移量G(x0，y0)调至质心偏移量阈值范围之内。本发明用于气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103277644A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310187887.5
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/32
Abstract: 多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。
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公开(公告)号：CN103268381A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN103292130B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310187793.8
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多轴支撑气浮平台的调平方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它通过上位机将当前的工作模式、控制命令和误差参数通过以太网发送给控制器；控制器每200μs发出伺服周期开始信号，启动平动状态工作模式或静止状态工作模式；控制器对其读取的所有反馈信号进行数据融合处理，获得支撑腿的调节量，然后控制器通过驱动伺服音圈电机驱动器对伺服音圈电机的驱动信号进行修正，然后再判断承载平台是否静止及水平度是否达到设定精度范围之内，若是，当前伺服周期调平结束，等待下一个伺服周期，直至结束。本发明用于气浮平台的调平。
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公开(公告)号：CN103292130A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310187793.8
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多轴支撑气浮平台的调平方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它通过上位机将当前的工作模式、控制命令和误差参数通过以太网发送给控制器；控制器每200μs发出伺服周期开始信号，启动平动状态工作模式或静止状态工作模式；控制器对其读取的所有反馈信号进行数据融合处理，获得支撑腿的调节量，然后控制器通过驱动伺服音圈电机驱动器对伺服音圈电机的驱动信号进行修正，然后再判断承载平台是否静止及水平度是否达到设定精度范围之内，若是，当前伺服周期调平结束，等待下一个伺服周期，直至结束。本发明用于气浮平台的调平。
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