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公开(公告)号：CN119382377A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411492597.6
申请日：2024-10-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于扁平线圈的平面电机动子，具体属于集成电路制造的平面电机技术领域；通过提高线圈槽满率的方式可以提升出力性能的同时，而由于线圈的散热主要通过传导散热，而采用扁平线，也保证线圈的散热能力；并且扁平线圈降低了线圈的电感，对提升设备的响应性能有着重要意义。本发明包括动子框架壳体和扁平线圈模块，还包括磁铁和水冷组件；动子框架壳体内侧开设有水冷管放置槽与线圈组放置槽，水冷管放置槽与线圈组放置槽交错设置有两组，水冷管放置槽内设置有水冷组件，线圈组放置槽内设置有扁平线圈模块，动子框架壳体固定设置在磁铁顶面；扁平线圈模块设置有四组，每组扁平线圈模块由三个扁平线圈构成。
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公开(公告)号：CN117154983B
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202311022256.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K3/00 , H02K3/04 , H02K3/28 , H02K3/24 , H02K9/00 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K5/24 , H02K1/06 , H02K1/22 , H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种平面电机动子结构，该动子结构整体呈正棱柱状，包括上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板，多个三相线圈组沿上盖板几何中心旋转对称分布，相邻两个三相线圈组之间形成线圈组间隙，上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板由上至下依次同轴叠加固定设置。本发明可解决平面电机线圈局部温度过高的问题，提升散热效率，延长平面电机的使用寿命。
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公开(公告)号：CN118611474A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410697557.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00 , H02K9/19 , H02K11/215 , H02K11/22 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67
Abstract: 一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，它涉及一种磁悬浮运动台，本发明为解决传统的磁悬浮运动台结构复杂、负载大且成本高的问题，它包括宏动台单元和微动台单元，所述宏动台框架的中部设有矩形槽，矩形槽的四周分别设有四个安装槽，每个安装槽内设有一个水冷中空板，每个水冷中空板的下表面连接有一个绕组线圈，所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架连接，用于承载晶圆；所述微动台单元位于所述矩形槽内。本发明提出一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，可以减轻宏动台的负载，减少设计复杂度，降低系统复杂度，缩小系统体积，节约成本，对超精密加工领域，尤其是光刻机领域有着重要意义。本发明属于磁悬浮技术领域。
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公开(公告)号：CN117154983A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311022256.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K3/00 , H02K3/04 , H02K3/28 , H02K3/24 , H02K9/00 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K5/24 , H02K1/06 , H02K1/22 , H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种平面电机动子结构，该动子结构整体呈正棱柱状，包括上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板，多个三相线圈组沿上盖板几何中心旋转对称分布，相邻两个三相线圈组之间形成线圈组间隙，上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板由上至下依次同轴叠加固定设置。本发明可解决平面电机线圈局部温度过高的问题，提升散热效率，延长平面电机的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116930554A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310841556.2
申请日：2023-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法，系统包括激光测振仪、振动实验台、激励信号源、电机驱动器、数据采集卡以及上位机。振动实验台的致动器由音圈电机和压电陶瓷组成。致动器由激励信号源控制，受电机驱动器驱动出力推动负载平台振动。负载平台两端与气浮导轨相连，气浮导轨受气源供气，使负载平台能保持在竖直方向上无摩擦的单自由度振动。将速度传感器与负载平台连接，其输出接数据采集卡上并传回上位机。激光测振仪对负载平台进行测量，并作为标定基准与速度传感器测量结果进行比对。该系统将经过标定满足使用要求的传感器用于主动隔振器反馈环节，可极大增强隔振器的隔振效果，使隔振器能有效隔离外界微振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116305980B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310300873.3
申请日：2023-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/20 , G06F111/04
Abstract: 本发明提出一种大型岩石平台固有频率的结构优化方法。本发明所述方法从结构及约束角度来优化大型岩石平台的固有频率，能够有效地提高大型岩石平台的固有频率。本发明所述方法比较系统全面地阐述了固定约束和弹性约束下如何分析相应阶次的固有频率，考虑了各种影响因素并对其进行分析，提供了较为完整的优化思路。
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公开(公告)号：CN116247973A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310327087.2
申请日：2023-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种动态力静态力可分离的大悬浮力磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括定子部分、调节部分以及动子部分，三部分均为回转体结构。所述定子部分包括定子端盖、定子外壳、三号定子永磁体以及线圈，所述三号定子永磁体和所述线圈固定于所述定子外壳外部；所述调节部分包括锁紧螺母、可调定子外壳以及二号定子永磁体，所述二号定子永磁体固定于所述可调定子外壳外部；所述动子部分与定子部分同轴设置，包括四号动子永磁体、一号动子永磁体以及动子外壳，所述一号动子永磁体和所述四号动子永磁体固定于所述动子外壳内部。该磁浮重力补偿器具有出力可调节、出力稳定、动态力静态力可分离、隔振效果好、空间利用率高、以及大悬浮力等优点。
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公开(公告)号：CN116244839A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202211562033.6
申请日：2022-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F30/23 , G06F119/14
Abstract: 一种获取磁悬浮底板吊装最优方案的方法，它涉及一种获取磁悬浮底板吊装最优方案的方法。本发明为了解决磁悬浮平台的底板吊装过程中，由于底板自身重力的影响，导致底板发生变形的问题。本发明的步骤为：步骤一、建立磁悬浮底板模型；步骤二、对磁悬浮底板进行静力学分析；步骤三、参数化扫描寻找最佳吊耳位置并添加加强筋位置；步骤四、重新进行静力学分析，与初始结果进行比对；步骤五、参数化扫面、区域分割分析各个区域变形；步骤六、确认优化结果。本发明属于磁悬浮宏微动台技术领域。
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公开(公告)号：CN115342158B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202210916240.0
申请日：2022-08-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及磁吸设备技术领域，具体涉及一种出力可调节的磁浮重力补偿器及工作方法；出力可调节的磁浮重力补偿器，包括：调节装置，所述调节装置包括可调支架和第一磁钢、以及锁紧螺母，所述第一磁钢设于所述可调支架的外壁上；定子组件，所述定子组件包括定子外壳和线圈、以及补偿磁钢，所述定子外壳与所述可调支架连接，所述线圈和补偿磁钢设于所述定子外壳的外壁上，且所述补偿磁钢位于所述线圈的底部；动子组件，与所述调节装置和定子组件同轴设置，所述动子组件包括动子外壳、第二磁钢、第三磁钢、以及第四磁钢，该出力可调节的磁浮重力补偿器设计有出力调节装置和补偿磁钢，在满足相同出力要求情况下，它的结构更加紧凑且出力可调。
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公开(公告)号：CN114814267B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202111679160.X
申请日：2021-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P3/42
Abstract: 本发明提出了一种磁电式速度传感器的低频拓展电路及控制方法，电路包括ADA4666‑2、拨码开关、前置滤波器、高通滤波器、低通滤波器、带通滤波器、加法器、PCB电路板和外壳；将磁电式速度传感器的输出信号先进行前置滤波，然后通过二阶有源高通滤波二阶有源低通滤波电路和二阶有源带通滤波电路，通过三个滤波电路的信号通过加法器求和后到低频拓展后的信号；经拓展后，该传感器测量振动的中心频率由原来的4.5Hz降低到0.28Hz，能让传感器的幅频特性在0.28Hz‑100Hz的范围内保持平滑，对传感器的信号衰减起到了补偿的作用，使传感器在该处的灵敏度更接近于实际灵敏度，稳定性和可靠性高、功耗低、结构简单、成本低；解决了目前磁电式速度传感器不能检测低频振动的问题。
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