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公开(公告)号：CN114153148A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111450094.9
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种变学习步长的梯度迭代前馈整定方法，涉及一种超精密运动台的前馈整定方法。生成参考轨迹并规定最大迭代次数和预期性能指标；确定参数化前馈基函数，并进行QR分解得到正交投影矩阵；初始化，令j＝0，θj＝0；进行第j次迭代实验，得到第j次迭代实验的位置误差；通过基于投影的数据驱动方法估计更新前馈参数θj；判断是否收敛，若是则停止迭代，若否则令j＝j+1再返回步骤四。引入了数据投影与变增益的方法，降低实验数据量的要求并且适应性更强，满足前馈参数的快收敛、强鲁棒性以及高精度的要求。
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公开(公告)号：CN113627016A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110915227.9
申请日：2021-08-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于前向递归的小行程纳米运动台滞回特性建模方法，属于超精密运动控制技术领域。建模过程包括采样数据获取、模型构建，算法求解以及结果输出四部分，所述采样数据获取，方法如基于小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法中所述，获取在不同温度、不同位移条件下的电流—力的相关数据采集；模型构建部分包括基函数确定与模型的结构和参数确定；算法求解部分包括初始条件设置、RBF网络构建、RBF中心个数判定以及权值输出。本发明基于一个多输入单输出非线性系统的输入输出数据快速识别模型参数，在减小计算量的同时保证模型精度，并解决传统最小二乘类算法因矩阵病态导致的算法不稳定问题，进而通过逆模型补偿提高运动台的性能。
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公开(公告)号：CN113555197A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110863862.7
申请日：2021-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种动磁钢式自驱动磁浮导轨装置及其控制方法，属于高端装备技术领域。四个导套支撑框架组合构成方形套，四个导套支撑框架的中部分别封装有I型电磁铁，永磁体封装在位于上方的导套支撑框架内；导轴支撑框架为长方体框架，导轴支撑框架的四个侧面沿长度方向均封装有多个E形组件；封装于导轴支撑框架上下两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架左右两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架的四个侧面的多个E形组件与封装于四个导套支撑框架中部的I型电磁铁分别相对设置，线圈绕组封装在导轴支撑框架上侧并位于E型组件的一侧，线圈绕组与永磁体相对设置。本发明用于超精密系统中。
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公开(公告)号：CN113029235B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110213939.6
申请日：2021-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法，属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上，左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面；右双极电磁铁的动子组件固定在平台运动部件的右侧面，右双极电磁铁的定子组件固定在右基础框架上；平台运动部件固定装在气浮导轨的导套上；左、右双极电磁铁的定子组件内分别固定有电涡流传感器和霍尔传感器。方法是：温度设定；产生位移；工装固定；数据采集；数据计算处理；重复步骤一到步骤五，完成运动台在运动过程中，不同温度、位移条件下的电流‑力数据采集，完成表格绘制。本发明为运动台的高精度控制垫定基础。
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公开(公告)号：CN113029235A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110213939.6
申请日：2021-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法，属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上，左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面；右双极电磁铁的动子组件固定在平台运动部件的右侧面，右双极电磁铁的定子组件固定在右基础框架上；平台运动部件固定装在气浮导轨的导套上；左、右双极电磁铁的定子组件内分别固定有电涡流传感器和霍尔传感器。方法是：温度设定；产生位移；工装固定；数据采集；数据计算处理；重复步骤一到步骤五，完成运动台在运动过程中，不同温度、位移条件下的电流‑力数据采集，完成表格绘制。本发明为运动台的高精度控制垫定基础。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110922103A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911106669.8
申请日：2019-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳) , 深圳市建工集团股份有限公司
IPC: C04B28/00 , C04B40/00 , C04B111/20
Abstract: 本发明提供了一种自洁净渣土聚合物的制备方法，主要由渣土、矿渣按比例混合，经过初步处理，与碱性激发剂按比例进行混合后，加水搅拌，随后覆盖TiO2纳米材料薄膜，最后将拌合物通过养护，即可成型使用。本发明的有益效果是：通过利用TiO2纳米材料为添加剂、利用建筑渣土、矿渣为胶凝材料制备自洁净渣土聚合物，TiO2纳米材料的掺入使得地质聚合物在自然光照及降水作用下，具备自洁净功能，实现建筑物建筑自洁净功能，可以替代普通硅酸盐水泥，有利于节约能源、保护生态环境，符合可持续性发展的战略目标。
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公开(公告)号：CN105160069B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510474812.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。
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公开(公告)号：CN104960676B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510409027.0
申请日：2015-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 多自由度气浮平台稳压装置及稳压方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的控制结构复杂、控制精度较差、稳压能力较弱的问题。本发明所述多自由度气浮平台的稳压装置包括气浮轴，气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，且气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂直方向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；它还包括气瓶、一级减压阀、二级减压阀、比例电磁阀、三级减压阀、开关和基准气腔。本发明用于全物理仿真试验。
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公开(公告)号：CN104914682B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201510353872.0
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。
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公开(公告)号：CN104908981B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201510409194.5
申请日：2015-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置需要多个比例的电磁阀，结构复杂，垂向气压补偿方法控制精度较低的问题。本发明的气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有多个喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；气浮轴承外套内部沿垂向设置有测量气浮轴承内套垂向位移的光栅尺；本发明用于全物理仿真试验。
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