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公开(公告)号：CN115523231A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211132054.4
申请日：2022-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，包括主轴转子、轴套和底座，所述轴套套设在主轴转子上并固定在底座上，所述轴套上沿圆周方向均布设置若干个轴向气道Ⅰ，每个轴向气道Ⅰ上均布设置有若干个径向气道Ⅰ，所述若干个径向气道Ⅰ与对应的轴向气道Ⅰ连通，每个径向气道Ⅰ近主轴转子的一端均设置有节流器Ⅰ，对轴向气道Ⅰ自底部至顶部的供气压力逐步减小。本发明在实际应用中可以通过微调各区域供气源的供气压力使得主轴转子在工作过程中实现较高的回转精度，并且整个主轴的承载能力可提高2倍以上。
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公开(公告)号：CN114909399A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210674742.7
申请日：2022-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，包括主轴、轴套Ⅰ、前辐板、后辐板和底座，轴套Ⅰ套设在主轴的外侧并固定在底座上，前辐板中部开设有通孔Ⅰ，后辐板中部开设有通孔Ⅱ，主轴的前、后两端分别套设在通孔Ⅰ和通孔Ⅱ中，通孔Ⅰ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅰ，通孔Ⅱ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅱ，气道Ⅰ和气道Ⅱ分别位于主轴中轴线的下方和上方，前辐板上开设有进气孔Ⅰ，后辐板上设置有进气孔Ⅱ，所述进气孔Ⅰ与进气孔Ⅱ分别与气道Ⅰ与气道Ⅱ连通。本发明提高了气浮主轴的整体承载能力、刚度、回转精度以及抗倾覆能力，加工出的零件精度更高。
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公开(公告)号：CN111577764A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010421847.2
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构简单、加工方便、稳定性好、回转精度高的流体静压轴承，本发明记载一种流体静压轴承，包括主轴和轴套，主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构，轴套为中部设置有环状凹槽的圆柱筒状结构，轴套套设在主轴上，环状凸缘位于环状凹槽内部，位于环状凸缘上方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅰ，位于环状凸缘下方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅱ，环状凸缘的上表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅲ，所述环状凸缘的下表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅳ，环形孔缝Ⅰ、环形孔缝Ⅱ、环形孔缝Ⅲ和环形孔缝Ⅳ的纵剖面均呈阶梯状结构。本发明零件数量少，加工简单，装配方便，无需额外安装节流器，工作时更加稳定，可靠度更高。
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公开(公告)号：CN106563970B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201610988371.4
申请日：2016-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/00
Abstract: 本发明公开了一种液体静压导轨油腔压力分布的检测方法，所述检测方法为：一、通过液压站将液压油经过进油通道、节流器送入各个油腔，使导轨运动件浮起来；二、使导轨运动件运动到油腔压力测量位置，油腔内的压力油进入压力测量通道内，压力传感器以油压信号为输入，开始读出油腔内一定位置的压力值，经过信号处理并实时显示；三、此后使导轨运动件每次运动一个小位移后都记录对应位置的油腔压力，得到液体静压导轨油腔内的压力分布曲线；四、根据得到的压力分布曲线，研究油腔压力分布对液体静压导轨性能的影响。本发明通过在液体静压导轨上布置油腔压力测试点，有效地解决了液体静压导轨油腔内压力分布的检测问题。
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公开(公告)号：CN104897078B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201510255806.X
申请日：2015-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌的测量方法，步骤如下：准直透镜对可见光光源输出的入射光进行调制，使其成为准直光；准直光经过线性衰减片，再经过小孔光阑后，中心光斑照射到装卡在回转工作台上的被测工件表面；光斑在被测工件表面发生衍射现象，被色散开的单色波会按照不同波长和级次依次排开，形成光谱；光谱通过透镜后，反射光谱被调制为准直光，通过安装在直线位移台上的光纤测头，在不同扫描位置对各个波长的±1级光谱进行测量，测量结果输入到光谱仪中；利用平面反射光栅方程对测量结果进行计算分析，得到被测工件表面三维微观形貌信息。本发明实现了非接触、无破坏地定量测量，而且光路容易调整，测量精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104897078A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510255806.X
申请日：2015-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌的测量方法，步骤如下：准直透镜对可见光光源输出的入射光进行调制，使其成为准直光；准直光经过线性衰减片，再经过小孔光阑后，中心光斑照射到装卡在回转工作台上的被测工件表面；光斑在被测工件表面发生衍射现象，被色散开的单色波会按照不同波长和级次依次排开，形成光谱；光谱通过透镜后，反射光谱被调制为准直光，通过安装在直线位移台上的光纤测头，在不同扫描位置对各个波长的±1级光谱进行测量，测量结果输入到光谱仪中；利用平面反射光栅方程对测量结果进行计算分析，得到被测工件表面三维微观形貌信息。本发明实现了非接触、无破坏地定量测量，而且光路容易调整，测量精度高。
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公开(公告)号：CN115899083B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202211651443.8
申请日：2022-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，包括轴套、铜轴套、主轴转子、辐板和大气等离子体激发装置，所述铜轴套套设在主轴转子上，所述轴套套设在铜轴套上，所述辐板套设在主轴转子上且与轴套固定连接，轴套和辐板上设置的气路通过若干个小孔节流器为主轴转子的表面供气，所述主轴转子、轴套和辐板的材质均导电，所述大气等离子体激发装置的一端电连接主轴转子，另一端电连接轴套和辐板。本发明从微振产生的机理上消除了微振及其影响，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性。
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公开(公告)号：CN115614386B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202211231035.7
申请日：2022-10-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为提供一种可以避免气锤现象同时可以提供更大高压气膜面积的承载力大、刚度更高的小孔式气体静压径向轴承轴套，本发明设计一种带有高压气腔的小孔式气体静压径向轴承轴套与轴承，属于静压滑动轴承领域。通过在径向轴承轴套节流器安装孔处开设‘H’型均压槽或‘米’字型均压槽，利用‘H’型均压槽或‘米’字型均压槽在相同截面积下其内的高压气体能够辐射更广气膜区域的特点来提高小孔式气体静压径向轴承气膜的高压区面积。籍此设计可以在避免小孔式气体静压径向轴承发生气锤不稳定现象的同时，提高轴承的承载力与刚度。
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公开(公告)号：CN118334331A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410400180.6
申请日：2024-04-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/26 , G06V20/70 , G06V20/40 , G06V10/774 , G06V10/764 , G06V10/25 , G06V10/82 , G06T3/4053 , G06N5/04 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种刀具破损视频实时分割方法，所述方法如下：对采集的图像进行图像增强与增广处理，得到刀具原始数据集；构建刀具工作状态分类数据集、刀具破损区域目标检测数据集、刀具破损区域图像分割数据集；将刀具加工视频采用逐帧分解的方式分解成连续的图片，得到刀具破损视频分解图像数据集；利用基于深度学习的刀具状态监测训练模块对刀具工作状态分类数据集、刀具破损区域目标检测数据集、刀具破损区域图像分割数据集依次进行训练；利用基于深度学习的刀具状态监测测推理模块学习训练得到的模型，对刀具破损视频分解数据集进行推理。本发明具有较快的运行速度和较低的资源占用，能够对精密加工的刀具进行实时处理。
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公开(公告)号：CN117067041A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311038517.5
申请日：2023-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种晶圆减薄机磨削主轴中心供液非接触式气密封结构，涉及一种气密封结构。减薄机转子经减薄机底座预设中心孔伸出，内部中空作为磨削液通道，气封安装座固定在减薄机底座外侧端，气封块胶接固定在气封安装座内底部，内环面中间位置加工环向沟槽，侧壁贯通径向供气通道一，气封安装座侧壁对应位置贯通径向供气通道二，气封块与减薄机转子的伸出端之间留有间隙，外部气源供入能够形成上气膜和下气膜，磨削液通入座螺栓固定在气封安装座内顶部，内部向上延伸设置供液通道，供液通道下端伸入磨削液通道内。在气封块与减薄机转子之间形成稳定的高压气膜，提高设备运行的稳定性以及加工精度的可靠性，结构简单，易于维护。
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