公开(公告)号：CN2862331Y

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200520130695.1

申请日：2005-12-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 张德贤 ,  蔡宏琨 ,  张晓 ,  齐龙茵 ,  冯凯 ,  赵飞 ,  李胜林

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/687

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型涉及一种用于柔性衬底薄膜太阳电池制备的衬底支撑装置。它是由框形底座，凹槽，框形压板，螺丝和不锈钢柱组成，框形底座对应的两侧有凹槽，不锈钢柱放置在凹槽内匹配，框形压板放置在框形底座上面，框形底座与框形压板对应，并且分别设置螺孔，螺丝插入螺孔固定框形底座和框形压板，框形内挖空面积处是薄膜衬底工作面。用不锈钢柱将抻紧的有机柔性薄膜边缘挤进底座的凹槽中，用压板将不锈钢柱压住并拧紧螺丝，即实现对有机柔性薄膜的夹持，使其展平固定，以便在其上进行薄膜沉积和器件制造。