公开(公告)号：CN108061936A

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201711396942.6

申请日：2017-12-21

Applicant: 南开大学

Inventor： 张迪 ,  任梦昕 ,  兀伟 ,  高宁慧 ,  禹宣伊 ,  蔡卫 ,  张心正 ,  许京军

IPC: G02B6/125

CPC classification number: G02B6/125

Abstract: 本发明公开了一种分光器以及采用该分光器的分光方法。该分光器包括：一透光基底；设置于该透光基底表面的多个周期性的第一微结构单元，所述第一微结构单元包括多个沿X方向平行且间隔设置的第一微纳米柱，所述多个第一微纳米柱的高度相同，且所述多个第一微纳米柱的横截面尺寸梯度变化；以及设置于该透光基底表面的多个周期性的第二微结构单元，所述第二微结构单元包括多个沿X方向平行且间隔设置的第二微纳米柱，所述多个第二微纳米柱的高度相同，所述多个第二微纳米柱的横截面尺寸梯度变化，且所述多个第一微纳米柱的梯度与所述多个第二微纳米柱的梯度相同但相反；所述多个周期性的第一微结构单元和多个周期性的第二微结构单元交替设置。

公开(公告)号：CN105157579B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201510445700.6

申请日：2015-07-27

Applicant: 南开大学

Inventor： 兀伟 ,  任梦昕 ,  皮彪 ,  蔡卫 ,  张心正 ,  许京军

IPC: G01B11/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法，所述方法包括：首先在基底材料表面进行镀膜，利用微纳米加工方法在基底材料上制备具有光谱特征峰的微结构阵列；将具有微结构阵列的基底固定于被测样品表面并利用光谱仪对样品表面的微结构进行光谱测量；移动位移传感器，记录光谱特征峰移动位置并计算位移量。所述方法制造的微结构阵列光学位移传感器可以测量微小区域内位移变化量，且具有测量灵敏度高、检测速度快的优势。

公开(公告)号：CN105157579A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510445700.6

申请日：2015-07-27

Applicant: 南开大学

Inventor： 兀伟 ,  任梦昕 ,  皮彪 ,  蔡卫 ,  张心正 ,  许京军

IPC: G01B11/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法，所述方法包括：首先在基底材料表面进行镀膜，利用微纳米加工方法在基底材料上制备具有光谱特征峰的微结构阵列；将具有微结构阵列的基底固定于被测样品表面并利用光谱仪对样品表面的微结构进行光谱测量；移动位移传感器，记录光谱特征峰移动位置并计算位移量。所述方法制造的微结构阵列光学位移传感器可以测量微小区域内位移变化量，且具有测量灵敏度高、检测速度快的优势。