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公开(公告)号：CN109085382A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201810720730.7
申请日：2018-06-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计，加速度计包括加速度敏感机构、位移传感机构和灵敏度切换执行机构；加速度敏感机构包括质量块、折叠梁和机械超材料周期性结构；折叠梁的一端和机械超材料周期性结构的一端分别与质量块的两端相连，折叠梁用于为加速度敏感机构提供正刚度，机械超材料周期性结构用于提供随位移变化呈现正、负相间的刚度；灵敏度切换执行机构用于控制质量块移动到不同的刚度区域。本发明采用机械超材料周期性结构和折叠梁串行连接的方式，形成具有多个不同斜率的应力应变线性区域的柔性结构；可使加速度敏感机构的柔性结构在不同位置处具有不同的刚度，因而具有多个灵敏度。
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公开(公告)号：CN108878296A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810678848.8
申请日：2018-06-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明公开一种三维微凸点的制备方法，包括：在基底上图像化多个金属焊盘；在基底上沉积电镀时所需的导电层，利用刻蚀溶液去除各个金属焊盘上待电镀区域的导电层，旋涂光刻胶，在各个金属焊盘上方待电镀区域形成微尺寸的开口光刻胶掩模，各个金属焊盘面积与其电镀面积的面积比值可控；将具有开口光刻胶掩膜的金属焊盘在焊料电镀溶液中进行电镀，形成一层焊料柱；用有机溶液进行浸泡，去除光刻胶；利用刻蚀溶液去除电镀时连接各个金属焊盘的导电层；对各个金属焊盘上的焊料柱进行回流，得到多个高度不同的焊料凸点，金属焊盘面积与其电镀面积的面积比值越小，焊料凸点越高。本发明通过一次工艺获得三维结构的焊料凸点。
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公开(公告)号：CN106646646A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611163659.4
申请日：2016-12-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种力平衡式传感器标度因子调节方法，力平衡式传感器包括机械部分、传感计算部分和反馈调节部分；在反馈调节部分中加入一个与输出成比例的调节电压或电流，通过改变该比例因子从而改变标度因子。反馈调节部分包括：第一加法器、反馈放大器模块和调节放大器模块，反馈放大器模块的输入端连接输出电压，调节放大器模块的输入端连接输出电压，第一加法器的第一输入端连接至反馈放大器模块的输出端，第一加法器的第二输入端连接至调节放大器模块的输出端，第一加法器的输出端连接机械部分的反馈控制端。本发明可实现对标度因子的大范围调节，能广泛应用于旋转加速度计重力梯度仪中，有效抑制沿转台平面的平动加速度噪声以及沿转台转轴的角加速度噪声。
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公开(公告)号：CN104340955A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410464700.6
申请日：2014-09-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线；在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料，刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层；在绝缘隔热层上制备加热体和电极；在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜；在有加热体的一面沉积金属膜；将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上；对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀，刻穿硅基片；去除光刻胶掩膜和金属膜，得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性，解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大，风险高，成本高且产量低的技术问题。
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公开(公告)号：CN103995150A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410213114.4
申请日：2014-05-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P15/125 , G01P21/00 , G01V7/00
Abstract: 本发明公开了一种标度因子可调节的电容挠性加速度计。包括检验质量，一对差分电容器，传感器，计算模块，以及静电执行机；检验质量通过挠性结构连接固定的框架，一对差分电容器包括两个运动极板和两个固定极板，两个运动极板由检验质量两侧面上的金属镀层构成，两个固定极板对称设置在检验质量的两侧，且分别与两个运动极板正对；两个运动极板连接传感器的输入端，传感器的输出端连接计算模块的输入端，计算模块的输出端连接静电执行机的输入端，静电执行机的输出端连接两个运动极板。本发明可实现对标度因子的大范围调节，能广泛用于旋转加速度计重力梯度仪中，有效抑制沿转台平面的平动加速度噪声，以及沿转台转轴的角加速度噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103896206A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410141817.0
申请日：2014-04-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于硅片刻穿的体硅加工工艺。包括如下步骤：在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；在硅片背面镀金属膜；用真空油将金属膜粘贴在托片上，托片为表面有氧化层的硅片；用感应耦合等离子体干法刻蚀系统刻穿硅片，得到体硅微结构；感应耦合等离子体干法刻蚀采用分阶段刻蚀的方法，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强；去除光刻胶掩膜和金属膜，释放体硅微结构。本发明能有效提高光刻胶的选择比，刻蚀深度以及刻蚀槽侧壁的垂直度。
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公开(公告)号：CN107907915B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201711296974.9
申请日：2017-12-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/00
Abstract: 本发明公开了一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统，三分量重力仪探头包括结构相同的X轴重力测量模块、Y轴重力测量模块和Z轴重力测量模块；各单轴重力测量模块包括单轴重力加速度传感器、信号处理电路和电子元器件；各单轴重力加速度传感器包括重力敏感单元和位移传感组件；各轴重力敏感单元用于实现测量重力沿各轴方向的加速度，包括X轴方向、Y轴方向及Z轴方向三个方向；重力敏感单元包括弹性结构、检验质量块及支撑体，检验质量块位于支撑体内部，检验质量块通过弹性结构与支撑体连接；各轴重力敏感单元中的弹性结构的位移移动方向同个轴方向相同，本发明通过三个方向的重力测量模块，能够实现井中的三分量重力测量。
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公开(公告)号：CN111470468B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202010324601.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种垂直碳纳米管向目标衬底转移的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采用原子层沉积法在碳纳米管表面沉积纳米量级的第一金属层，使第一金属层与碳纳米管形成欧姆接触；S2、在第一金属层的表面沉积微米量级的第二金属层，以填充碳纳米管表面空隙，形成金属薄膜；S3、在目标衬底表面沉积金属合金，将碳纳米管转移到目标衬底上。本发明采用沉积速率较慢、沉积包覆性好的原子层沉积在碳纳米管表面沉积一层纳米量级、浸滑性好的金属，实现金属纳米颗粒渗透入碳纳米管表面，增加金属纳米颗粒与碳管的接触面积，实现金属原子对碳纳米管的浸润和包覆，进而形成欧姆接触，有效的降低了目标衬底与碳纳米管之间的接触电阻。
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公开(公告)号：CN116009102A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211685904.3
申请日：2022-12-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种高集成度MEMS相对重力仪，集成有重力敏感单元、温度传感单元、加热电阻、面外倾斜传感单元、面内倾斜传感单元、气压传感单元和振动传感单元；温度传感单元感知MEMS相对重力仪的温度变化；加热电阻对重力敏感单元进行加热，实现对重力敏感单元的温度控制；面外倾斜传感单元敏感重力敏感单元面外倾斜大小；面内倾斜传感单元敏感重力敏感单元面内倾斜大小；气压传感单元感知气压变化，辅助气压控制或实现气压效应扣除；振动传感单元感知环境振动，并辅助隔振或实现振动信号扣除。本发明利用微加工精度实现重力敏感单元与倾斜传感单元的敏感方向精确控制，有利于减小额外装夹部件、降低方向控制难度、提高控制精度。
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公开(公告)号：CN114251531B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111573346.7
申请日：2021-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种流体连接管及其应用，属于流体或微流体控制领域，本发明中每个出口子流道均包括逐级相连通的M级圆弧流道，并且每一圆弧流道对应的圆弧角和圆的直径均相同；同时，每一个拓扑点流体下游的相邻两圆弧流道所对应的圆共用切线，并且切线方向为拓扑点处流体的速度矢量方向。如此，本发明通过流道拓扑点处的圆弧设计和切线设计防止了湍流的产生，在此基础上，进一步通过流道拓扑点处的对称设计和总长一致设计保证了每个出口子流道的流阻一致性，从而在每个出口子流道内实现了流体流量的高度一致性。
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