公开(公告)号：CN112284368A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202010997288.X

申请日：2020-09-21

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 高乃坤 ,  刘福民 ,  刘国文 ,  徐杰 ,  张乐民 ,  王健鹏

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明公开了一种全差分高精度X轴硅微陀螺仪，包括质量块组、驱动单元、检测单元。驱动单元接收外部输入的电信号，产生静电力，驱动质量块沿X方向做简谐振动；质量块组中各质量块在作简谐振动的同时敏感外界绕Y轴的角速率，受到科里奥利力沿Z轴方向振动，在Z轴方向上产生位移；检测单元，将各质量块在Z轴方向上的位移，转换成电信号输出。质量块组采用全对称的四质量块结构设计，形成全差分输出，可以有效减小检测相对非线性误差，提高检测灵敏度，同时可减小外界因素对陀螺性能的影响，环境适应性强。驱动单元和检测单元采用机械解耦结构设计，可有效的减小驱动模态和检测模态的机械耦合，提高检测精度。

公开(公告)号：CN107504950A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710633118.1

申请日：2017-07-28

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙鹏 ,  邱飞燕 ,  徐杰 ,  范冬青 ,  邢朝洋 ,  王玉良 ,  王增跃

IPC: G01C9/00

Abstract: 一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEMS角度敏感器敏感到安装载体倾斜角度的变化，后经调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口输出与倾斜角度成比例的数字量连续信号；电连接器焊接在双轴倾角传感器电路上并安装在金属封装壳体上形成电气接口；封装壳体将双轴倾角传感器电路和电连接器封装在一起，并通过安装法兰形成机械接口。本发明可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。