-
公开(公告)号：CN118623912A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410664926.4
申请日：2024-05-27
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种压电位置检测电磁驱动MEMS微动平台及其制备方法，所述MEMS微动平台包括外围支撑框架、支撑梁、内部质量平板，还包括能检测所述支撑梁应力的压电位置检测结构用于检测平台位移情况，另外，所述MEMS微动平台中还设有驱动线圈或磁性材料构成的结构用于实现电磁方式驱动。该电磁驱动MEMS微动平台采用压电结构进行位置检测，对比现有压阻检测方案，可有效简化电磁驱动MEMS微动平台结构和制备工艺的复杂程度，同时有效提升电磁驱动MEMS微动平台位置检测结构的温度特性，降低零位温漂、灵敏度温漂等问题的影响，提高位置检测的精度。
-
公开(公告)号：CN118603070A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410812556.4
申请日：2024-06-22
Applicant: 中北大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院 , 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。
-
公开(公告)号：CN117830138A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410113070.1
申请日：2024-01-26
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于傅里叶域光学相干层析成像的去噪增强方法，属于图像处理技术领域，包括：获取FD‑OCT图像的样本数据，并对其进行标准化操作；对标准化后的图像进行图像分组；根据图像分组的结果，对每组图像构建强反射条纹模板，用于去除FD‑OCT图像中的强反射条纹噪声；构建频域陷波滤波器模板，进一步去除图像背景中的周期性噪声；采用空间域去噪与变换域去噪相结合的方式，进一步去除图像的散斑噪声；对去噪后的图像进行图像增强操作。本发明提供的一种用于傅里叶域光学相干层析成像的去噪增强方法，能同时去除FD‑OCT中存在的强反射条纹噪声、周期性噪声与散斑噪声，并提升图像整体的视觉效果。
-
公开(公告)号：CN117420081A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311549226.2
申请日：2023-11-17
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种活塞式浸没采样装置，所述活塞式浸没采样装置包括：光源、第一透镜组、第二透镜组和比色皿；所述光源设置于第一透镜组一侧，所述比色皿设置于第一透镜组和第二透镜组之间，且所述比色皿能够相对于第一透镜组和/或第二透镜组进行竖直方向活动，所述比色皿分为比色皿上半段和比色皿下半段，所述比色皿上半段内密封有参比介质，所述比色皿下半段内装有待测介质体；所述第一透镜组用于将光源发出的光调整为准直光线并射入比色皿，穿透比色皿后的光线经第二透镜组完成光耦合并经信号传输光纤导入后续光谱仪。
-
公开(公告)号：CN116222782A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310390875.6
申请日：2023-04-13
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪，属于光谱成像技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台阵列、光阑、图像传感器。超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩分光元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台阵列上，并实现使用半导体工艺进行MEMS可动微平台阵列加工，能够降低成像光谱仪的生产成本，提高成像光谱仪的集成度；利用MEMS可动微平台阵列将物方空间划分为多个区域进行成像，能够获得最大与阵列单元数量相同的空间分辨率，而不需要添加额外的扫描元件来获取空间分辨能力；通过灵活选择每个MEMS可动微平台单元的工作状态，获得任意大小的空间分辨率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114583043A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210150504.6
申请日：2022-02-18
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: H01L41/083 , H01L41/312 , G02B26/08
Abstract: 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。
-
公开(公告)号：CN119620379A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411771060.3
申请日：2024-12-04
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: G02B26/00
Abstract: 本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种MEMS法布里‑珀罗滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个第一电热层组合形成，伸缩层包括第二电热层、电阻层、位于电阻层与第二电热层之间的第一绝缘层，以及位于电阻层背离第二电热层一侧的第二绝缘层；第一电热层的热膨胀系数小于第二电热层的热膨胀系数，至少一个第一电热层贴合设置于第二电热层和/或第二绝缘层上。该电热驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。
-
公开(公告)号：CN119355957A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411618113.8
申请日：2024-11-13
Applicant: 重庆邮电大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种电磁MEMS微镜的光栅扫描矫正方法及系统，属于光栅扫描矫正技术领域，方法包括：采集电磁MEMS微镜产品在三维空间中的实时三轴姿态信息、微镜快慢轴压阻信号；以角度差值作为误差信号进行PID控制，输出扫描视场修正后的MEMS微镜的快慢轴的驱动电压，进而映射得到微镜扫描的修正角度；将修正角度作为PID控制的输入，通过最小化微镜的转动角度与修正角度之间的跟踪误差，实现对微镜的转动角度进行修正。通过采集电磁MEMS微镜产品的三轴姿态信息，并将三轴姿态信息与标准三轴姿态信息之间的角度差值引入至PID控制，以调节快慢轴驱动信号，进而对微镜转动角度的修正，实现对光栅扫描光栅畸变的矫正和补偿，保证了对三维点云的重建质量的精准度。
-
公开(公告)号：CN119306173A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411431295.8
申请日：2024-10-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 重庆工商大学
Abstract: 本发明公开了集成挠曲电位置检测的电热微动平台、检测方法及其制备方法，属于微机电技术领域，该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台，以及用于检测微平台的位置和运动状态的挠曲电位置检测结构。本发明将挠曲电位置检测结构与电热微动平台进行一体式集成，不仅能在不影响微动结构运动的情况下实时、稳定、高精度地获得微动结构偏转角度和偏转方向的姿态信息，还能显著降低器件及其系统的闭环控制姿态反馈电路的复杂程度，优化相关应用产品的结构和尺寸，以及实现器件的小型化和轻量化。
-
公开(公告)号：CN118702050A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410695318.X
申请日：2024-05-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于磁致伸缩的LSF型MEMS执行器及其制备方法，其基本结构包含三段Bimorph驱动臂，两段刚性直臂。Bimorph驱动臂为非磁致伸缩材料和磁致伸缩材料形成的多层结构，刚性直臂为非磁致伸缩材料。在外加磁场的驱动下，Bimorph驱动臂中磁致伸缩材料会发生膨胀，而非磁致伸缩材料不发生膨胀，因应力作用驱动臂会发生形变弯曲，带动直臂倾斜，由于三段驱动臂弯曲的方向不一样，同时弯曲角度互补抵消，保证了质量块在整个垂直平动过程中始终与初始状态保存平行。本发明结构简单，驱动位移大，无横向侧移，运用MEMS加工工艺，可以集成MEMS执行器的驱动部件，促进MEMS执行器领域的发展和应用。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
59
records
(took 0.054 seconds)
