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公开(公告)号：CN102963863B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210532035.0
申请日：2012-12-11
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法，采用优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，无需掩膜实现高密度纳米碳化硅球状阵列，极大增大表面面积体积比；同时由于优化DRIE工艺中钝化步骤在表面淀积的氟碳聚合物，极大降低表面能，则所制备碳化硅材料具有超疏水特性，静态接触角CA>160°；再通过强碱性溶液腐蚀去除硅基底，则能够实现柔性碳化硅薄膜；且由于强碱性溶液腐蚀去除表面聚合物钝化层，形成裸露高密度碳化硅尖端阵列，则所制备柔性碳化硅薄膜具有超亲水特性，静态接触角CA
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公开(公告)号：CN102738300B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201210187289.3
申请日：2012-06-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。
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公开(公告)号：CN103546058A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310517077.1
申请日：2013-10-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微能源领域，具体涉及一种基于电磁与摩擦原理的复合式发电机，包含外壳及外壳内从上到下设有的顶部质量块、顶部永磁体、摩擦层、金属线圈、底部永磁体，外壳呈圆筒形，顶部质量块、顶部永磁体、摩擦层、金属线圈、底部永磁体均呈圆柱形，金属线圈外包裹有薄膜，本发明优点在于：本发明可作为传统电池的替代品为低功耗电子器件供能；实现了电磁式发电机与摩擦式发电机的优势互补，提高了发电机的能量转化效率；可靠性更强，分离速度更快；简化了器件的结构，有利于大规模生产。
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公开(公告)号：CN102738300A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210187289.3
申请日：2012-06-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。
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公开(公告)号：CN105553066B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201610006934.5
申请日：2016-01-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明实施例提供了一种基于压电超级电容器的自充电能量装置及其制作方法。该装置包括：压电薄膜、柔性电极和固态电解质；当压电薄膜的外表面接受到外界施加的应力后，在压电薄膜的上下表面间产生极化电荷，对固态电解质中离子电荷进行吸引；固态电解质设置在所述压电薄膜和柔性电极之间，当压电薄膜两侧产生极化电荷后，固态电解质中离子电荷被吸引产生定向移动，离子电荷向柔性电极迁移；柔性电极将固态电解质中定向移动的离子电荷存储在柔性电极与固态电解质之间。本发明的装置集成能量的产生与存储为一体，将压电型纳米发电机与柔性超级电容器有效地集成起来，并且具有能量转换效率高，存储容量高，器件柔性好等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103944443B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310022144.2
申请日：2013-01-21
Applicant: 北京大学科技开发部
IPC: H02N1/04
CPC classification number: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了一种级联结构发电机。包括多个震动发电机，震动发电机包括拱形摩擦单元1、拱形摩擦单元2，拱形摩擦单元1内侧凹形表面与拱形摩擦单元2内侧凹形表面分别作为摩擦面相对放置，拱形摩擦单元1的外侧凸形表面设有一电极兼支撑材料层，拱形摩擦单元2的外侧凸形表面设有一电极兼支撑材料层；包括若干组与震动发电机的电极兼支撑材料层匹配的第一几何互补形摩擦单元、第二几何互补形摩擦单元；连接两震动发电机的第一几何互补形摩擦单元以及与其连接的电极兼支撑材料层、第二几何互补形摩擦单元以及与其连接的电极兼支撑材料层构成一与震动发电机互补的震动发电机。本发明大大提高发电机的输出电压，有效提高对环境能量的收集和利用。
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公开(公告)号：CN103973154B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310032306.0
申请日：2013-01-28
Applicant: 北京大学科技开发部
IPC: H02N1/04
CPC classification number: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了一种单摩擦表面微型发电机及其制造方法。本发明发电机包括一绝缘基底，所述绝缘基底上表面设有表面摩擦结构层，所述绝缘基底下表面设有第一感应电极，第二感应电极；其中，第一感应电极与作为摩擦表面的表面摩擦结构层位置对应，第二感应电极位于第一感应电极外围且与第一感应电极绝缘分隔。本发明的发电机应用范围广，且制造方法工艺简单、高效、成本低、成品率高。
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公开(公告)号：CN103523743B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201310517933.3
申请日：2013-10-28
Applicant: 北京大学科技开发部
Abstract: 本发明涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法，包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化；本发明的优势在于：本发明无需外加电源、无需制备驻极体，解决了传统静电式能量采集器的不足之处；本发明采用MEMS微加工工艺批量化生产，成本低、产量大、可控性好、适于商业生产与应用。
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公开(公告)号：CN103346695A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310297913.X
申请日：2013-07-15
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微加工与微能源领域，具体涉及一种r型复合式微纳发电机，由可从完全释放状态变换为完全压缩状态的两组结构组成，结构一由压电薄膜及压电薄膜两侧的压电薄膜电极组成；结构二由薄膜及在薄膜一侧的电极组成，所述结构二中的薄膜与结构一中的任意一侧的压电薄膜电极相对，本发明提供的压电摩擦复合式微纳发电机的优点在于：实现了二者的优势互补，实现了高输出电压与高充电能力；将压电微纳发电机置于具有微纳复合结构的摩擦衬底上，通过摩擦产生的电荷影响压电输出，实现了压电性能的提升；摩擦上表面采用具有纳米结构的金属材料，摩擦下表面采用具有微纳复合结构的柔性聚合物材料，提高了表面粗糙度，极大增加了摩擦的有效面积。
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