公开(公告)号：CN103523743B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201310517933.3

申请日：2013-10-28

Applicant: 北京大学科技开发部

Inventor： 张海霞 ,  韩梦迪 ,  孙旭明 ,  刘雯 ,  张晓升 ,  孟博

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法，包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化；本发明的优势在于：本发明无需外加电源、无需制备驻极体，解决了传统静电式能量采集器的不足之处；本发明采用MEMS微加工工艺批量化生产，成本低、产量大、可控性好、适于商业生产与应用。

公开(公告)号：CN104022677B

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201410188905.6

申请日：2014-05-06

Applicant: 北京大学科技开发部

Inventor： 张海霞 ,  程晓亮 ,  孟博 ,  张晓升 ,  韩梦迪 ,  苏宗明 ,  刘雯

IPC: H02N1/04

Abstract: 本发明涉及一种基于摩擦起电及静电感应原理，用于收集生物运动能量及监测生物运动的摩擦式发电机，它包括脚底或生物体、贴于人体或生物体上的导电电极、普通地面、地或导体。所述的脚底为人脚底或生物体的脚掌，生物体为人或动物的身体，贴于人体或生物体上任意部位的导电电极作为生物体电极，从其引出导线通过负载与地或导体相连。本发明与传统的能量采集器相比，不需使用额外的功能材料、器件和导电电极，且有相当高的电压输出和很强的充电能力。本发明提出的制造方法简单、成本低、易于制作、可用性高，并且易于与传统电子器件集成。