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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101839686B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010135331.8
申请日：2010-03-26
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。
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公开(公告)号：CN102353816A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110270933.9
申请日：2011-09-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种测头扫描式原子力显微镜，包括：位移台，在XYZ方向移动以进行扫描，固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。本发明的技术效果在于，实现扫描面为平面，在扫描过程中消除测头横向移动时对光斑位置产生的影响，减少测量误差。
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公开(公告)号：CN209459624U
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201822161310.8
申请日：2018-12-22
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B21/32
Abstract: 本实用新型涉及一种便携式应变计校准装置，属于计量测试领域，包括操作机构、支架、测量机构和装夹机构。所述操作机构包括手轮、丝杠，位于支架的一端；所述支架的固定立板、移动立板通过横梁连接；所述测量机构包括传感器安装机构、螺栓和位移传感器，所述传感器安装机构位于支架的第三根横梁上，且分别位于右侧移动立板的两侧，两个位移传感器轴线关于应变计的轴线对称；所述装夹机构包括固定在移动立板和固定立板半圆槽中的旋转螺母和工装夹头，用于安装被测应变计。本实用新型结构简单，能够满足不同直径封装的应变计校准需求，有效减少阿贝误差的影响，提高了应变计的校准精度。
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公开(公告)号：CN211234354U
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201921908171.9
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B21/08
Abstract: 本实用新型公开了一种PCB板表面铜膜厚度标准片，包括PCB树脂基板，所述PCB树脂基板上设置有铜膜工作区，所述铜膜工作区的形状采用十字线形铜膜，所述十字线形铜膜的交叉位置设置有中心圆，所述铜膜工作区的铜膜厚度为5-150微米。本实用新型采用PCB表面铜膜厚标准片的特殊结构设计和量值复现，满足表面铜膜厚度的高精度测量和溯源问题，解决了铜膜厚度测量仪器无法溯源的问题，降低了此类膜厚标准片及测量仪器校准溯源的成本。
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公开(公告)号：CN208621031U
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201820740561.9
申请日：2018-05-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 单体多材料多膜厚标准块，包括平面基体和膜层。为解决多镀层膜厚标准种类少且无法溯源，制造和测量难度大，随着镀层数的增大，从外层到里层的测量误差将会明显增大的技术问题，提出了在较理想的平面基体表面上，分区镀制覆盖不同材料和不同厚度的膜层，基体表面都有各自独立的单膜层工作区域，通过单纵单横或有序纵横正交排列，在单一基体上形成了各种材料不同厚度的单镀层膜、不同材料组合的不同厚度的多镀层膜。溯源方法常用仪器主要为触针式台阶仪和光学膜厚仪，台阶仪为接触式测量，其精度达到0.5%左右，光学膜厚仪为非接触式测量，其精度可达1%。
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