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公开(公告)号:CN114034257B
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202111515833.8
申请日:2021-12-13
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳市中图仪器股份有限公司
Abstract: 一种高精度三维螺纹测量机,包括基座、测头和探头驱动机构,探头驱动机构安装在基座的上面,测头安装在探头驱动机构上;在基座的上面装有用于夹持被测件的工作台;测头的检测信号输出端与处理系统连接。该探头驱动机构包括Z轴移动组件、R轴移动组件和旋转组件,Z轴移动组件的底端固定在基座的上面,水平设置的R轴移动组件的一端滑动连接在Z轴移动组件上;在该R轴移动组件上滑动连接测头的顶端;在所述的基座上面安装旋转组件,在该旋转组件的顶端装有所述的工作台。优点是:通过二轴直线运动,高精度转旋轴的旋转,建立圆柱坐标系,能够计算出螺纹的真实圆柱度、大中小径、牙形角及螺旋升角。通过二维扫描测头能够建立三维高精度数学模型。
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公开(公告)号:CN112229338A
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN202011357762.9
申请日:2020-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法,包括以下步骤,步骤1:第一传感器、第二传感器分别测量参考面;步骤2:第一传感器、第二传感器分别互测参考面;步骤3:第一传感器、第二传感器分别对待测样品表面进行测量;步骤4:计算待测样品厚度。本发明利用传感器的参考面或绝对零点,实现传感器间距的直接标定,简化了对零过程,避免引入第三方测厚仪器的不确定度;利用光纤分路器可以实现多个传感器光源、光谱仪的共用,在保证测量精度的同时,减小了光学部件的数量;透明参考面保证两个传感器可以同时在同一表面形成可视光斑,便于辅助调节两个传感器的相对位姿,实现同轴或者共线调整。
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公开(公告)号:CN112229338B
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN202011357762.9
申请日:2020-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法,包括以下步骤,步骤1:第一传感器、第二传感器分别测量参考面;步骤2:第一传感器、第二传感器分别互测参考面;步骤3:第一传感器、第二传感器分别对待测样品表面进行测量;步骤4:计算待测样品厚度。本发明利用传感器的参考面或绝对零点,实现传感器间距的直接标定,简化了对零过程,避免引入第三方测厚仪器的不确定度;利用光纤分路器可以实现多个传感器光源、光谱仪的共用,在保证测量精度的同时,减小了光学部件的数量;透明参考面保证两个传感器可以同时在同一表面形成可视光斑,便于辅助调节两个传感器的相对位姿,实现同轴或者共线调整。
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公开(公告)号:CN110926397B
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN201911355038.X
申请日:2019-12-25
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法,包括以下步骤:装夹圆孔薄膜;拟合圆孔薄膜上下表面圆孔;调整上下传感器垂直于工作面;拟合圆孔薄膜上下表面圆孔圆心;调整上下传感器共轴对准;完成上下传感器位姿标定。一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法,利用透明圆孔薄膜的圆孔特征在实现上下传感器对准的同时,实现上下传感器同轴度评定,调整上下传感器共轴;利用透明圆孔薄膜的透明性,保证上下传感器测量同一点,完成传感器间距标定,避免引入第三方测厚仪器的不确定度;透明圆孔薄膜集上下传感器同轴调整、对准和间距标定功能于一体,使得共焦测厚中上下传感器的位姿标定更方便、更高效。
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公开(公告)号:CN107144296A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201710403131.8
申请日:2017-06-01
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种基于高度尺测量的静力水准仪校准装置,属于仪器仪表领域。包括储水槽(1),储水槽(3),连通储水槽(1)和储水槽(3)的工作液体连接管(2),高度尺(4),静力水准仪(5),平台(6),连通储水槽(3)和静力水准仪(5)的工作液体连接管(7),读数显微镜(8),水泵(9)等。通过各个部件间的相互配合,实现对静力水准仪的校准。本发明结构简单,精度高,能够满足静力水准仪的标定和校准。
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公开(公告)号:CN119394279A
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202411969686.5
申请日:2024-12-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种绝对水平准线测量装置及测量方法,所述测量装置包括相干光源,非相干光源,分束器,平行光管,水平液面标准器,直角棱镜和CCD光电探测器,相干光源和非相干光源通过二合一光纤耦合器与平行光管的输入端连接,平行光管的下方设置有二维可调底座,平行光管的光路输出端与分束器的光路输入端连接,分束器的第一光路输出端与直角棱镜的输入端连接,分束器的第二光路输出端与水平液面标准器连接,直角棱镜的输出端依次通过消色差透镜和平凸透镜后与CCD光电探测器的检测输入端连接。本发明将红外非相干激光作为准直探测激光与绝对水平准线共光路,对绝对水平准线的位置进行调整得到可溯源至光波长的绝对水平准线。
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公开(公告)号:CN117948900A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202311729311.7
申请日:2023-12-15
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于色散拼接的大量程共焦传感器,包括分光镜、色散透镜组、透明衍射件和共聚焦透镜组,所述色散透镜组包括第一色散透镜组和第二色散透镜组,所述第一色散透镜组和第二色散透镜组的光路相互垂直并聚焦于所述分光镜,所述第一色散透镜组与所述分光镜之间设置有所述透明衍射件用于产生多个横向色散偏移的测量区域,所述分光镜的光路输出端与所述共聚焦透镜组的输入端连接,所述共聚焦透镜组用于形成多个轴向光谱的测量区域。本发明改变了光谱共焦传感器的光学结构,利用多组具有不用色散范围光学元件的共光路组合,在保证测量精度的前提下,实现测量范围的拼接扩展。
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公开(公告)号:CN117722961A
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202311735229.5
申请日:2023-12-15
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种高横向分辨能力的色散共焦位移测量方法,在色散共焦系统的出射光路上设置有光学薄膜,利用横向色散偏移,使得在被测位置能够产生两个不同直径和波长的光斑,进而提高色散共焦系统的横向分辨率,本发明通过在聚焦物镜前端不同区域加入不同厚度的光学薄膜,当光束经过光学薄膜光路会发生偏移产生两个不同直径的光斑,利用这两个光斑同时进行测量,使得系统具有更高的横向灵敏度。
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公开(公告)号:CN112815871B
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202110188369.X
申请日:2021-02-19
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径平面光学元件面形绝对测量系统,包括一对位移传感器及其位姿调整机构、大行程直线导轨、待测大口径平面光学元件、旋转机构及其角度调整机构和倾角测量仪,一对位移传感器反向共轴设置;控制器位移传感器沿大行程直线导轨移动,同时位移传感器测量其距离大口径平面光学元件测量面上测量线的距离,其中测量前将三面待检测的大口径平面光学元件两两组合后,依次按角度线进行扫描测量;控制倾角测量仪测量大口径平面光学元件测量面倾角变化;根据测量的大口径平面光学元件测量面倾角变化、位移传感器距离大口径平面光学元件测量面上测量线的距离,进行三面互检面形分离算法以及三维面形的重建后对大口径平面光学元件测量面进行平面度评定。
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公开(公告)号:CN114265105A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202111560103.X
申请日:2021-12-20
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种基于激光跟踪仪折射补偿的三维水箱定位精度检测方法,采用激光跟踪仪按照常规方法测量靶球在充满水的三维水箱内的位移量;然后分别建立ADM折射补偿模型和建立IFM折射补偿模型;求解靶球位置坐标以及计算三维水箱定位精度。本发明的有益效果是:通过建立折射补偿模型,补偿由玻璃和水的折射率引起的测量误差,最终可得到靶球实际的位置坐标,实现对三维水箱的定位精度进行高精度的非接触式水下检测,为解决三维水箱定位精度的计量需求和量值溯源问题提供一种有效的方法,有利于减少整个放射治疗流程中包括模拟定位、计划设计、治疗实施等过程中的不确定度,从而提高放射治疗的准确性和疗效。
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