一种检测多量子阱发光二极管内部量子点密度的方法

    公开(公告)号:CN101109724A

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200710044935.X

    申请日:2007-08-16

    Abstract: 本发明提供一种检测InGaN/GaN多量子阱发光二极管内部量子点密度大小的方法。由于InGaN/GaN多量子阱发光二极管为InGaN量子点发光,那么,其内部量子点密度的大小就决定了其发光性能的优劣。本发明根据InGaN/GaN多量子阱发光二极管开启电压随其内部量子点密度增大而逐渐增大的变化关系,通过测量其开启电压的大小来判定其内部量子点密度的大小。在保证电极为欧姆接触的情况下,发光二极管的开启电压越大,其内部量子点密度也就越高。本发明可以简单方便的确定InGaN/GaN多量子阱发光二极管内部量子点密度的相对大小,而且不会造成浪费,对于寻找最优化的生长条件,提高发光二极管的发光效率和节约成本具有重要意义。

    异质键合晶片的制备方法和应用

    公开(公告)号:CN100345248C

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN200510025732.7

    申请日:2005-05-11

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种异质键合晶片的制备方法和应用,属光电子器材集成和应用的技术领域。低温直接键合的两片异质材料分别是制备有ROIC的硅晶片和制备有IP薄膜的GaAs晶片,先按照0.25μm ULSI中的铜互连的化学机械平坦化工艺,使所述的硅晶片表面光滑、平整、清洁;接着,在低温下,使表面同样光滑、平整、清洁的所述的GaAs晶片与所述的硅晶片对位、预键合、低温热处理,至所述的两个异质晶片直接键合在一起,得到异质键合物;然后减薄异质键合物GaAs的厚度至20~30μm;再用ICP高密度反应离子选择刻蚀剩余的GaAs至终止层;最后用湿法蚀去终止层,得到产品,异质键合晶片。异质键合晶片可用来制作低价格的IP-ROIC的IRFPA。本发明具有制造成本低、产品超高机械强度高、可靠性好等优点。

    基于双敏感元差分信号的红外气体成像焦平面及成像方法

    公开(公告)号:CN108489923B

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN201810089425.2

    申请日:2018-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种双敏感元信号差分红外气体成像焦平面及成像方法,焦平面由像元列阵芯片以及读出电路芯片组成,其中像元阵列芯片上的每个像元由两个敏感元A和B组合构成。其中敏感元B的响应峰位设计在待探测气体吸收较强的指纹波长处,敏感元A的响应峰位调制得错开该波长。A、B两敏感元的信号输出端与差分电路相连,差分电路作为读出电路输入级的一部分向读出电路输出差分信号。该信号与被探测气体在探测光路上的浓度和量成比例,利用读出电路输出该差值信号即可对所探测气体成像。本发明的优点:一、可直接消除背景辐射的影响;二、与气体成像相关的有效信号比例极高;三、积分电容不易饱和,有效信号动态范围大;四、可消除背景辐射噪声。

    基于双敏感元差分信号的红外气体成像焦平面及成像方法

    公开(公告)号:CN108489923A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810089425.2

    申请日:2018-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种双敏感元信号差分红外气体成像焦平面及成像方法,焦平面由像元列阵芯片以及读出电路芯片组成,其中像元阵列芯片上的每个像元由两个敏感元A和B组合构成。其中敏感元B的响应峰位设计在待探测气体吸收较强的指纹波长处,敏感元A的响应峰位调制得错开该波长。A、B两敏感元的信号输出端与差分电路相连,差分电路作为读出电路输入级的一部分向读出电路输出差分信号。该信号与被探测气体在探测光路上的浓度和量成比例,利用读出电路输出该差值信号即可对所探测气体成像。本发明的优点:一、可直接消除背景辐射的影响;二、与气体成像相关的有效信号比例极高;三、积分电容不易饱和,有效信号动态范围大;四、可消除背景辐射噪声。

    微管谐振腔量子阱红外探测器

    公开(公告)号:CN104538482A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410748129.0

    申请日:2014-12-09

    CPC classification number: H01L31/101 H01L31/0236 H01L31/0304 H01L31/035209

    Abstract: 本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器,自下而上依次包括:衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层,其中,螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中,利用谐振腔的共振原理,将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点:一、光耦合能力强,能够将入射光限制在管壁中形成共振增强,从而提高量子阱的吸收,改善器件灵敏度和量子效率;二、更宽的探测视角,微管的螺旋结构能够接受180°方向内入射光;三、微管的直径可调性,便于用户设计,简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。

    等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器

    公开(公告)号:CN103762220A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201410021014.1

    申请日:2014-01-17

    Abstract: 本发明公开了一种等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器,该探测器由上层金属线条形成的金属光栅层、量子阱红外光电转换激活层和下层金属反射层组成。本发明的优点是:1.利用上层金属光栅与下层金属反射层之间等离激元共振所形成的电磁波近场耦合微腔的模式选择效应,使得能够进入到微腔的光子以那些能够与探测波长偏振模式形成共振的光子为主。2.进入到微腔中的光子其电矢量方向在微腔模式的调制下由x方向改变为z方向,能够被量子阱子带跃迁吸收形成光电转换过程。由于以上特点,本发明的偏振耦合结构能够极大地提高偏振响应的消光比,使探测器具有极高的偏振分辨能力。

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